SU467641A1 - Вакуумна установка дл нанесени покрытий - Google Patents
Вакуумна установка дл нанесени покрытийInfo
- Publication number
- SU467641A1 SU467641A1 SU691353588A SU1353588A SU467641A1 SU 467641 A1 SU467641 A1 SU 467641A1 SU 691353588 A SU691353588 A SU 691353588A SU 1353588 A SU1353588 A SU 1353588A SU 467641 A1 SU467641 A1 SU 467641A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- angle
- guides
- vacuum device
- coating deposition
- plates
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к вакуумной технике и может быть использовано дл нанесени электрофотографических слоев.
Известна вакуумна установка дл нанесени покрытий, например электрофотографических слоев, V.& пластины, содержаща откачную систему, рабочую камеру, испаритель , держатель пластин и привод вращени держател .
Однако в известной установке нерационально используетс объем камеры вследствие того, что равномерность толщины покрыти достигаетс за счет увеличени рассто ни от покрываемой поверхности до испарител , и это приводит к низкой производительности установки.
Цель изобретени - увеличение производительности установки и улучшение равномерности толщины наносимого покрыти .
Предлагаемое устройство отличаетс тем, что оно снабжено механизмом прерывистого вращени держател пластин и механизмом изменени угла раствора обрабатываемых пластин, при этом успаритель снабжен сменным соплом, & держатель пластин выполнен в виде жестко св занных осью двух параллельных дисков, на которых веерообразно и с возможностью вращени установлены направл ющие, нижние из которых кинематически св заны с механизмом изменени угла раствора. Последний выполнен в виде кинематически св занных ролика и кулачков , жестко укрепленных на направл ющих .
На фиг. I представлена предлагаема установка , общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А фиг. 1.
В вакуумной камере 1 установки на илите 2 установлены: механизм прерывистого
движени , содержащий подпружиненный палец 3, укрепленный на диске 4 с вырезом , который крепитс на ведущем валу 5; кронштейп 6 с роликом 7; испаритель 8 со сменным соплом 9, которым достигаетс необходимое распределение молекул рного потока испар емого вещества; держатель пластин, который выполпен в виде жестко св занных осью 10 двух параллельных дисков 11, на которых веерообразно и с возможностью вращени укреплены направл ющие 12 пластин, в .пазы которых вставл ютс покрываемые пластины. Нижние направл ющие 12 жестко св заны с кулачками 13, которые удерживаютс в положепии
равновеси пружинами 14. Пружины 14 обеспечивают равновесный угол раствора между направл ющими 12, равный а, завис щий от числа направл ющих 12.
При вращении ведущего вала 5 один из
роликов 15, укрепленных на диске 11, входит в вырез иа диске 4. Палец 3 входит в зацепление с роотиком 15 и поворачивает диски 11 на определенный угол, прп этом ролик 16, укрепленный на неподвижной платформе 17, разворачивает два соседних кулачка 13, а следовательно, и направл ющпе пластин на дополнительный угол Да, вследствие чего угол раствора между направл ющими 12 увеличиваетс на угол, равный 2Да, и становитс равным а+2Аа. Угол Да донолнительного разворота направл ющих 12 определ етс положением ролика 16 по отношению к кулачкам 13, которое может регулироватьс нередвижснием оси ролика 16. При дальнейшем повороте ведущего вала 5 ролик 7 выводит палец 3 из зацеплени с роликом 15 и диск 11 останавливаетс . Это положение фиксируетс диском 4, наход щимс между роликами 15.
Соотнощение фаз поко и поворота зависит от соотношени диаметров диска 4, роликов 15 и диаметров центров осей роликов 15. Длительность фаз поко и поворота определ етс скоростью вращени ведущего вала 5.
Ф о р м у л а и 3 о б ) с т о и и
1.Вакуумна установка дл нанесени покрытий, например селеновых электрофотографических слоев, на пластины, содержагца откачную систему, рабочую камеру, испаритель, держатель пластин и привод врапгени держател , отличающа с тем, что, с целью повышени ироизводительпости и улучшени равномерности толHuiHbi наносимого покрыти , оиа снабжена механизмом нрсрывистого вран1,ени держател пластины и механизмом из1менени угла раствора обрабатываемых пластин, нри
этом испаритель снабжен сменным соплом, а держатель пластин выполнен в виде жестко св занных осью двух параллельных дисков, на которых веерообразно и с возможностью вращени установлены нанравл ющие , нижние из которых кинематически св заны с механизмом изменени угла раствора .
2.Уетановка ио п. 1, отличающа с тем, что механизм изменени yivia раствора
выполнен в виде кинематически св занных ролика и кулачков, жестко укрепленных на направл ющих.
16 77
,
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU691353588A SU467641A1 (ru) | 1969-07-25 | 1969-07-25 | Вакуумна установка дл нанесени покрытий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU691353588A SU467641A1 (ru) | 1969-07-25 | 1969-07-25 | Вакуумна установка дл нанесени покрытий |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU467641A1 true SU467641A1 (ru) | 1979-02-28 |
Family
ID=20446949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU691353588A SU467641A1 (ru) | 1969-07-25 | 1969-07-25 | Вакуумна установка дл нанесени покрытий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU467641A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108359934A (zh) * | 2018-03-26 | 2018-08-03 | 吉林大学 | 用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘 |
-
1969
- 1969-07-25 SU SU691353588A patent/SU467641A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108359934A (zh) * | 2018-03-26 | 2018-08-03 | 吉林大学 | 用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3128205A (en) | Apparatus for vacuum coating | |
| SU651661A3 (ru) | Устройство дл нанесени покрыти на рулонные материалы | |
| KR890013215A (ko) | 마그네트론 스퍼티링장치 및 방법 | |
| SU467641A1 (ru) | Вакуумна установка дл нанесени покрытий | |
| GB1393496A (en) | Vacuum plant for the deposition of layer | |
| GB2135700A (en) | Sputter coating apparatus for producing rotationally symmetric thickness profiles on a plurality of substrates | |
| GB1524421A (en) | Traversing mechanism | |
| JPH09225370A (ja) | 接着剤塗布装置 | |
| GB1112443A (en) | Method and apparatus for metering liquid coating compositions on travelling webs | |
| US4168902A (en) | Apparatus for peeling off the leading edge of a receiving sheet from a transfer image carrier | |
| JPH0616876B2 (ja) | 対応ローラ上を走行する帯材に均一なコーテイングを連続的に施すための装置 | |
| CN217459580U (zh) | 一种镀膜转架 | |
| NL8006096A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het bekleden van een metalen band. | |
| US4073677A (en) | Evaporator | |
| US4082059A (en) | Coating apparatus with intermittent substrate backup | |
| CN86205741U (zh) | 物理气相沉积用的涂层装置 | |
| US2112679A (en) | Means for dressing grinding disks | |
| US3926148A (en) | Application of adhesive to a moving web | |
| EP0023149A1 (en) | Method of producing a coating of non uniform thickness or density by vacuum deposition and apparatus therefor | |
| US3614927A (en) | Means for adjusting the amount of damping liquid supplied to an offset printing machine | |
| US4475479A (en) | Machine for the continuous coating of a body of revolution | |
| GB1160302A (en) | Apparatus for Distributing a Sealing Compound on the Inside of Sealing Caps | |
| US3795221A (en) | Applicator for controllably applying a liquid deposit to various workpieces | |
| US2473243A (en) | Coating machine for flexible sheet materials | |
| US3388688A (en) | Electrophotographic apparatus |