JPS60131478A - 計測装置 - Google Patents
計測装置Info
- Publication number
- JPS60131478A JPS60131478A JP58241757A JP24175783A JPS60131478A JP S60131478 A JPS60131478 A JP S60131478A JP 58241757 A JP58241757 A JP 58241757A JP 24175783 A JP24175783 A JP 24175783A JP S60131478 A JPS60131478 A JP S60131478A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- converter
- speed
- signal input
- precision
- analog signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明はＩＣ’、ＬＳＩ等の動作測定を行なう計測装置
の回路機構の改良に関す、る。
の回路機構の改良に関す、る。
〈従来技術〉
従来のＩＣ２ＬＳＩ等の動作測定を行なう計測装置（テ
スタ）の回路機構のブロック図を第３図に示す。同図に
示される如く、従来ではアナログ信号入力がＡＤ変換器
に与えられた時該ＡＤ変換器に変換命令が与えられてア
ナログ信号がディジタル信号に変換され芦ディジタル信
号がラッチ回路で保持されて、ラッチ回路の出力がディ
ジタル出力として得られるものであった。ここで従来の
計測装置のＡＤ変換器としては低速高精度のものが使わ
れていた。
スタ）の回路機構のブロック図を第３図に示す。同図に
示される如く、従来ではアナログ信号入力がＡＤ変換器
に与えられた時該ＡＤ変換器に変換命令が与えられてア
ナログ信号がディジタル信号に変換され芦ディジタル信
号がラッチ回路で保持されて、ラッチ回路の出力がディ
ジタル出力として得られるものであった。ここで従来の
計測装置のＡＤ変換器としては低速高精度のものが使わ
れていた。
さて、ＩＣ，ＬＳＩ等のＤＣ測定等を行なう場合、測定
結果（測定波形）を安定な状態で得ることは最も重要な
事である。一般に単一のＩＣ。
結果（測定波形）を安定な状態で得ることは最も重要な
事である。一般に単一のＩＣ。
ＬＳＩ等を測定する際において、出力波形が安定する迄
の待ち時間を充分確保しないと測定結果が不安定になり
、又温度変化による特性変化が顕著なＩＣ，ＬＳ’Ｉ等
においても経時変化によって測定結果が不安定なものと
なる。しかし、出力波形が安定する迄の待ち時間をあま
り長く取りすぎても時間の無駄であり、従来ではＩＣ，
ＬＳＩ等の測定項目が多大の場合でも上記待ち時間を一
様に設定してし捷う傾・向にあり、測定項目に応じた最
適な待ち時間を選択することは回路上、操作上において
複雑化すやこともあってなされなかった。
の待ち時間を充分確保しないと測定結果が不安定になり
、又温度変化による特性変化が顕著なＩＣ，ＬＳ’Ｉ等
においても経時変化によって測定結果が不安定なものと
なる。しかし、出力波形が安定する迄の待ち時間をあま
り長く取りすぎても時間の無駄であり、従来ではＩＣ，
ＬＳＩ等の測定項目が多大の場合でも上記待ち時間を一
様に設定してし捷う傾・向にあり、測定項目に応じた最
適な待ち時間を選択することは回路上、操作上において
複雑化すやこともあってなされなかった。
〈目的〉
本発明は以上の従来技術の問題点に鑑みてなされたもの
であり、計測装置の回路機構内に測定波形の安定性を検
出する機能を備えることによってＩＣ，ＬＳＩ等の被測
定物毎にあるいは測定項目毎に適切な待ち時間で計測を
行なうことができる計測装置を提供することを目的とす
るものである。
であり、計測装置の回路機構内に測定波形の安定性を検
出する機能を備えることによってＩＣ，ＬＳＩ等の被測
定物毎にあるいは測定項目毎に適切な待ち時間で計測を
行なうことができる計測装置を提供することを目的とす
るものである。
〈実施例〉
以下、本発明に係る計測装置の一実施例を図面を用いて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図は本発明に係る計測装置の一実施例の回 □路機
構のブロック図である。同図に示される如く計測装置内
部にはセソ） ＩＪング時間が１０μｓ以上の低速高精
度のＡＤ変換器とセントリング時間が０．１７７ｓ以下
の高速低精度のＡＤ変換器（ビデオ帯域用ＡＤ変換器）
との２種のＡＤ変換器が備わり、夫々にアナログ信号入
力が供給される。但し最初は低速高精度のＡＤ変換器に
は変換命令が与えられず高速低精度のＡＤ変換器のみに
変換命令が与えられてＡＤ変換が行なわれる。上記高速
低精度のＡＤ変換器ではアナログ信号入力を高速でザン
プリングしてＡＤ変換し、そのＡＤ変換後のデータがメ
モリにて逐時記憶される。該メモリの内容はコントロー
ラに送られる。該コントローラでは上記メモリの内容を
参照することによって上記アナログ信号入力が安定な状
態か不安定な状態かのいずれかを判別する。例えばアナ
ログ信号入力の 、波形が第２図の様な波形であった時
、コントローラに予めインプットされていた変化幅のデ
ータとアナログ信号入力の波形の変化とを比較しアナロ
グ信号入力の波形の変化が上記変化幅より大きい場合は
不安定状態と読み取り、アナログ信号入力の波形の変化
が上記変化幅より小さい場合は安定状態と読み取るので
ある。上記コントローラが安定状態と読み取った時低速
高精度ＡＤ変換器に変換命令が送られてＡＤ変換を始め
る。上記低速高精度ＡＤ変換器でディジタル信号に変換
されたデータはラッチ回路で保持されて、ランチ回路の
出力がディジタル出力として外部に導出される。以上の
様にして被測定物毎にあるいは測定項目毎に連接な待ち
時間を持たせて計測を実行することができ、迅速且つ正
確な測定を行なうことができるものである。
構のブロック図である。同図に示される如く計測装置内
部にはセソ） ＩＪング時間が１０μｓ以上の低速高精
度のＡＤ変換器とセントリング時間が０．１７７ｓ以下
の高速低精度のＡＤ変換器（ビデオ帯域用ＡＤ変換器）
との２種のＡＤ変換器が備わり、夫々にアナログ信号入
力が供給される。但し最初は低速高精度のＡＤ変換器に
は変換命令が与えられず高速低精度のＡＤ変換器のみに
変換命令が与えられてＡＤ変換が行なわれる。上記高速
低精度のＡＤ変換器ではアナログ信号入力を高速でザン
プリングしてＡＤ変換し、そのＡＤ変換後のデータがメ
モリにて逐時記憶される。該メモリの内容はコントロー
ラに送られる。該コントローラでは上記メモリの内容を
参照することによって上記アナログ信号入力が安定な状
態か不安定な状態かのいずれかを判別する。例えばアナ
ログ信号入力の 、波形が第２図の様な波形であった時
、コントローラに予めインプットされていた変化幅のデ
ータとアナログ信号入力の波形の変化とを比較しアナロ
グ信号入力の波形の変化が上記変化幅より大きい場合は
不安定状態と読み取り、アナログ信号入力の波形の変化
が上記変化幅より小さい場合は安定状態と読み取るので
ある。上記コントローラが安定状態と読み取った時低速
高精度ＡＤ変換器に変換命令が送られてＡＤ変換を始め
る。上記低速高精度ＡＤ変換器でディジタル信号に変換
されたデータはラッチ回路で保持されて、ランチ回路の
出力がディジタル出力として外部に導出される。以上の
様にして被測定物毎にあるいは測定項目毎に連接な待ち
時間を持たせて計測を実行することができ、迅速且つ正
確な測定を行なうことができるものである。
〈効果〉
本発明によればＩＣ，ＬＳＩ等の動作測定を正確且つ迅
速に行なうことができる。
速に行なうことができる。
第１図は本発明に係る計測装置の一実施例の回路機構の
ブロック図、第２図はアナログ信号入力波形の波形図、
第３図は従来の計測装置の回路機構のブロック図を示す
。
ブロック図、第２図はアナログ信号入力波形の波形図、
第３図は従来の計測装置の回路機構のブロック図を示す
。
Claims (1)
- １、信号入力を高速でＡＤ変換する第１のＡＤ変換器と
、該第１のＡＤ変換器の変換出力に基いて信号入力の安
定性を読み取り、安定であった時低速で高精度にＡＤ変
換する第２のＡ’Ｄ変換器にＡＤ変換の実行を命令する
コントローラとを備え、前記第２のＡＤ変換器の信号入
力のＡＤ変換出力に基いて計測結果を得るようになした
ことを特徴とする計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58241757A JPS60131478A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58241757A JPS60131478A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131478A true JPS60131478A (ja) | 1985-07-13 |
Family
ID=17079074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58241757A Pending JPS60131478A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60131478A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022954A (ja) * | 1988-06-15 | 1990-01-08 | Advantest Corp | Ｉｃ試験装置 |
| JPH04249779A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-09-04 | Nec Yamagata Ltd | 半導体のテスト装置 |
-
1983
- 1983-12-19 JP JP58241757A patent/JPS60131478A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022954A (ja) * | 1988-06-15 | 1990-01-08 | Advantest Corp | Ｉｃ試験装置 |
| JPH04249779A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-09-04 | Nec Yamagata Ltd | 半導体のテスト装置 |
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