SU413217A1 - - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий в вакууме и может быть применено дл  металлизации наружной поверхности полых длинномерных цилиндрических деталей.

Известно устройство дл  нанесени  покрытий в вакууме на наружную поверхность полых цилиндрических деталей, содержащее камеру, испаритель, систему вакуумировани , электроблок и нагревательное приспособление .

При этом из-за неодинакового нагрева детали по длине вследствие потерь тепла на ее торцовых участках и большей его концентрации к центру образуютс  неравномерные покрыти .

Цель изобретени  - повышение равномерности покрытий на длинномерных детал х малого диаметра.

Дл  этого предлагаемое устройство содержит механизм возвратно-поступательного и вращательного перемещений детали, испаритель снабжен механизмом возвратно-поступательного движени , а нагревательное приспособление консольно закреплено на торцовом разъеме камеры, причем на свободном его конце укреплена направл юща  втулка-изол тор .

На фиг. 1 и 2 показано предлагаемое устройство дл  наиесени  покрытий в вакууме

на наружную поверхность полых цилиндрических деталей.

Устройство состоит из камеры 1, испарител  2, системы вакуумировани  3, электроблока 4, нагревательного приспособлени  5 и механизма 6 возвратно-поступательного и вращательного перемещений детали 7. Испаритель 2 снабжен механизмом 8 возвратно-поступательного движени . Нагревательное

приспособление 5 консольно закреплено на торцовом разъеме 9 камеры 1. На свободном конце нагревательного приспособлеии  укреплена наиравл.иоща  втулка-изол тор 10. Испаритель 2 окружен экраном 11.

ycTpoiiCTBo работает следующим образом. В процессе напылени  деталь 7 перемещают механизмом 6 возвратно-поступательного и вращательного перемещении над испарителем 2 и вдоль нагревательного приспособлеНИН 5, регулиру  удаленность испарител  относительно детали механизмом 8.

Дл  контрол  температурного режима па нагревательном приспособлении размещают термопары.

25

Предмет изобретени 

Устройство дл  нанесени  покрытий в ва30 куу.ме на наружную поверхность полых цилиидрических детален, содержащее камеру, испаритель, систему вакуумироваии , электроблок и нагревательное ирисиособление, отличающеес  тем, что, с целью повышени  равномерности иокрытий на длиниомерных детал х малого диаметра, оно содержнт механизм возвратно-ностунательного и вращательного неременхении детали, испаритель снабжен механизмом возвратно-поступательного движени , а нагревательное приспособление консольно закреплено на то.рдовом разъеме камеры, нричем на свободнйм его конце укреплена нанравл юща  втулка-шоЛЯТОр . . ;..;

/