KR930019860A - 두 평면을 갖는 피착물을 진공 금속화하는 장치 및 방법 - Google Patents

두 평면을 갖는 피착물을 진공 금속화하는 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

수직 표면 및 수평 표면을 갖는 기판들의 진공 금속화는 열 증발에 의해 두개의 원격 공급원(remote source)들로부터 금속을 안내하므로써 일어난다. 하나의 원격 공급원은 금속을 피착물을 향해 피착물의 수평 표면으로 수직으로 보내기 위하여 피착물 밑에서 수평으로 연결된다. 제2원격 공급원은 금속을 피착물을 향해 피착물의 수직표면으로 수평으로 보내기 위하여 피착물에 대하여 수직으로 연결된다. 진공실은 열 증발을 수행하도록 진공실내에서 원격 공급원들이 고정위치된 상태에서, 피착물을 지지하는 회전식 캐루젤을 포함한다.

Description

두 평면을 갖는 피착물을 진공 금속화하는 장치 및 방법.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 금속화 장치의 사시도.
제2도는 제1도의 선2-2를 따라 취한 단면도.
제3도는 제2도의 선3-3을 따라 취한 단면도.

Claims (5)

  1. 진공실과, 수평축을 갖고, 금속화되는 피착물을 회전가능하게 지지하도록 하는 상기 진공실 내에 있는 회전가능 수단과, 피착물을 향하여 피착물의 수평 표면으로 금속을 수직으로 열적으로 증발시키기 위하여 상기 진공실 내에서 회전가능 수단 밑에 수평으로 연결된 제1증발수단을 포함하는, 수평 표면 및 수직 표면을 갖는 피착물을 진공 금속화하기 위한 금속화 장치에 있어서, 피착물을 향하여 피착물의 수직 표면으로 금속을 수평으로 열적으로 증발시키기 위하여 상기 진공실 내에서 회전가능 수단에 대하여 수직으로 연결된 제2증발수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속화 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 회전 가능 수단은 직경을 따라 상기 수평축에 평행한 다수의 지지 릴들 및 상기 지지릴들이 피착물의 수평 표면 및 수직 표면을 상기 축에 대하여 각각 수평 또는 수직으로 유지하도록 적당한 피착물을 회동식으로 지지하기 위하여 상기 지지릴들에 회동식으로 부착된 다수의 피착물걸이들을 갖고 있는 회전가능한 캐루젤을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속화 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2증발 수단이 전압을 수용하고 전달하기 위하여 수평축에 횡방향으로 캐루젤의 일단부를 따라 수직으로 연장된 버스 봉고, 금속을 담고서 인가된 상기 전압에 반응하여 피착물의 수직 표면을 향해 수평 방향으로 금속을 증발시키기 위하여 상기 버스 봉에 연결된 관형 용기를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속화 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1증발 수단이 전압을 수용하고 전달하기 위하여 수평축 밑에서 수평축과 평행하게 종방향으로 연장된 버스봉과, 금속을 담고서 인가된 전압에 반응하여 금속을 증발시키기 위하여 상기 버스봉을 가로질러 연결된 다수의 용기를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속화 장치.
  5. 피착물의 수평 표면과 수직 표면이 수평축에 대하여 유지되는 상태로 피착물을 수평축을 중심으로 진공실내에서 회전시키는 단계와, 열적으로 증발된 금속을 수직방향으로 안내하므로써 피착물의 수평 표면을 진공 금속화하는 단계를 포함하는 수평 표면과 수직 표면을 갖는 피착물을 진공 금속화하는 방법에 있어서, 피착물의 수직표면을 금속화시키기 위하여 열적으로 증발된 금속을 수평 방향으로 독립적으로 안내하므로써 피착물을 진공 금속화하는 것을 특징으로 하는 진공 금속화 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930004468A 1992-03-24 1993-03-23 두 평면을 갖는 피착물을 진공 금속화하는 장치 및 방법 KR960002634B1 (ko)

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