KR930022653A - 레이저다이오드 - Google Patents
레이저다이오드Info
- Publication number
- KR930022653A KR930022653A KR1019920006197A KR920006197A KR930022653A KR 930022653 A KR930022653 A KR 930022653A KR 1019920006197 A KR1019920006197 A KR 1019920006197A KR 920006197 A KR920006197 A KR 920006197A KR 930022653 A KR930022653 A KR 930022653A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- laser diode
- conductive type
- type
- coated
- reflective surface
- Prior art date
Links
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Abstract
이 발명은 6각형의 반사기를 갖는 VSIS-LD를 이용하여 고출력을 제공할 수 있는 레이저다이오드를 게재한다.
또한 이와같이 구성된 레이저다이오드는 좁은 면적에 고집적화를 용이하게 할 수 있고, 발진개시 전류를 낮출 수 있으며 열발생을 적게할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 지봉형 반사기를 갖는 레이저다이오드의 사시도.
제2도는 이 발명의 일 실시예에 의한 6각형 반사기를 갖는 레이저다이오드의 사시도.
제3도는 이 발명의 일 실시예에 의한 제2도 레이저다이오드의 공정시 GaAa면에 식각상태를 나타낸 상태도.
제4도는 이 발명의 일 실시예에 의한 제2도 레이저다이오드내에서 공진되는 빛의 방향을 나타낸 상태도이다.
Claims (8)
- 제2 도전형 기판위에 통진영역부를 제1도전형의 전류제한층이 형성되고, 또 그 표면상에 제2도전형의 제1클래드층, 제2도전형의 활성층, 제1도전형의 제2클래드층이 차례로 형성된 레이저다이오드에 있어서, 상기 제1도전형의 전류제한층에는 소정의 간격을 유지해서 복수의 상기 통전영역부가 형성되어 있고, 또 일측의 반사면은 절단된 결정면으로 형성하고 타측의 반사면은 소정부위를 비등방성 화학적 식각공정에 의해 식각하여 6각형반사기로 된 레이저다이오드.
- 제1항에 있어서, 상기 제1도전형은 N형 이고, 제2도전형은 P형으로 된 레이저다이오드.
- 제1항에 있어서, 상기 통전영역부는 전류통로인 V자형 형태로 된 레이저다이오드.
- 제1항에 있어서, 상기 통전영역부는 간격이 5㎛ 정도된 레이저다이오드.
- 제1항에 있어서, 상기 통전영역부는 (01i)의 결정방향을 갖도록 된 레이저다이오드.
- 제1항에 있어서, 상기 일측의 반사면은 AR막(Anti-reflective film)이 코팅된 레이저다이오드.
- 제1항에 있어서, 상기 6각형의 반사기는 그 단면에 HR막(High reflective film)이 코팅된 레이저다이오드.
- 제1항에 있어서, 상기 제6각형의 반사기는 다층유전체막을 입혀 완전 반사가 가능하도록 된 레이저다이오드.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR930022653A true KR930022653A (ko) | 1993-11-24 |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100815483B1 (ko) * | 2007-05-09 | 2008-03-20 | 한국전기연구원 | 비등방성 레이저 결정을 이용한 다이오드 펌핑된 레이저장치 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100815483B1 (ko) * | 2007-05-09 | 2008-03-20 | 한국전기연구원 | 비등방성 레이저 결정을 이용한 다이오드 펌핑된 레이저장치 |
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