KR940005992A - 기판 상에 패턴화된 폴리이미드 피막을 형성하는 방법 - Google Patents

기판 상에 패턴화된 폴리이미드 피막을 형성하는 방법 Download PDF

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KR940005992A
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야스히사 야마모또
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미리암 디. 메코너헤이
이. 아이. 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니
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Abstract

본 발명은 폴리이미드 전구체를 감광성 기를 함유하는 화합물을 사용하여 개질시켜 얻은 광가교성 중합체 조성물을 기판의 표면에 도포하여 피막을 형성하고, 생성된 피막을 상 형태로 노광시키고, 미노광 부분을 현상액을 사용하여 용해시켜 제거하고, 노광부분에 잔류하는 피막을 가열하여 폴리이미드 수지로 전환시키는 방법에 관한 것이며, 1-30중량%의 디메틸 술폭시드를 함유하는 현상액이 현상 공정 중에 사용되었다.

Description

기판 상에 패턴화된 폴리이미드 피막을 형성하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (2)

  1. (1)방향족 테트리카르복실산 또는 대응하는 일 또는 이산 무수물 및 방향족 디아민으로부터 유도된 폴리이미드 전구체를 감광성기를 함유하는 화합물을 사용하여 개질시켜 얻는 광가교성 중합체 조성물을 기판의 표면상에 도포하여 피막을 형성하는 단계, (2)피막을 상 형태로 노광시키는 단계, (3)미노광부분을 현상액을 사용하여 제거하는 단계, 및 (4)노광부분에 잔류하는 피막을 가열하는 단계로 이루어진, 기판상에 패턴화된 폴리이미드피막을 형성하는 방법.
  2. 1중량% 내지 30중량%의 디메틸 술폭시디를 함유하는 제1항 기재의 현상액.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930011262A 1992-06-19 1993-06-19 기판 상에 패턴화된 폴리이미드 피막을 형성하는 방법 KR940005992A (ko)

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