KR937000216A - 화학증착방법 및 이에 사용되는 탄소 섬유로 보강된 탄소 매트릭스재 물품 - Google Patents

화학증착방법 및 이에 사용되는 탄소 섬유로 보강된 탄소 매트릭스재 물품

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Abstract

내용 없음.

Description

화학증착방법 및 이에 사용되는 탄소 섬유로 보강된 탄소 매트릭스재 물품
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 LPCVD 반응조와 단면도,
제2도는 반도체 웨이퍼 케이지의 입면도,
제3도는 웨이퍼 케이지의 단면도.

Claims (88)

  1. 하나이상의 CVD 처리용 부재가 탄소섬유로 보강된 탄소 매트릭스재를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 탄소 매트릭스재는 성형체를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 성형체는 CVD 반응조 부재인 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 성형체는 CVD 부속품인 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  5. 제2항에 있어서, 상기 성형체는 재료 취급 부재인 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 탄소섬유는 탄소섬유, 흑연섬유 또는 이들의 혼합물로 부터 선정된 보강물인 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 보강물은 폴리아크릴로나이트라일, 레이온, 피치, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정된 선구물질에서 얻어지는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 매트릭스는 페놀류, 푸란, 피치, 유기금속 수지 및 이들의 화할물로 부터 선정된 선구물질에서 얻어지는 것을 특징으로 하는 화학증작방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 페놀류는 석탄산 수지 및 노볼락으로 부터 선저아되는 것을 특징으로 하는 화하증착방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 유기금속 수지는 유기지르코늄 수지 및 폴리실란 수지로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 매트릭스 충전물을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 충전물은 탄소, 붕소, 규소, 탄화붕소, 탄화규소, 탄화티타늄, 탄화지르코늄, 탄화하프늄, 탄화니오븀, 탄화탄탈, 탄화텅스텐, 육붕화규소 붕화티타늄, 붕화지르코늄, 봉화하프늄, 붕화니오븀, 부아화탄탈, 붕화텅스텐 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  13. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 탄소 매트릭스재는 보호코팅을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 코팅은 내화물인 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 내화코팅은 규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 내화코팅은 탄화규소, 질화규소 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  17. 제13항에 있어서, 상기 코팅은 규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  18. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 코팅은 거의 규소로 구성된 선코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 탄소 매트릭스재와 상기 규소 선코팅 사이의 계면에 탄화규소가 존재하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  20. 제18항에 있어서, 상기 선코팅 인에 보호코팅이 배치되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  21. 제18항에 있어서, 상기 선코팅은 약 0. 1㎛이상의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  22. 제20항에 있어서, 상기 보호코팅은 SiC, SiO2, Si2N4, SiAl0N, MoSi2, WSi2, NiSi2, ZrB2, TiB2, SiB4,SiB6, B4C, B, Ni, Cr, Pt, Ir, 알루미나, 알루미노포스페이트 알루미노실리케이트, 마그네슘 알루미노실리케이트, 보로실시케이트, 소듐보로알루미노실리케이트, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  23. 제20항에 있어서, 상기 보호코팅은 이산화규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  24. 제23항에 있어서, 상기 이산화규소는 도펀트를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  25. 제23항에 있어서, 상기 도펀트는 인, 붕소, 비소 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  26. 제20항에 있어서, 상기 보호코팅은 내화물인 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  27. 제26항에 있어서, 상기 내화코팅은 규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  28. 제26항에 있어서, 상기 내화코팅은 탄화규소, 질화규소 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으르 하는 화학증착방법.
  29. 제20항에 있어서, 상기 보호코팅은 이산화규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  30. 제29항에 있어서, 상기 이산화규소는 도펀트를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  31. 제29항에 있어서, 상기 도펀트는 인, 붕소, 비소 및 이들의 화합물로 구성된 군으로부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  32. 상기 보호코팅은 SiC, SiO2, Si3N4, SiAl0N, MoSi2, WSi2, NiSi2, ZrB2, TiB2, SiB4,SiB6, B4C, B, Ni, Cr, Pt, Ir, 알루미나, 알루미노포스페이트 알루미노실리케이트, 마그네슘 알루미노실리케이트, 보로실시케이트, 소듐보로알루미노실리케이트, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  33. 제1항에 있어서, 상기 탄소 매트릭스재는 규소를 포함하는 섬유/숯의 복합체인 것을 특징으로 하는 화학증착방식.
  34. 제33항에 있어서, 상기 코팅을 규소, 탄화규소 및 이들의 화합물로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  35. 제1항에 있어서, 상기 탄소 매트릭스재는 덮개로서 CVD처리 부재의 위에 설치되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  36. 제4항에 있어서, 상기 CVD 부속품은 운반체인 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  37. 제36항에 있어서, 상기 운반체는 웨이퍼 케이지인 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  38. 제37항에 있어서, 상기 웨이퍼 케이지는 보호코팅을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  39. 제38항에 있어서, 상기 보호코팅은 주로 규소로 구성된 선코팅층을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  40. 제39항에 있어서, 상기 탄소 매트릭스재와 상기 규소 선코팅 사이의 계면에 탄화규소가 존재하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  41. 제39항 또는 제40항에 있어서, 상기 규소 선코팅층 위에 상부 코팅층이 배치되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  42. 제 41항에 있어서, 상기 보호코팅은 SiC, SiO2, Si3N4, SiAl0N, MoSi2, WSi2, NiSi2, ZrB2, TiB2, SiB4,SiB6, B4C, B, Ni, Cr, Pt, Ir, 알루미나, 알루미노포스페이트 알루미노실리케이트, 마그네슘 알루미노실리케이트, 보로실시케이트, 소듐보로알루미노실리케이트, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  43. 제41항에 있어서, 상기 상부 코팅층은 탄화규소, 질화규소, 이산화규소 및 이들의 화함물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  44. 제43항에 있어서, 상기 이산화규소는 인, 붕소, 비소, 및 이들의 화합물로 부터 선정되는 도펀트를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  45. 제36항에 있어서, 상기 웨이퍼 케이지는 보호코팅을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  46. 제45항에 있어서, 상기 보호코팅은 거의 규소로 구성된 선코팅층을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  47. 제46항에 있어서, 상기 탄소 매트릭스재와 상기 규소 선코팅 사이의 계면에 탄화규소가 존재하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  48. 제46항 또는 제47항에 있어서, 상기 규소 선코팅층 위에 상부코팅층이 배치되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  49. 제48항에 있어서, 상기 보호코팅은 SiC, SiO2, Si3N4, SiAl0N, MoSi2, WSi2, NiSi2, ZrB2, TiB2, SiB4,SiB6, B4C, B, Ni, Cr, Pt, Ir, 알루미나, 알루미노포스페이트 알루미노실리케이트, 마그네슘 알루미노실리케이트, 보로실시케이트, 소듐보로알루미노실리케이트, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  50. 제49항에 있어서, 상기 상부코팅층은 탄화규소, 질화규소, 이산화규소 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  51. 제50항에 있어서, 상기 이산화규소는 인, 붕소, 비소, 및 이들의 화합물로 부터 선정되는 도펀트를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  52. 탄소섬유로 보강된 탄소 매트릭스체와 이 매트릭스상에 있는 규소로 거의 구성된 코팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품.
  53. 제52항에 있어서, 상기 탄소섬유는 탄소섬유, 흑연섬유 또는 이들의 흔합물로 부터 선정된 보강물인 것을 특징으로 하는 물품.
  54. 제53항에 있어서, 상기 보강물은 폴리아크릴로나이트라일, 레이은, 피치, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정된 선구물질에서 얻어지는 것을 특징으로 하는 물품.
  55. 제52항에 있어서, 상기 매트릭스 페놀류, 푸란, 피치, 유기금속 수지 및 이들의 화합물로 부터 선정된 선구물질에서 얻어지는 것을 특징으로 하는 물품.
  56. 제55항에 있어서, 상기 페놀류는 석탄산 수지 및 노볼락으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 물품.
  57. 제55항에 있어서, 상기 유기금속 수지는 유기지르코늄 수지 및 폴리실란 수지로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 물품.
  58. 제52항에 있어서, 상기 탄소 매트릭스는 충전물을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품.
  59. 제58항에 있어서, 상기 충전물은 탄소, 붕소, 규소, 탄화붕소, 탄화규소, 탄화티타늄, 탄화지르코늄, 탄화하프늄, 탄화니오븀, 탄화탄탈, 탄화텅스텐, 육붕화규소, 붕화티타늄, 붕화지르코늄, 붕화하프늄, 붕화니오븀, 부화탄탈, 붕화텅스텐 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 물품.
  60. 제59항에 있어서, 상기 탄소와 상기 규소코팅 사이의 계면에 탄화규소가 존재하는 것을 특징으로 하는 묾품.
  61. 제52항 또는 제60항에 있어서, 상기 규소코팅 위에 보호코팅이 배치되는 것을 특징으로 하는 물품.
  62. 제52항에 있어서, 상기 규소코팅은 약 0.1㎛이상의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 물품.
  63. 제61항에 있어서, 상기 보호코팅은 SiC, SiO2, Si3N4, SiAl0N, MoSi2, WSi2, NiSi2, ZrB2, TiB2, SiB4,SiB6, B4C, B, Ni, Cr, Pt, Ir, 알루미나, 알루미노포스페이트 알루미노실리케이트, 마그네슘 알루미노실리케이트, 보로실시케이트, 소듐보로알루미노실리케이트, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  64. 제61항에 있어서, 상기 보호코팅은 이산화규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  65. 제64항에 있어서, 이산화규소는 도펀트를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  66. 제65항에 있어서, 상기 도펀트는 인, 붕소, 비소 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 물품.
  67. 제61항에 있어서, 상기 보호코팅은 내화물인 것을 특징으로 하는 물품.
  68. 제67항에 있어서, 상기 내화코팅은 규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품.
  69. 제61항에 있어서, 상기 내화코팅은 탄화규소, 질화규소 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 물품.
  70. 제61항에 있어서, 상기 보호코팅은 SiC, SiO2, Si3N4, SiAl0N, MoSi2, WSi2, NiSi2, ZrB2, TiB2, SiB4,SiB6, B4C, B, Ni, Cr, Pt, Ir, 알루미나, 알루미노포스페이트 알루미노실리케이트, 마그네슘 알루미노실리케이트, 보로실시케이트, 소듐보로알루미노실리케이트, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  71. (a) 탄화체상에 규소로 거의 구성된 코팅을 용착시키는 단계; 및 (b)상기 규소로 코팅된 탄화체상에 규소함유 내화코팅을 용착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 규소함유 내화코팅으로 탄화체를 코팅하는 방법.
  72. 제71항에 있어서, 상기 탄화체와 코팅 사이의 계면에 탄화규소가 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  73. 제71항 또는 제72항에 있어서, 상기 규소코팅은 약 0.5㎛ 이상의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  74. 제71항 또는 제72항에 있어서, 상기 내화코팅은 규소를 포함하는 것을 특징으로 코팅방법.
  75. 제71항 또는 제72항에 있어서, 상기 내화코팅은 탄화규소, 질화규소, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로부터 선정되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  76. 제71항 또는 제72항에 있어서, 상기 내화코팅을 탄화규소인 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  77. 제71항 또는 제72항에 있어서, 상기 내화코팅은 질화규소인 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  78. 제71항에 있어서, 상기(a) 단계는 화학증착에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  79. 제72항에 있어서, 상기(b) 단계는 화학증착에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  80. (a) 탄화체상에 규소로 거의 구성된 제2의 코팅을 용착시키는 단계; 및 (b) 상기 규소로 코팅된 탄화체상에 규소와 화학적으로 적합한 재료의 제2의 코팅을 용착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화체의 코팅 방법.
  81. 제80항에 있어서, 상기 탄화체와 코팅 사이의 계면에 탄화규소가 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  82. 제80항 또는 제81항에 있어서, 상기 규소코팅은 약 0.5㎛ 이상의 두께률 가지는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  83. 제80항 또는 제81항에 있어서, 상기 보호코팅은 SiC, SiO2, Si3N4, SiAl0N, MoSi2, WSi2, NiSi2, ZrB2, TiB2, SiB4,SiB6, B4C, B, Ni, Cr, Pt, Ir, 알루미나, 알루미노포스페이트 알루미노실리케이트, 마그네슘 알루미노실리케이트, 보로실시케이트, 소듐보로알루미노실리케이트, 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 화학증착방법.
  84. 제83항에 있어서, 상기 제2의 코팅은 이산화규소를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  85. 제84항에 있어서, 상기 이산화규소는 도펀트를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  86. 제85항에 있어서, 상기 도펀트는 인, 붕소, 비소 및 이들의 화합물로 구성된 군으로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  87. 제80항에 있어서, 상기(a) 단계는 화학증착에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
  88. 제80항에 있어서, 상기(b) 단계는 화학증착에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 코팅방법.
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