JPH04198773A - 半導体装置の試験装置 - Google Patents
半導体装置の試験装置Info
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- JPH04198773A JPH04198773A JP2335382A JP33538290A JPH04198773A JP H04198773 A JPH04198773 A JP H04198773A JP 2335382 A JP2335382 A JP 2335382A JP 33538290 A JP33538290 A JP 33538290A JP H04198773 A JPH04198773 A JP H04198773A
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- Japan
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- jitter
- flip
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title description 10
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 14
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
この発明はアナログデバイス（以下ＤｕＴと称す）を一
部に含む半導体集積回路の入出力特性試験等に用いられ
る半導体装置の試験装置に関し、特にジッタの振動幅と
振動周波数を求める試験を行うＤｕＴの試験装置に関す
るものである。
部に含む半導体集積回路の入出力特性試験等に用いられ
る半導体装置の試験装置に関し、特にジッタの振動幅と
振動周波数を求める試験を行うＤｕＴの試験装置に関す
るものである。
ＤｕＴの品質には様々な特性が挙げられるが、ここでは
特にＴＶ等の同期信号等で用いられるパルス信号を、Ｄ
ｕＴが出力として発生する際のジッタの振動幅を測定す
る為の従来のジッタ測定装置とジッタについて説明する
。
特にＴＶ等の同期信号等で用いられるパルス信号を、Ｄ
ｕＴが出力として発生する際のジッタの振動幅を測定す
る為の従来のジッタ測定装置とジッタについて説明する
。
第４図において、Ｔ′は第３図のパルス発生器（＋１に
より出力されるパルス波形を示し、第４図Ｔは第３図の
被試験半導体装置（２）により出力されるＤｕＴの出力
波形で、ジッタが全くない場合てあり、第４図Ｔ、、Ｔ
、は同様に第３図の被試験半導体装ｆｉ （２）より出
力される出力波形で、ジッタを起こしている時の最大振
幅の両端を示したものである。
より出力されるパルス波形を示し、第４図Ｔは第３図の
被試験半導体装置（２）により出力されるＤｕＴの出力
波形で、ジッタが全くない場合てあり、第４図Ｔ、、Ｔ
、は同様に第３図の被試験半導体装ｆｉ （２）より出
力される出力波形で、ジッタを起こしている時の最大振
幅の両端を示したものである。
ここで所望のジッタ振動振幅は、第４図においてＴ、と
Ｔ１との差すなわちΔｔである。
Ｔ１との差すなわちΔｔである。
次に、従来のジッタ振動振幅の求め方について説明する
。まず第３図のパルス波発生器（１）より出力された信
号Ｔ′を時間測定装置（３）のへのラインへ入力し、被
試験半導体装置（２）のＤｕｔより出力された信号Ｔ
、 Ｔ１． Ｔ ｔを時間測定装置（３）のＢのライン
へ入力する。ここでＡ、Ｂ間の時間の最小値（第４図△
１１）、最大値（第４図Δ１．）を時間測定装置（３）
により求め、演算により（△ｔ、−Δ１＋）所望のジッ
タ振動振幅Δｔを求める。
。まず第３図のパルス波発生器（１）より出力された信
号Ｔ′を時間測定装置（３）のへのラインへ入力し、被
試験半導体装置（２）のＤｕｔより出力された信号Ｔ
、 Ｔ１． Ｔ ｔを時間測定装置（３）のＢのライン
へ入力する。ここでＡ、Ｂ間の時間の最小値（第４図△
１１）、最大値（第４図Δ１．）を時間測定装置（３）
により求め、演算により（△ｔ、−Δ１＋）所望のジッ
タ振動振幅Δｔを求める。
従来のＤｕＴの試験装置は以上のように構成されていた
ので、第３図のＴｔ、Ｔ、Ｔ、のジッタ振動のタイミン
グが不明で、又時間測定装置の測定タイミングも不明の
為、第３図Ｔ、、Ｔ、Ｔ、の内の最大振幅（△ｔ、−Δ
ｔ＋”Δｔ）を測定しているかどうかが不明てあり、又
、ジッタの振動周波数も知る事は不可能で、時間測定装
置の機器の誤差にもジッタ振動振幅Δｔは影響すること
が多いという問題点があった。
ので、第３図のＴｔ、Ｔ、Ｔ、のジッタ振動のタイミン
グが不明で、又時間測定装置の測定タイミングも不明の
為、第３図Ｔ、、Ｔ、Ｔ、の内の最大振幅（△ｔ、−Δ
ｔ＋”Δｔ）を測定しているかどうかが不明てあり、又
、ジッタの振動周波数も知る事は不可能で、時間測定装
置の機器の誤差にもジッタ振動振幅Δｔは影響すること
が多いという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ジッタの振動振幅の最大値△ｔとその振動周
波数を求める事を可能としたものである。
たもので、ジッタの振動振幅の最大値△ｔとその振動周
波数を求める事を可能としたものである。
この発明に係るＤｕＴの試験装置は、ＤｕＴが出力する
パルス信号をフリップフロップのデータへ入力させ、Ｄ
ｕＴの人力に同期したゲートパルスを遅延時間を任意に
コントロールできる遅延回路によって、遅延した信号を
フリップフロ・ノブのトリが・一人力させる事により、
フリップフロップの出力直流電圧あるいはパルスをそれ
ぞれ電圧測定装置０時間測定装置てジッタ振動振幅およ
びジッタ振動周波数を求めるようにしたものである。
パルス信号をフリップフロップのデータへ入力させ、Ｄ
ｕＴの人力に同期したゲートパルスを遅延時間を任意に
コントロールできる遅延回路によって、遅延した信号を
フリップフロ・ノブのトリが・一人力させる事により、
フリップフロップの出力直流電圧あるいはパルスをそれ
ぞれ電圧測定装置０時間測定装置てジッタ振動振幅およ
びジッタ振動周波数を求めるようにしたものである。
この発明におけるジッタ振動振幅および振動周波数の測
定は、ジッタの振動最大振幅と、ジ、νりの振動周波数
を電圧測定装置および時間測定装置の機器の誤差に関係
なく測定が可能となる。
定は、ジッタの振動最大振幅と、ジ、νりの振動周波数
を電圧測定装置および時間測定装置の機器の誤差に関係
なく測定が可能となる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例である半導体装置の試験装
置のブロック図で、図において、（１）はパルス発生器
、（２）は被試験半導体装置ＤｕＴ、（３）は時間測定
装置、（４）はパルス発生器（１＋に同期したゲートパ
ルスを発生するゲートパルス発生器、（５）は任意に遅
延時間を可変できる可変遅延装置、（６）はデータ入力
とトリが一人力を有するフリップフロップ、（７）は直
流電圧測定装置である。
置のブロック図で、図において、（１）はパルス発生器
、（２）は被試験半導体装置ＤｕＴ、（３）は時間測定
装置、（４）はパルス発生器（１＋に同期したゲートパ
ルスを発生するゲートパルス発生器、（５）は任意に遅
延時間を可変できる可変遅延装置、（６）はデータ入力
とトリが一人力を有するフリップフロップ、（７）は直
流電圧測定装置である。
第２図は第１図の各部波形図で、被試験半導体装置（２
）のＤｕＴより出力された信号（ｂ）をフリップフロッ
プ（６）のトリが一人力へ、又パルス発生器（１１に同
期したゲートパルスを発生するゲートパルス発生器（４
）より出力された信号を任意に遅延時間を可変できる可
変遅延装置（５）を通し、任意の時間遅延させフリップ
フロップ（６）のデータへ入力し、フリップフロップ（
６）の出力直流電圧あるいはパルス波の周波数をそれぞ
れ直流電圧測定装置（７）、時間測定装置（３）により
測定する。
）のＤｕＴより出力された信号（ｂ）をフリップフロッ
プ（６）のトリが一人力へ、又パルス発生器（１１に同
期したゲートパルスを発生するゲートパルス発生器（４
）より出力された信号を任意に遅延時間を可変できる可
変遅延装置（５）を通し、任意の時間遅延させフリップ
フロップ（６）のデータへ入力し、フリップフロップ（
６）の出力直流電圧あるいはパルス波の周波数をそれぞ
れ直流電圧測定装置（７）、時間測定装置（３）により
測定する。
第２図の（ａｌ ｊ；！パルス発生器（１）の出力波形
を示し、（ｂｌはＤ ｕ Ｔ （２）のジッタを有する
出力波形で、フリップフロップ（６）のトリがへ入力さ
れるもので、（Ｃ１はゲートパルス発生器（４）により
出力された信号が可変遅延装置（５）により任意の時間
遅延し、フリップフロップ（６）のデータへ入力される
信号のＬＯからＨｌになる要するにフリップフロップに
ラッチをかけるタイミングのみを示し、（ｄ）は、フリ
ップフロップ（６）にラッチを掛けるタイミング波形（
Ｃ）のパルス１〜４．２１〜２３の時のフリップフロッ
プ（６）の出力を示し、（ｅ）は同様に波形（Ｃ）のパ
ルス５〜１０゜１４〜２０の時のフリップフロップ（６
）の出力を示し、（ｆ）は同様に波形（Ｃ）のパルス１
１〜＋３の時のフリップフロップ（６）の出力を示す。
を示し、（ｂｌはＤ ｕ Ｔ （２）のジッタを有する
出力波形で、フリップフロップ（６）のトリがへ入力さ
れるもので、（Ｃ１はゲートパルス発生器（４）により
出力された信号が可変遅延装置（５）により任意の時間
遅延し、フリップフロップ（６）のデータへ入力される
信号のＬＯからＨｌになる要するにフリップフロップに
ラッチをかけるタイミングのみを示し、（ｄ）は、フリ
ップフロップ（６）にラッチを掛けるタイミング波形（
Ｃ）のパルス１〜４．２１〜２３の時のフリップフロッ
プ（６）の出力を示し、（ｅ）は同様に波形（Ｃ）のパ
ルス５〜１０゜１４〜２０の時のフリップフロップ（６
）の出力を示し、（ｆ）は同様に波形（Ｃ）のパルス１
１〜＋３の時のフリップフロップ（６）の出力を示す。
以上によりまずジッタの振動振幅の測定には、波形（Ｃ
１のトリガータイミングをパルス１から順次パルス２，
３．４〜と遅延させた時のフリップフロップ（６）の出
力の変化点、すなわちはじめ波形（ｄ）の状態で、次の
波形（ｅ）の状態になった時の可変遅延装置（５）の遅
延ｆｆ１（Δｔ２６）を求め、更に遅延させ、波形げ）
の状態になった時の遅延量（Δｔ１．）を求めて、その
差（Δｔ１．−Δｔ１．）によりジッタの振動振幅△ｔ
１゜を求める事ができる。
１のトリガータイミングをパルス１から順次パルス２，
３．４〜と遅延させた時のフリップフロップ（６）の出
力の変化点、すなわちはじめ波形（ｄ）の状態で、次の
波形（ｅ）の状態になった時の可変遅延装置（５）の遅
延ｆｆ１（Δｔ２６）を求め、更に遅延させ、波形げ）
の状態になった時の遅延量（Δｔ１．）を求めて、その
差（Δｔ１．−Δｔ１．）によりジッタの振動振幅△ｔ
１゜を求める事ができる。
次にジッタ振動周波数の測定には、以上より波形（ｅ）
のパルス５〜１０． １４〜２０の時のフリップフロッ
プ（６）の出力波形（ｅ）の周波数の２倍がジッタ振動
周波数である。
のパルス５〜１０． １４〜２０の時のフリップフロッ
プ（６）の出力波形（ｅ）の周波数の２倍がジッタ振動
周波数である。
又、以上の測定によると、直流電圧測定装置（７）、時
間測定装置（３）の機器の誤差に関係なく、ジッタ振動
振幅と振動周波数を測定できる。
間測定装置（３）の機器の誤差に関係なく、ジッタ振動
振幅と振動周波数を測定できる。
以上のようにこの発明によれば、ＤｕＴのパルス出力の
ジッタの振動最大振幅、振動周波数を測定可能とし、ま
たこれらの測定値は直流電圧測定装置１時間測定装置に
影響を受けないという効果がある。
ジッタの振動最大振幅、振動周波数を測定可能とし、ま
たこれらの測定値は直流電圧測定装置１時間測定装置に
影響を受けないという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例である半導体装置の試験装
置のブロック図、第２図は第１図の各部信号波形図、第
３図は従来の半導体装置の試験装置のブロック図、第４
図は第３図の各部信号波形図である。 図において、（１）はパルス発生器、（２）は被試験半
導体装ｒ！ｔ（ＤｕＴ）、（３）は時［１７定装置、（
４１ｉ、ｔ ケートパルス発生器、（５）は可変遅延装
置、（６）はフリップフロップ、（７）は直流電圧測定
装置を示す。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄第２図
置のブロック図、第２図は第１図の各部信号波形図、第
３図は従来の半導体装置の試験装置のブロック図、第４
図は第３図の各部信号波形図である。 図において、（１）はパルス発生器、（２）は被試験半
導体装ｒ！ｔ（ＤｕＴ）、（３）は時［１７定装置、（
４１ｉ、ｔ ケートパルス発生器、（５）は可変遅延装
置、（６）はフリップフロップ、（７）は直流電圧測定
装置を示す。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄第２図
Claims (1)
- パルス信号に同期したゲート信号を発生する信号発生器
と、アナログデバイスより出力されるパルス信号を任意
の時間遅延させることができる遅延回路と、前記アナロ
グデバイスの出力をデータとして前記遅延回路を通過し
たゲート信号をトリガーとして取り入れられるフリップ
フロップと、このフリップフロップの出力信号（直流）
の電圧を測定する電圧測定装置と、前記フリップフロッ
プの出力信号（パルス）の周波数を測定する時間測定装
置を設け、ジッタの振動幅と振動周波数を測定する手段
を備えたことを特徴とする半導体装置の試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2335382A JPH04198773A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2335382A JPH04198773A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置の試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04198773A true JPH04198773A (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=18287921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2335382A Pending JPH04198773A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置の試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04198773A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6339555B1 (en) | 2000-07-24 | 2002-01-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device enabling test of timing standard for strobe signal and data signal with ease, and subsidiary device and testing device thereof |
| JP2007271473A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Nec Corp | ジッタ測定回路 |
| JP2008505318A (ja) * | 2004-06-30 | 2008-02-21 | テラダイン・インコーポレーテッド | 精密時間測定装置及び方法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2335382A patent/JPH04198773A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6339555B1 (en) | 2000-07-24 | 2002-01-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device enabling test of timing standard for strobe signal and data signal with ease, and subsidiary device and testing device thereof |
| JP2008505318A (ja) * | 2004-06-30 | 2008-02-21 | テラダイン・インコーポレーテッド | 精密時間測定装置及び方法 |
| JP2007271473A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Nec Corp | ジッタ測定回路 |
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