KR940005363A - 로보트 조립체 - Google Patents

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KR940005363A
KR940005363A KR1019930006843A KR930006843A KR940005363A KR 940005363 A KR940005363 A KR 940005363A KR 1019930006843 A KR1019930006843 A KR 1019930006843A KR 930006843 A KR930006843 A KR 930006843A KR 940005363 A KR940005363 A KR 940005363A
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그룬스 하워드
Original Assignee
제임스 조셉 드롱
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
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Abstract

본 발명은 로보트 조립체로서, 중심 허브, 및 이 중심 허브에 대하여 서로 독립적으로 회전하도록 배열된 2개의 아암을 갖추고 있다. 서로에 대하여 180도 만큼 이격되어 있느 2개의 캐리어는 각각의 아암 단부에 연결된다. 캐리어들중 어느 하나가 중심 허브로부터 방사상으로 연장되도록 아암을 반대방향으로 회전시키고 캐리어가 효과적으로 회전하도록 아암을 같은 방향으로 회전시키기 위한 구동수단이 제공된다.

Description

로보트 조립체
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 로보트 조립체의 평면도,
제2도는 본 발명에 따른 로보트 조립체를 상세하게 도시한 도면,
제3도는 본 발명의 또 다른 로보트 조립체의 일부를 상세하게 도시한 평면도.

Claims (12)

  1. 로보트 조립체로서, 중심 허브와, 상기 허브에 대하여 회전하도록 배열된 2개의 아암과, 서로에 대하여 180도 이격되어 있는 2개의 캐리어로서, 각각의 상기 아암 단부에 각각 연결되어 있는 캐리어와, 그리고 상기 캐리어들 중 어느 하나가 상기 중심 허브로부터 방사상으로 연장되도록 상기 아암을 반대방향으로 회전시키고, 상기 캐리어가 효과적으로 동축 회전을 하도록 상기 아암을 같은 방향으로 회전시키기 위한 구동수단을 포함하는 로보트 조립체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 아암을 상기 캐리어에 연결시키는 관절 결합부를(articulated linkage)를 더 포함하는 로보트 조립체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 구동수단이 자기 연결된 전동기로 구성되는 로보트 조립체.
  4. 제2항에 있어서, 상기 관절결합부가 메싱(meshing)수단을 더 포함하며, 이것에 의하여 상기 캐리어가 상기 허브와 방사상으로 정렬하여 유지되는 로보트 조립체.
  5. 제1항에 있어서, 상기 캐리어가 반도체 웨이퍼들을 다루기에 적합한 로보트 조립체.
  6. 로보트 조립체로서, 중심 허브와, 상기 허브에 대하여 동축 회전하기 의해서 상기 허브와 단부를 통해서 연결된 제1아암과, 상기 허브에 대하여 동축회전 하기 위해서 상기 허브와 단부를 통해서 연결된 제2아암과, 서로에 대하여 180도 이격되어 있는 2개의 캐리어와, 각각의 상기 캐리어를 각각의 상기 아암 단부에 연결시키기 위한 관절 결합부와, 그리고 상기 캐리어들중 어느 하나가 상기 중심 허브로부터 방사상으로 연장하도록 상기 아암을 반대방향으로 회전시키고, 상기 캐리어가 효과적으로 회전하도록 상기 아암을 반대방향으로 회전시키고, 상기 캐리어가 효과적으로 회전하도록 상기 아암을 같은 방향으로 회전시키기 위한 구동수단을 포함하는 로보트 조립체.
  7. 제6항에 있어서, 상기 구동수단이 자기 연결된 동력원으로 구성되는 로보트 조립체.
  8. 제6항에 있어서, 상기 관절결합부가 메싱(meshing)수단을 더 포함하며, 이것에 의하여 상기 캐리어가 상기 허브와 방사상으로 정렬되어 유지되는 로보트 조립체.
  9. 제6항에 있어서, 상기 캐리어가 반도체 웨이퍼를 다루기에 적합한 로보트 조립체.
  10. 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 반응 장치에 사용되는 로보트 조립체로서, 중심 허브와, 상기 허브에 대하여 동축회전하기 위해서 상기 허브와 단부를 통해서 연결된 제1아암과, 상기 허브에 대하여 동축회전하기 위해서 상기 허브와 단부를 통해서 연결된 제2아암과, 서로에 대하여 180도 이격되어 있는 2개의 캐리어와, 상기 하나의 캐리어를 각각의 상기 아암 단부에 연결하기 위한 제1관절 결합부와, 또다른 하나의 상기 캐리어가 상기 중심 허브로부터 연장되도록 아암들을 상기 허브의 축에 대하여 반대 방향으로 서로 독립적으로 회전시키고, 상기 캐리어가 효과적으로 회전하도록 상기 아암들을 같은 방향으로 회전시키기 위한 구동수단을 포함하는 로보트 조립체.
  11. 제10항에 있어서, 상기 구동수단이 자기 연결된 전동기로 구성되는 로보트 조립체.
  12. 제10항에 있어서, 상기 관절 결합부가 메싱(meshing)수단을 더 포함하며, 이것에 의하여 상기 캐리어가 상기 허브와 방사상으로 정렬하여 유지되는 로보트 조립체.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930006843A 1992-04-23 1993-04-23 로봇 조립체 KR100281239B1 (ko)

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US7/873,422 1992-04-23

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