KR930016829A - 감방사선성 수지 조성물 - Google Patents

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KR930016829A
KR930016829A KR1019930001034A KR930001034A KR930016829A KR 930016829 A KR930016829 A KR 930016829A KR 1019930001034 A KR1019930001034 A KR 1019930001034A KR 930001034 A KR930001034 A KR 930001034A KR 930016829 A KR930016829 A KR 930016829A
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alkali
sensitive resin
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KR1019930001034A
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히데도시 미야모또
사도시 미야시따
요시지 유모또
다까오 미우라
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아사꾸라 다쓰오
니혼 고오세이 고무 가부시끼가이샤
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    • G03F7/0755—Non-macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds

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Abstract

본 발명은 고감도, 고해상도, 고내열성이며, 또 기판에 대한 접착성과 내산성이 우수한 포토레지스트를 얻을수 있는 감방사선성 조성물을 제공한다. 이 감방사선성 수지 조성물은 알칼리 가용성 수지, 1,2-퀴논디아지드 화합물 및 하기 일반식(1)로 표시되는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 한다.
X-CnH2n-Si(OR)3(1)
식중, R은 동일하거나 상이한 것으로서, 알킬기이고, n은 1~5의 정수이며, X는

Description

감방사선성 수지 조성물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (1)

  1. 알칼리 가용성 수지,1,2-퀴논디아지드 화합물 및 하기 일반식(1)로 표시되는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 감방사선성 수지 조성물.
    X-CnH2n-Si(OR)3(1)
    식중, R은 동일하거나 상이한 것으로서, 알킬기이고, n은 1~5의 정수이며, X는이고, Y는 동일하거나 상이한 것으로서, 알칼기 또는 알콕시기이며, m은 0~9의 정수이다.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930001034A 1992-01-29 1993-01-28 감방사선성 수지 조성물 KR930016829A (ko)

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