KR930006874A - 다중 프로세싱 장치 - Google Patents

다중 프로세싱 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR930006874A
KR930006874A KR1019920015097A KR920015097A KR930006874A KR 930006874 A KR930006874 A KR 930006874A KR 1019920015097 A KR1019920015097 A KR 1019920015097A KR 920015097 A KR920015097 A KR 920015097A KR 930006874 A KR930006874 A KR 930006874A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
processor
processing
information
transport
control
Prior art date
Application number
KR1019920015097A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0144660B1 (ko
Inventor
고우지 니시하따
나오유끼 다무라
시게까즈 가또
아쯔시 이또오
쯔네히꼬 쯔보네
Original Assignee
가나이 쯔도무
가부시기가이샤 히다찌 세이사꾸쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가나이 쯔도무, 가부시기가이샤 히다찌 세이사꾸쇼 filed Critical 가나이 쯔도무
Publication of KR930006874A publication Critical patent/KR930006874A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0144660B1 publication Critical patent/KR0144660B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4184Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by fault tolerance, reliability of production system
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41845Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by system universality, reconfigurability, modularity
    • GPHYSICS
    • G08SIGNALLING
    • G08BSIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B21/00Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
    • G08B21/18Status alarms
    • G08B21/182Level alarms, e.g. alarms responsive to variables exceeding a threshold
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/31From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31361Verify if right controllers are connected to carrier, conveyor controller
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/31From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31362Verify correct configuration of system
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/35Nc in input of data, input till input file format
    • G05B2219/35291Record history, log, journal, audit of machine operation
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/45Nc applications
    • G05B2219/45026Circuit board, pcb
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00Material or article handling
    • Y10S414/135Associated with semiconductor wafer handling
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00Material or article handling
    • Y10S414/135Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/139Associated with semiconductor wafer handling including wafer charging or discharging means for vacuum chamber
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00Material or article handling
    • Y10S414/135Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Emergency Management (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Hardware Redundancy (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control By Computers (AREA)

Abstract

복수의 처리프로세서를 구비한 다중 프로세싱 장치는 운송 프로세서에 연결되어 제어 시스템으로 제어되고, 여기에는 운송 프로세서에 복수의 처리 프로세서의 연결정보를 나타내는 연결 정보신호를 발생하기 위한 연결 정보신호 발생수단과, 상기 운송 수단에 복수의 처리 프로세서의 연결등록정보를 나타내는 등록정보 신호를 발생하기 위한 스위칭 수단과, 그리고 연결정보와 등록정보를 참고하여 연결된 처리 프로세서와 등록된 처리 프로세성 사이의 매칭 상태를 논리 판단하는 동안 제어처리를 실행하기 위한 제어수단이 제공된다. 따라서, 운?? 프로세서에 연결되는 처리 스로세서의 수가 쉽고 확실하게 증대되거나 감소될 수 있는 다중 프로세싱 장치를 제공할수 있다.

Description

다중 프로세싱 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예로써 반도체 진공 프로세서 장치의 제어시스템의 블록 다이어그램,
제2도는 반도체 진공 프로세서 장치의 도식적 구성을 보이는 구성 다이어그램,
제3도는 실시예에서 프로세서 연결 정보표의 구성을 보이는 도.

Claims (9)

  1. 운송 프로세서, 운송 프로세서에 연결된 복수의 처리 프로세서, 그리고 상기 운송 프로세서와 상기 복수의 처리 프로세서를 제어하기 위한 제어 시스템을 포함하는 다중 프로세싱 장치에 있어서, 상기 운송 프로세서에 상기 복수의 처리 프로세서의 연결 정보를 나타내는 연결 정보 신호를 발생하기 위한 연결 정보 신호 발행 수단과, 상기 운송 프로세서에 상기 복수의 처리 프로세서의 연결 등록 정보를 나타내는 등록정보 신호를 발생하기 위한 스위칭 수단과, 그리고, 상기 연결 정보와 상기 등록정보를 참고하여 상기 연결된 처리 프로세서와 등록된 처리 프로세서 사이의 매칭 상태를 놀리 판단하는 동안 제어처리를 실행하기 위한 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다중 프로세싱 장치는 터미널 수단을 더 포함하고, 상기 제어수단은 매칭 상태에 기초한 지시를 나타내도록 상기 터미널 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 다중 프로세싱 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 다중 프로세싱 장치는 상기 다중 프로세싱 장치에서 일어나는 고장의 경력 정보를 저장하기 위한 고장 경력 저장수단을 더 포함하고, 상기 제어수단은 상기 고장 경력 정보를 참고하여 연결된 처리 프로세서 제어처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 다중 프로세싱 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 다중 프로세싱 장치는 상기 다중 프로세싱 장치에서 일어나는 고장의 경력 정보를 저장하기 위한 고장 경력 저장수단을 더 포함하고, 상기 제어수단은 상기 고장 경력 정보를 참고하여 연결된 처리 프로세서 제어처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 다중 프로세싱 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 다중 프로세싱 장치는 각 처리 프로세서의 상태 정보를 저장하기 위한 프로세서 상태 정보 저장수단을 더 포함하고, 상기 제어수단은 상기 프로세서 상태 정보를 참고하여 상기 연결된 처리 프로세싱 제어처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 다중 프로세싱 장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 다중 프로세싱 장치는 각 처리 프로세서의 상태 정보를 저장하기 위한 프로세서 상태 정보 저장수단을 더 포함하고, 상기 제어수단은 상기 프로세서 상태 정보를 참고하여 상기 연결된 처리 프로세싱 제어처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 다중 프로세싱 장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 다중 프로세싱 장치는 각 처리 프로세서의 상태 정보를 저장하기 위한 프로세서 상태 정보 저장수단을 더 포함하고, 상기 제어수단은 상기 프로세서 상태 정보를 참고하여 상기 연결된 처리 프로세싱 제어처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 다중 프로세싱 장치.
  8. 운송 프로세서와, 상기 운송 프로세서에 연결된 복수의 처리 프로세서와, 상기 복수의 처리 프로세서를 각각 제어하기 위한 복수의 처리 제어기와, 그리고, 상기 운송 프로세서와 상기 복수의 처리 제어기를 제어하기 위한 운송 제어기를 포함하는 다중 프로세싱 장치에 있어서, 각 상기 처리제어기는 상기 운송 프로세서에 상기 처리 프로세서의 연결 정보를 나타내는 연결 정보 신호를 발생하기 위한 연결 정보 신호 발행 수단을 포함하고, 상기 운송 제어기는 상기 운송 프로세서에 상기 처리프로세서의 연결 등록를 나타내는 등록 정보신호를 발생하기 위한 스위칭 수단과, 상기 연결 정보와 상기 등록정보를 참고하여 상기 연결된 처리 프로세서와 상기 등록된 처리 프로세서 사이의 매칭 상태를 놀리 판단하는 동안 제어처리를 실행하기 위해 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 프로세싱 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 처리제어기와 상기 운송 제어기는 각각 프로세서 연결 정보저장수단을 포함하고, 상기 제어수단은 상기 처리 스로세서 사이의 연결관계를 나타내는 정보를 저장하도록 상기 프로세서 연결 정보 저장 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 다중 프로세싱 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920015097A 1991-09-05 1992-08-22 다중 처리장치 KR0144660B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25289291A JP3309997B2 (ja) 1991-09-05 1991-09-05 複合処理装置
JP3-252892 1991-09-05

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930006874A true KR930006874A (ko) 1993-04-22
KR0144660B1 KR0144660B1 (ko) 1998-08-17

Family

ID=17243622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920015097A KR0144660B1 (ko) 1991-09-05 1992-08-22 다중 처리장치

Country Status (5)

Country Link
US (2) US5448470A (ko)
EP (1) EP0530973B1 (ko)
JP (1) JP3309997B2 (ko)
KR (1) KR0144660B1 (ko)
DE (1) DE69224568T2 (ko)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3309997B2 (ja) * 1991-09-05 2002-07-29 株式会社日立製作所 複合処理装置
US5591299A (en) * 1995-04-28 1997-01-07 Advanced Micro Devices, Inc. System for providing integrated monitoring, control and diagnostics functions for semiconductor spray process tools
US5666486A (en) * 1995-06-23 1997-09-09 Data General Corporation Multiprocessor cluster membership manager framework
JPH0936198A (ja) * 1995-07-19 1997-02-07 Hitachi Ltd 真空処理装置およびそれを用いた半導体製造ライン
US5855465A (en) * 1996-04-16 1999-01-05 Gasonics International Semiconductor wafer processing carousel
US5863170A (en) * 1996-04-16 1999-01-26 Gasonics International Modular process system
US6176667B1 (en) * 1996-04-30 2001-01-23 Applied Materials, Inc. Multideck wafer processing system
EP0915507B1 (en) * 1996-06-07 2008-03-12 Tokyo Electron Limited Device for controlling treating station
US5659467A (en) * 1996-06-26 1997-08-19 Texas Instruments Incorporated Multiple model supervisor control system and method of operation
TW466622B (en) * 1996-09-11 2001-12-01 Hitachi Ltd Operating method of vacuum processing device and vacuum processing device
DE19718137A1 (de) * 1997-04-30 1998-11-05 Lemuth Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung von Lasergeräten
US6086676A (en) * 1997-07-11 2000-07-11 Applied Materials, Inc. Programmable electrical interlock system for a vacuum processing system
US6078847A (en) * 1997-11-24 2000-06-20 Hewlett-Packard Company Self-organizing materials handling systems
US6292708B1 (en) * 1998-06-11 2001-09-18 Speedfam-Ipec Corporation Distributed control system for a semiconductor wafer processing machine
US6272400B1 (en) * 1998-07-13 2001-08-07 Helix Technology Corporation Vacuum network controller
DE29813589U1 (de) * 1998-07-30 1999-12-16 Kuka Schweissanlagen Gmbh Flexibles Fertigungssystem
US6267545B1 (en) * 1999-03-29 2001-07-31 Lam Research Corporation Semiconductor processing platform architecture having processing module isolation capabilities
US7213061B1 (en) 1999-04-29 2007-05-01 Amx Llc Internet control system and method
KR100303322B1 (ko) * 1999-05-20 2001-09-26 박종섭 반도체 라인 관리를 위한 통합 자동화 시스템 및 그 방법
US6615088B1 (en) 1999-06-09 2003-09-02 Amx Corporation System and method of device interface configuration for a control system
NL1015480C2 (nl) * 1999-06-22 2002-08-22 Hyundai Electronics Ind Halfgeleider fabriekautomatiseringssysteem en werkwijze voor de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette.
US6424880B1 (en) 1999-09-10 2002-07-23 Applied Materials, Inc. Multi-computer chamber control system, method and medium
JP4884594B2 (ja) * 2001-03-22 2012-02-29 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置及び制御方法
US7152011B2 (en) * 2004-08-25 2006-12-19 Lam Research Corporation Smart component-based management techniques in a substrate processing system
US8118535B2 (en) * 2005-05-18 2012-02-21 International Business Machines Corporation Pod swapping internal to tool run time
AU2006287639C1 (en) 2005-09-07 2012-06-28 Open Invention Network, Llc Method and computer program for device configuration
JP5253517B2 (ja) * 2008-12-24 2013-07-31 キヤノンアネルバ株式会社 真空処理装置のデータ収集システム
US8432603B2 (en) 2009-03-31 2013-04-30 View, Inc. Electrochromic devices
EP3919974A1 (en) 2011-12-12 2021-12-08 View, Inc. Thin-film devices and fabrication
CN108415397A (zh) * 2018-05-31 2018-08-17 陈佳康 一种无线自动化控制加工装置
US11600507B2 (en) * 2020-09-09 2023-03-07 Applied Materials, Inc. Pedestal assembly for a substrate processing chamber

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59175948A (ja) * 1983-03-23 1984-10-05 Toyoda Mach Works Ltd トランスフアマシン用加工制御装置
US5097421A (en) * 1984-12-24 1992-03-17 Asyst Technologies, Inc. Intelligent waxer carrier
DE3534465A1 (de) * 1985-09-27 1987-04-09 Kloeckner Moeller Elektrizit Verbundsystem speicherprogrammierbarer steuerungen
US4974166A (en) * 1987-05-18 1990-11-27 Asyst Technologies, Inc. Processing systems with intelligent article tracking
US5164905A (en) * 1987-08-12 1992-11-17 Hitachi, Ltd. Production system with order of processing determination
EP0346801B1 (de) * 1988-06-17 1996-12-27 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und Anordnung zur Ausführung eines Programms in einem heterogenen Mehrrechnersystem
US4992950A (en) * 1988-12-30 1991-02-12 Pitney Bowes Inc. Multiple processing station message communication
JPH0357063A (ja) * 1989-07-25 1991-03-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd マルチプロセッサシステムおよびマルチプロセッサの処理割当方法
EP0434986A3 (en) * 1989-12-22 1993-06-16 Siemens Aktiengesellschaft Method for putting into operation a module connected to an electronic control system
US5255197A (en) * 1990-07-06 1993-10-19 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Line production management system
JP3309997B2 (ja) * 1991-09-05 2002-07-29 株式会社日立製作所 複合処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5663884A (en) 1997-09-02
DE69224568D1 (de) 1998-04-09
KR0144660B1 (ko) 1998-08-17
DE69224568T2 (de) 1998-11-05
JPH0567669A (ja) 1993-03-19
EP0530973B1 (en) 1998-03-04
US5448470A (en) 1995-09-05
JP3309997B2 (ja) 2002-07-29
EP0530973A1 (en) 1993-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930006874A (ko) 다중 프로세싱 장치
KR920010561A (ko) 홈버스 제어 장치
KR900012155A (ko) 데이타 처리 시스템
KR840005227A (ko) 데이타 처리 시스템
KR870009298A (ko) 프로세서 선택시스템
KR890002779A (ko) 데이타 처리 장치
KR900014969A (ko) 조명 제어 장치
ATE114835T1 (de) Verfahren zur fehlererkennung und -lokalisierung von redundanten signalgebern einer automatisierungsanlage.
JPS56123014A (en) Overrun preventing device of program control device
JPS57101950A (en) Double storage device control system
KR900000779A (ko) 제어 및 데이타 처리 장치
KR890002764A (ko) 데이타 처리시스템에서의 비동기 프로그램 인터럽트 사건의 제어용 장치 및 그방법
JPS6126903U (ja) ボイラ−用全ブロ−装置
KR910006855A (ko) 인터럽트 제어회로
JPS56143072A (en) Hung up release and processing system in multiprocessor processing system
KR910012965A (ko) 다중처리기 시스템에서의 인터럽트 방법
JPH0517743U (ja) 二重化計算機システム
JPS573148A (en) Diagnostic system for other system
JPS56149608A (en) State display device for sequence controller
JPS6459560A (en) Bus controller
JPS56155453A (en) Program execution controlling system
CA2006382A1 (en) Method of controlling arithmetic pipeline configuration in multiprocessor system
KR860004344A (ko) 자동 가죽 도장장치의 제어 시스탬
JPS6466469A (en) Engine output controller for vehicle
KR940015818A (ko) 다중처리 시스템에서 프로세스 디스패치 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120418

Year of fee payment: 15

EXPY Expiration of term