KR930700816A - 다기능 측정 시스템 - Google Patents

다기능 측정 시스템

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KR930700816A
KR930700816A KR1019920702597A KR920702597A KR930700816A KR 930700816 A KR930700816 A KR 930700816A KR 1019920702597 A KR1019920702597 A KR 1019920702597A KR 920702597 A KR920702597 A KR 920702597A KR 930700816 A KR930700816 A KR 930700816A
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존스톤 리차드
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원본미기재
더 글리슨 워크스
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Abstract

내용 없음.

Description

다기능 측정 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의도된 새로운 기어제조기계형의 사시도이며, 본 발명의 장치는 명확하게 하기 위해서 상기 도면에서 생략되었고,
제2도는 제1도에서 도시된 상기 기계의 평면도이고,
제3도는 기계이동축선에 대한 이해를 쉽게하도록 상당히 간소화된 상기 기계의 이동가능한 구조물로 제1도 및 제2도에서 도시된 기계를 도시한 개략도이다.

Claims (22)

  1. 베벨 및 하이포이드 기어를 제조하는 기계가 컴퓨터로 제어되고 공작물지지부의 앞면에 장착된 공작물스핀들내에 회전가능하게 유지된 공작물상에 톱니를 형상시키기 위한 공구를 회전가능하게 유지시키기 위해 앞면내에 장착된 스핀들을 갖춘 공구지지부를 갖추고 있으며, 상기 공작물지지부가 한측면을 또한 가지고 있고 상기 양 지지부가 최소수의 작동축선, 즉, 3개가 서로 직교하는 선형축선과 하나의 피벗축선을 따라 서로 상대적으로 이동가능하며, 상기 기계가 상기 지지부를 이동시키기 위한 기계구동수단과 연관된 복수의 부호기수단을 또한 갖추고 있으며, 상기 부호기수단은 서로에 상대적인 상기 지지부의 위치를 나타내는 각각의 측정신호를 제공하는 베벨 및 하이포이드 기어를 제조하는 기계의 작동을 모니터하기 위한 방법에 있어서, 상기 접촉프로브와 연관된 감지팁이 후퇴위치로부터 공구지지부의 앞면을 넣어 돌출한 연장된 위치로 이동가능하도록 그리고 상기 팁의 표면이 다른 표면과 접촉할때마다 접촉트리거신호가 발생하도록 상기 공구지지부상에 접촉프로브를 장착하는 단계, 상기 공작물지지부의 측면과 앞면상에 있는 소정핀 위치내에 복수의 위치결정 지점을 위치시키는 단계, 상기 공구 및 공작물지지부가 복수의 소정된 상대방위 각각내에 있을때 상기 위치결정지점 각각의 상대위치에 상응하는 소정된 위치신호군을 저장하는 단계, 트리거신호가 상기 위치결정지점들의 각각의 것들과 접촉상태에서 상기 접촉 프로브수단에 의해 제공될때마다 상기 축에 대하여 상기 공구 및 공작물지지부의 상대위치를 나타내고 상기 부호기수단에 의해 제공되는 동시적인 위치신호군을 저장하는 단계, 상기 복수의 방위 각각에 대한 상기 동시적이고 소정된 위치신호군을 비교하는 단계, 상기 각각의 신호군사이의 차이를 근거로한 에러신호를 발생시키는 단계, 그리고 상기 에러신호에 따라 상기 공구지지부 및 공작물지지부를 위치시키기 위한 상기 기계구동수단의 작동을 제어하는 단계로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 비접촉프로브의 감지면 부분이 후퇴위치로 부터, 상기 프로브면이 상기 공구지지부의 앞면을 넘어 돌출한 연장된 위치로 이동가능하도록 그리고 프로브면이 다른 표면으로부터 어떤 소정된 거리내에 있게될 때마다 상기 비접촉프로즈가 비접촉 트리거 신호를 제공시키기 위해 조절되도록 상기 공구지지부상에 비접촉프로브를 장착하는 단계, 기계의 공작물스핀들내에 장착된 상기 공작물의 톱니경사부에 대해 이론적으로 합당한 상대위치에 상응하는 소정된 공작물스핀들 위치신호군을 저장하는 단계, 각기 상기 소정된 거리내에 상기 톱니경사부를 통과하면 그리고 상기 톱니 경사부의 표면과 접촉하게되면 트리거신호가 상기 비접촉 및 접촉프로브수단에 의해 제공될때마다 상기 공작물스핀들의 위치를 나타내는 동시적인 공작물스핀들 위치신호군을 저장하는 단계, 그리고 공작물의 톱니경사부에 상응하는 이론적인 그리고 동시적인 공작물스핀들 위치 신호군을 비교하기 위하여, 상기 톱니경사부신호들 사이의 차이를 근거로 에러신호를 발생시키기 위하여, 그리고 상기 공구에 상대적인 상기 공작물의 스톡분류에 대한 상기 톱니경사부 에러신호에 따라 상기 공구 및 공작물스핀들을 위치시키는 그리고, 그후, 상기 공구에 의해 상기 공작물의 톱니를 형상시키는 상기 기계구동 수단의 작동을 제어하기 위하여 상기 컴퓨터를 프로그램시키는 단계로 또다르게 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 공구가 컵형상 연삭휠이고, 상기 기계가 상기 연삭휠을 드레싱하기 위한 장치를 또한 갖추고 있으며, 또 다른 단계들이, 상기 연삭휠의 공작물표면에 대해 이전에 측정된 위치에 상응하는 소정된 위치 신호를 저장하는 단계, 상기 공작물스핀들상에 소모성 테스트웨이퍼를 장착하는 단계, 상기 연삭 휠의 드레싱 다음으로 상기 웨이퍼내에 형상된 절결부를 산출하는 상기 테스트웨이퍼와 상기 휠을 접촉시키도록 상기 기계구동수단을 제어하는 단계, 그리고 상기 이전에 저장된 위치신호로 상기 웨이퍼절결부와 상기 프로브팁이 접촉할때 상기 부호기수단에 의해 제공된 동시적인 위치신호를 비교하여 상기 비교치를 근거로 한 차이신호를 발생시키기 위하여 그리고 상기 차이신호에 따라 상기 기계구동수단을 조절하기 위하여, 상기 접촉 프로브의 팁을 상기 웨이퍼내에 있는 절결부의 표면과 접촉하도록 이동시키는 단계로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 동시적인 위치신호군은, 접촉프로브가 상기 공작물지지부의 측면상에 위치된 일련적으로 제1 및 제2위치결정지점과 접촉하다록 접촉프로브를 위치시키는 그리고 접촉프로브가 상기 공작물지지부의 앞면상에 위치된 일련적으로 복수의 위치결정지점과 접촉하도록 상기 접촉프로브를 위치시키는, 또 다른 단계들에 의해서 발생되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 공작물스핀들의 표면들상에 복수의 위치결정지점을 위치시키는 그리고 접촉프로브의 팁이 일련적으로 상기 위치결정지점과 접촉하도록 상기 접촉프로브를 위치시키는 또다른 단계들로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제2항에 있어서, 상기 톱니경상부 측정단계가 공작물이 공작물스핀들상에 초기적으로 장착된 후 공작물을 검사하는 또다른 단계와 관련하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제2항에 있어서, 상기 톱니경사부 측정단계가 형상공정이 시작된후지만 형상공정의 완성에 앞서 상기 공작물을 모니터한 또다른 단계와 관련하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제2항에 있어서, 상기 톱니경사부 특정단계가 공작기계에 의해 공작물의 협상을 완성하였지만 공작물작스핀들로부터 공작물을 제거함에 앞서 각 로트의 공작물의 제1부를 측정하는 또다른 단계와 관련하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제2항에 있어서, 상기 톱니경사부 측정단계가 공작기계에 의한 공작물의 형상을 완성하였지만 상기 공작물스핀들로부터 공작물을 제공함에 앞서 각각의 공작물을 측정하는 또다른 단계와 관련하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제5항에 있어서, 상기 위치결정지점이 상기 공작물스핀들 구멍에 대하여 사방 지점에서 위치되는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제5항에 있어서, 콜릿형척이 상기 스핀들의 구멍내에 장착되어 있고 그리고 상기 위치결정지점이 척의 구멍에 대하여 사방지점에서 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제5항에 있어서, 아버형척이 상기 스핀들의 구멍내애 장착되어 있고 그리고 상기 위치결정지점이 척의 아버에 대하여 사방지점에 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 베벨 및 하이포이드 기어를 제조하는 기계가 컴퓨터로 제어되고 공작물지지부의 앞면에 장착된 공작물스핀들내에 회전가능하게 유지된 공작물상에 톱니를 형상시키기 위한 공구를 회전가능하게 유지시키기 위해 앞면 내에 장착된 스핀들을 갖춘 공구지지부를 갖춘 공구지지부를 갖추고 있으며, 상기 공작불지지부가 한측면을 또한 가지고 있고 상기 양 지지부가 최소수의 작동축선, 즉, 3개가 서로 직교하는 선형축선과 하나의 퍼벗축선을 따라 서로 상대적으로 이동가능하며, 상기 기계가 사익 지지부를 이동시키기 위한 기계구동수단과 연관된 복수의 부호기수단을 또한 갖추고 있으며, 상기 부호기수단은 서로에 상대적인 상기 지지부의 위치를 나타내는 각각의 측정신호를 제공하는 베벨 및 하이포이드 기어를 제조하는 기계를 위한 모니터 장치에 있어서, 후퇴위치로부터 상기 접촉프로브수단과 연관된 감지팁이 상기 공구지지부의 앞면을 넘어서 돌출한 연장된 위치로 이동가능하게 그리고 상기 공구지지부상에 장착되어 있고, 상기 팁의 표면이 다른 표면과 접촉할때마다 접촉트리거신호를 제공하는 접촉프로브수단, 상기 공작물지지부의 측면과 앞면상에 그리고 상기 공작물스핀들상에 소정된 위치내에 위치된 복수의 위치결정지점, 상기 공구 및 공작물컬럼이 복수의 소정된 상대방위들의 각각에 있을때 각각의 상기 위치결정지점에 대한 상대위치와 상응하는 소정된 위치신호를, 그리고 트리거 신호가 상기 위치결정지점들의 각각의 지점들과 접촉하는중 상기 접촉프로브수단에 의해 제공될때마다 상기 축선들에 대하여 상기 공구 및 공작물지지부의 상대위치를 나타내는 상기 부호기로부터의 동시적인 위치 신호군들을 수용하고 저장하기 위한 저장수단, 각각의 상기 복수의 방위들에 대한 상기 동시적인 그리고 소정된 위치신호군을 비교하기 위해, 상기 각각의 신호군사이의 차이를 근거로 에러신호를 발생시키기 위해, 그리고 상기 에러신호에 따라 상기 공구 및 공작물지지부를 위치시키는 상기 기계구동수단의 작동을 제어하기 위해, 프로그램 할 수 있는 상기 컴퓨터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 모니터장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 비접촉프로브수단과 연관된 감지면 부분이 상기 공구지지부의 앞면을 넘어서 돌출한 연장된 부분으로 이동가능하고 그리고 상기 공구지지부상에 장착되어 있으며, 상기 면이 다른 표면로부터 어떤 소정된 거리내에 있을때마다 비접촉트리거 신호를 제공하는 비접촉프로브 수단으로 더 구성되어 있고 그리고 여기에서 상기 저장수단이, 상기 공작물스핀들내에 장차된 상기 기어형상의 공작물의 톱니경사부에 대해 이론적으로 합당한 상대위치에 상응하는 소정된 공작물스핀들 위치 신호군에 대해 이론적으로 합당한 상대위치에 상응하는 소정된 공작물스핀들 위치 신호를, 그리고 각기 상기 소정된 거리내에 상기 톱니경사부를 통과하면 그리고 상기 톱니경사부의 표면과 접촉하게 되면 트리거신호가 상기 비접촉 및 접촉프로브수단에 의해 제공될때마다 상기 공작물스핀들의 위치를 나타내는 동시적인 공작물 스핀들위치신호군을 또한 수용하고 저장하며, 상기 컴퓨터가 공작물의 톱니경사부에 상응하는 상기 이론적인 그리고 동시적인 공작물스핀들 위치신호를 비교하기 위하여, 상기 톱니경사부 사이의 차이를 근거로 에러신호를 발생시키기 위하여, 그리고 상기 공구에 상대적인 상기 공작물의 스톡분류에 대한 상기 톱니경사부 에러신호에 따라 상기 공구 및 공작몰스핀들을 위치시키는 그리고, 그후 상기 공구에 의해 상기 공작물의 톱니를 형상시키는 상기 기계구동수단의 작동을 제어하기 위하여 또한 프로그램될 수 있는 것을 특징으로 하는 모니터 장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 공구는 컵형상의 연삭휠이고 상기 기계는 상기 연삭휠을 드레싱하기 위한 장치를 또한 갖추고 있으며, 상기 저장수단은 상기 연삭휠의 가공표면의 이전에 측정된 위치에 상응하는 소정된 신호를 또한 수용하고 저장하며, 그리고 상기 모니터장치는, 상기 공작물스핀들상에 장착된 소모성 테스트 웨이퍼, 상기 연삭휠이 상기 휠의 드레싱작업 다음에 상기 웨이퍼를 절삭하기 위하여 상기 테스트웨이퍼와 접촉되로고 상기 기계구동수단을 제어하기 위해, 상기 접촉 프로브수단의 팁이 상기 웨이퍼내에 있는 절결부의 표면과 접촉하도록 이동시키기 위해, 상기 프로브수단 팁이 상기 웨이퍼절결부를 상기 이전에 저장된 위치신호와 접촉시킬때 상기 부호기수단에 의해 제공된 동시적인 위치신호와 비교하기 위해 그리고 상기 비교치를 근거로 차이 신호를 발생시키기 위해, 그리고 상기 차이신호에 따라 상기 기계구동수단을 조절하기 위해 또한 프로그램할 수 있는 상기 컴퓨터로 더 구성되는 것을 특징으로 하는 모니터장치.
  16. 공구지지부를 갖추고 있는 컴퓨터로 제어되는 기계가 상기 스핀들을 회전시키는 구동수단과 연관된 부호 기수단을 또한 갖추고 있으며, 상기 부호기수단이 상기 스핀들의 각도위치를 나타내는 측정신호를 제공하는 공구지지부를 갖추고 있는 컴퓨터로 제어되는 기계의 공작물스핀들내에 회전가능하게 장착된 기어형상의 공작물의 톱니경사부를 측정하기 위한 방법에 있어서, 비접촉프로브의 감지면부분이 상기 공작물 톱니경사부의 표면에 근접하여 위치되도록 상기 공구지지부상에 비접촉프로브를 장착하여, 프로브의 면이 상기 톱니 경사부표면의 어떤 소정된 거리내에 있을때마다 상기 비접촉프로브가 비접촉트리거 신호를 제공하도록 조절되는 단계, 상기 팁표면이 상기 공작물의 톱니경사부표면과 접촉할때마다 상기 접촉프로브와 연관된 감지팁이 접촉트리거 신호를 발생시키도록 상기 공구지지부상에 접촉프로브를 장착하는 단계, 상기 공작물의 톱니경사부에 대해 이론적으로 합당한 상대위치에 상응하는 소정된 공작물 스핀들위치신호군을 저장하는 단계, 각기 상기 소정된 거리내에 상기 톱니경사부를 통과하면 그리고 상기 톱니 경사부의 표면과 접촉하게 되면 트리거신호가 상기 비접촉 및 접촉프로브수단에 의해 제공될때마다 공기 공작물스핀들의 위치를 나타내는 동시적인 공작물스핀들 위치신호군을 저장하는 단계, 그리고 공작물의 톱니경사부에 상응하는 이론적인 그리고 동시적인 공작물 스핀들위치 신호군을 비교하기 위하여, 그리고 상기 톱니경사부신호들 사이의 차이를 근거로 에러신호를 발생시키 위하여, 상기 컴퓨터로 프로그램하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 비접촉프로브에 의해 트리거된 상기 동시적인 위치신호에 대하여 발생된 에러신호가 상기 접촉프로브에 의해 접촉된 특별한 톱니경사부를 선택하는데에 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 공구지지부는 상기 공작물의 톱니표면을 협상시키는 공구를 회전가능하게 유지시키기 위해 스핀들로 또한 구비되어 있으며, 그리고 상기 기계는 상기 공구지지부를 위치시키고 상기 공구스핀들을 회전시키는 구동수단과 연관된 부호기수단을 더 갖추고 있으며, 상기 공구스핀들을 회전시키는 구동 수단과 연관된 부호기수단을 더 갖추고 있으며, 상기 방법은 상기 공구에 상대적인 상기 공작물의 스톡분류에 대한 상기 톱니경사부 에러신호에 따라 상기 공구 및 공작물스핀들을 위치시키는 상기 구동수단의 작동을 제어하는 또 다른 단계로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 공구지지부를 갖추고 있고, 상기 스핀들의 각도위치를 나타내는 측정신호를 제공하는 부호기수단을 상기 스핀들을 회전시키는 구동수단과 연관하여 갖추고 있는 컴퓨터제어기계의 공작물스핀들내에 회전가능하게 장착된 기어형상의 공작물의 톱니 경사부를 측정하기 위한 장치에 있어서, 상기 공구지지부상에 장착되고 상기 공작물 톱니경사부의 표면에 근접하여 위치된 감지면부분을 갖추고 있으며, 상기면이 상기 공작물 톱니경사부 중 하나의 표면으로부터 어떤 소정된 거리내에 있을때마다 비접촉트리거신호를 제공하는 상기 비접촉프로브수단, 상기 공구지지부상에 장착되어 있고 상기 팁의 표면이 상기 톱니경사부중 하나의 표면과 접촉할때마다 상기 접촉프로브수단과 연관된 감지팁이 접촉트리거신호를 제공하는 위치로 이동가능한 접촉프로브수단, 상기 기어형상의 공작물의 톱니경사부에 대해 이론적으로 합당한 상대위치에 상응하는 소정된 공작물 스핀들위치신호를, 그리고 각기 상기 소정된 거리내에 상기 톱니경사부를 통과하면 그리고 상기 톱니경사부의 표면과 접촉하게 되면 트리거신호가 상기 비접촉 및 접촉프로브수단에 의해 제공될때마다 상기 공작물 스핀들의 위치를 나타내는 동시적인 공작물 스핀들위치신호군을 수용하고 저장하기 위한 저장수단, 그리고 공작물의 톱니경사부에 상응하는 상기 이론적인 그리고 동시적인 공작물 스핀들 위치신호를 비교하기 위하여, 그리고 상기 톱니 경사부신호 사이의 차이를 근거로 에러신호를 발생시키기 위하여 프로그램할 수 있는 상기 컴퓨터로 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 비접촉프로브에 의해 트리거된 상기 동시적인 위치신호들을 비교할때 발생된 에러신호가 상기 접촉프로브에 의해 접촉되도록 특정한 톱니 경사부를 선택하는데에 사용되는 것을 특징으로 하는 장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 공구지지부가 상기 공작물의 톱니표면을 형상시키는 공구를 회전가능하게 유지시키기 위한 스핀들로 또한 구비되어 있고, 상기 기계가 상기 공구지지부를 위치시키고 상기 공구스핀들을 회전시키는 구동 수단과 연관된 또다른 부호기수단을 갖추고 있고, 그리고 상기 구동구단이 상기 공구에 상대적인 상기 공작물의 스톡분류에 대한 상기 톱니경사부 에러신호에 따라 상기 공구 및 공작물스핀들을 위치시키는 상기 컴퓨터에 반응하는 것을 특징으로 하는 장치.
  22. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920702597A 1990-04-20 1991-02-04 다기능 측정 시스템 KR0162906B1 (ko)

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