SU382773A1 - УСТРОЙСТВО дл КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ - Google Patents
УСТРОЙСТВО дл КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯInfo
- Publication number
- SU382773A1 SU382773A1 SU1650489A SU1650489A SU382773A1 SU 382773 A1 SU382773 A1 SU 382773A1 SU 1650489 A SU1650489 A SU 1650489A SU 1650489 A SU1650489 A SU 1650489A SU 382773 A1 SU382773 A1 SU 382773A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- cathodes
- fixed
- axis
- cathode spraying
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме и может быть применено дл .получени тонкопленочных микроструктур . Известно успройство дл катодного распылени , содержащее вакуумную камеру, внутри которой ужреплены подложкодержатель, катоды-;мишвни и стойки дл катодов, систему вводОВ и высоковольтный источник. Однако в известном устройстве катодымишени укреплены неподвижно в горизонтальной плоскости, что не позвол ет получать равномерные покрыти на длинномерных подложках. Цель изобретени - повышение равномерности покрытий. Зто достигаетс тем, что каждый катод закреплен на кронштейне подвижно установленном на стойке, снабженной осью, на которой одним кон,цо,м шарнирно закреплена штанга, другой конец котО;рой шарнирно св зан с системой вводов. На чертеже представлена конструкци предлагае.мого устройства. Устройство состоит из вакуумной камеры (на чертеже не показано), внутри котО|рой укреплены подлож1ко(держатель 1, катоды-мишени 2, 5, стойки 4, 5 дл катодов, системы вводов 6, 7, высоковольтного источника 8. Каждый катод 2, 3 закреплен на кронштейне 9, подвиж.но установленном на стойке 4, снабженной осью W, на которой одним концом шарнирно закреплена штанга //, другой конец которой шарнирно св зан с системой вводов 6. Устройство снабжено корпусом 12, жестко закрепленным на вер.хнем конце стойки 5, шарнирным механизмом 13, враи.аюшимс роликом 14. Шарнирный механиз м 13 расположен под углом к горизонтальной и вертикальной плоскост м, т. е. его оси .креплени расположены не на одной пр мой, а одна )1з них смещена относительно другой в горизонтальной плоскости на заданное рассто ние. На механизме 13 закреплена штанга 11 под углом а, котора свободным концом упираетс в основание катода 2 и при своем движении его поднимает или опускает. Дл уменьшени трени и обеспечени движени на свободном 1конце штанги 11 закреплен на оси ролик 14, имеющий 1наружную поверхность, закругленную по радиусу. Роли1к сво,бодно вращаетс на своей оси и своил наружным диаметром посто нно находитс в сонрикосновении с нерабочей поверхностью основани катода 2. Вращение ролика происходит от соприкосновени с основание.м катода 2. Стойки 4, 5 расположены на одной пр мой, но смещены одна относительно другой от центра плиты 15 на величину 1, чтобы катоды при
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1650489A SU382773A1 (ru) | 1971-04-29 | 1971-04-29 | УСТРОЙСТВО дл КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1650489A SU382773A1 (ru) | 1971-04-29 | 1971-04-29 | УСТРОЙСТВО дл КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU382773A1 true SU382773A1 (ru) | 1973-05-25 |
Family
ID=20473448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1650489A SU382773A1 (ru) | 1971-04-29 | 1971-04-29 | УСТРОЙСТВО дл КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU382773A1 (ru) |
-
1971
- 1971-04-29 SU SU1650489A patent/SU382773A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3128205A (en) | Apparatus for vacuum coating | |
| SU382773A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ | |
| GB1181687A (en) | Method and Device for Controlling the Deposition of Finishing Agents upon Substrates | |
| GB1205641A (en) | Racks for drying articles | |
| GB735359A (en) | Improvements relating to gimbal mechanisms | |
| US2351537A (en) | Apparatus for treating surfaces | |
| GB1391842A (en) | Apparatus for coating substrates by cathode sputtering and for cleaning by ion bombardment in the same vacuum vessel | |
| CH526623A (fr) | Procédé de revêtement de surface par des vernis, peintures et enduits à base de chlorure de polyvinyle et revêtement obtenu par application dudit procédé | |
| SU413217A1 (ru) | ||
| SU456246A1 (ru) | Устройство дл измерени толщины покрытий | |
| FR2352066A1 (fr) | Revetement formant masque pour le depot de couches dielectriques sur des substrats, par vaporisation sous vide ou pulverisation cathodique | |
| JPS5347384A (en) | Sputtering apparatus | |
| US11358168B2 (en) | Coating apparatus | |
| SU467641A1 (ru) | Вакуумна установка дл нанесени покрытий | |
| SU1493403A1 (ru) | Устройство дл электроэрозионного легировани | |
| GB592655A (en) | Improvements in apparatus for coating articles | |
| SU366524A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл ЮСТИРОВКИ АНТЕННЫ | |
| ES333734A1 (es) | Perfeccionamientos en la construccion de aparatos de depo- sito de emulsion sensible para autorradiogramas. | |
| SU664694A1 (ru) | Камера дл окраски роликов ленточных транспортеров | |
| GB787019A (en) | Mechanical movement for coating apparatus | |
| SU950795A1 (ru) | Испаритель дл нанесени покрытий в вакууме | |
| SU1688080A1 (ru) | Установка дл ультрафиолетовой полимеризации полиэфирных покрытий на кромках щитовых деталей | |
| SU427612A1 (ru) | Устройство дл нанесени покрытий в выкууме | |
| RU2023107884A (ru) | Вакуумная установка для изготовления многослойных интерференционных покрытий на оптическом элементе | |
| HU185465B (en) | Method and apparatus for cold lapping of elliptic project lamp glass bodies |