DE69224568T2 - Multiprozessorvorrichtung - Google Patents

Multiprozessorvorrichtung

Info

Publication number
DE69224568T2
DE69224568T2 DE69224568T DE69224568T DE69224568T2 DE 69224568 T2 DE69224568 T2 DE 69224568T2 DE 69224568 T DE69224568 T DE 69224568T DE 69224568 T DE69224568 T DE 69224568T DE 69224568 T2 DE69224568 T2 DE 69224568T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
processor
processing processors
processing
carrier processor
processors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69224568T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69224568D1 (de
Inventor
Atsushi Itou
Shigekazu Kato
Kouji Nishihata
Naoyuki Tamura
Tsunehiko Tsubone
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of DE69224568D1 publication Critical patent/DE69224568D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69224568T2 publication Critical patent/DE69224568T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4184—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by fault tolerance, reliability of production system
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41845—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by system universality, reconfigurability, modularity
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B21/00—Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
    • G08B21/18—Status alarms
    • G08B21/182—Level alarms, e.g. alarms responsive to variables exceeding a threshold
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31361—Verify if right controllers are connected to carrier, conveyor controller
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31362—Verify correct configuration of system
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/35—Nc in input of data, input till input file format
    • G05B2219/35291—Record history, log, journal, audit of machine operation
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45026—Circuit board, pcb
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/139—Associated with semiconductor wafer handling including wafer charging or discharging means for vacuum chamber
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Emergency Management (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Hardware Redundancy (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control By Computers (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Multiprozessorvorrichtung und insbesondere ein Steuersystem zum allgemeinen Steuern einer Vielzahl von mit einem Trägerprozessor verbundenen Prozessoren.
  • Eine Halbleiterherstellungsvorrichtung zum flexiblen Ausführen eines Halbleiterwaferverfahrens unter Verwendung einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung mit einer Vielzahl von mit einem Trägerprozessor verbundenen Prozessoren wurde in JP-A-63-129641 offenbart.
  • Wenn der Betrieb der Vakuumbearbeitungsvorrichtung fortgesetzt wird, während für das Waferverfahren nicht erforderliche Prozessoren und nicht arbeitsfähige Prozessoren mit dem Trägerprozessor verbunden sind, kann bei diesem Halbleiterherstellungsvorrichtungstyp eine Waferverfahren-Steuersequenz festgelegt werden, in der diese Prozessoren. ausgeschlossen werden.
  • Bei einer solchen Vakuumbearbeitungsvorrichtung ist andererseits eine Erleichterung einer Änderung des Waferverfahrens bei der gleichen Vorrichtungskonfiguration und eine Erhöhung oder Verringerung der Anzahl der Prozessoren erforderlich, um eine Reihe von Waferverfahren zu ermöglichen.
  • Die herkömmliche Vakuumbearbeitungsvorrichtung ist jedoch im Hinblick auf eine Vereinbarkeit zwischen dem Trägerprozessor und den damit verbundenen Prozessoren unzureichend. Es tritt daher in der Hinsicht ein Problem auf, daß die Vakuumbearbeitungsvorrichtung beim Auftreten einer Unvereinbarkeit zwischen den beiden insgesamt betriebsunfähig wird und daß die zum Aufklären der Ursache für den Ausfall erforderliche Zeit so lang ist, daß das Arbeitsverhältnis der Vorrichtung gering wird. Das heißt, daß in der Vakuumbearbeitungsvorrichtung, in der Steuerungen für den Trägerprozessor und damit verbundene Bearbeitungsprozessoren relationale Steuervorgänge ausführen, sowohl ein Wafertragevorgang als auch ein durch eine Bedienungsperson festgelegtes Verfahren nicht ausgeführt werden können, so daß der Betrieb der Vorrichtung unterbrochen wird, falls die relationalen Vorgänge bezüglich des Erhöhens oder des Verringerns der Anzahl der Prozessoren oder in Verbindung mit einer Wartung falsch verstanden werden.
  • Weiterhin wird bei der herkömmlichen Vakuumbearbeitungsvorrichtung elektrische Energie verschwendet, da Hauptschaltungs-Stromquellen selbst bei nicht verwendeten Prozessoren eingeschaltet sind. Wegen des Einschaltens dieser Hauptschaltungs-Stromquellen können die nicht verwendeten Prozessoren weiterhin nicht gewartet werden, wenn sich die Vakuumbearbeitungsvorrichtung im Betrieb befindet, so daß das Arbeitsverhältnis der Vorrichtung nicht verbessert werden kann.
  • Es wird daher gemäß der vorliegenden Erfindung angestrebt, eine Multiprozessorvorrichtung zu erzielen, be4 der die Anzahl der mit dem Trägerprozessor zu verbindenden Prozessoren leicht und sicher erhöht oder verringert werden kann.
  • In US-A-4 564 913 ist eine Multiprozessorvorrichtung offenbart, bei der eine Vielzahl von Bearbeitungsprozessoren, die durch Betriebsprozessoren aus einer Vielzahl von Bearbeitungseinheiten gebildet sind, mit einem Trägerprozessor verbunden sind. Es ist auch ein Steuersystem mit dem Trägerprozessor und den Bearbeitungsprozessorenverbunden. Dieses Dokument entspricht daher dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • In US-A-4 564 913 steuert der Trägerprozessor den Betrieb einer Transferstraße, die Werkstücke zwischen den Bearbeitungseinheiten überträgt.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird vorgesehen:
  • eine Multiprozessorvorrichtung mit einem Trägerprozessor, mehreren mit dem Trägerprozessor verbundenen Bearbeitungsprozessoren und einem Steuersystem zur Steuerung des Trägerprozessors und der Vielzahl von Bearbeitungsprozessoren,
  • wobei
  • weiter vorhanden sind: eine Einrichtung zur Erzeugung eines Verbindungsinformationssignals, das die Information der physikalischen Verbindung der Vielzahl von Bearbeitungsprozessoren jeweils zu dem Trägerprozessor ausdrückt; eine Einrichtung zur Erzeugung eines Registrierinformationssignals zur Registrierung, ob ein oder mehrere vorbestimmte, mit dem Trägerprozessor zu verbindende Verarbeitungsprozessoren an die jeweiligen hierfür vorgesehenen Signalleitungen angeschlossen sind; eine Steuereinrichtung zur Ausführung eines Steuerverfahrens, wobei bezüglich der Verbindungen eine Beziehung zwischen den Bearbeitungsprozessoren und dem Trägerprozessor durch Heranziehen sowohl des Verbindungsinformationssignals als auch des Registrierinformationssignals festgelegt wird; und eine Anzeigeeinrichtung zur Anzeige einer Anleitung zur Bedienung der Multiprozessorvorrichtung an eine Bedienungsperson, wobei die Anleitung auf der von der Steuereinrichtung festgelegten Beziehung beruht.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die Bearbeitungsprozessoren daher auf der Grundlage einer physikalischen Verbindung und einer logischen Verbindung gesteuert, und es können daher gemäß dieser leicht Anpassungen bezüglich Fehlern im Bearbeitungsprozessor vorgenommen werden, wobei diese Fehler in US-A-4 564 913 nicht erörtert sind.
  • Eine Ausführungsform der Erfindung wird nun als Beispiel mit Bezug auf die begleitende Zeichnung detailliert beschrieben, wobei:
  • Fig. 1 ein Blockdiagramm eines Steuersystems einer Vakuum-Halbleiterbearbeitungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
  • Fig. 2 ein Bestandteildiagramm zur Darstellung der schematischen Konfiguration der Vakuum-Halbleiterbearbeitungsvorrichtung ist;
  • Fig. 3 eine Ansicht der Konfiguration einer Prozessorverbindungs-Informationstabelle gemäß dieser Ausführungsform ist;
  • Fig. 4 eine Ansicht zur Darstellung der Konfiguration einer Prozessorinformationstabelle gemäß dieser Ausführungsform ist;
  • Fig. 5 eine Ansicht der Konfiguration einer Tabelle zur logischen Beurteilung des Prozessorverbindungszustands gemäß dieser Ausführungsform ist;
  • Fig. 6 ein Flußdiagramm der von der Hauptsteuereinrichtung gemäß dieser Ausführungsform ausgeführten Steuerung ist;
  • Fig. 7 ein Flußdiagramm einer von der Hauptsteuereinrichtung gemäß dieser Ausführungsform ausgeführten Steuerroutine ist;
  • Fig. 8 ein Flußdiagramm einer von der Hauptsteuereinrichtung gemäß dieser Ausführungsform ausgeführten Steuerroutine ist; und
  • Fig. 9 ein Flußdiagramm einer von der Hauptsteuereinrichtung gemäß dieser Ausführungsform ausgeführten Steuerroutine ist.
  • Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird weiter unten mit Bezug auf die Zeichnung detailliert beschrieben.
  • Fig. 1 ist ein Blockdiagramm zur Darstellung eines Steuersystems einer Vakuum-Halbleiterbearbeitungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der schematische Aufbau der Vakuum-Halbleiterbearbeitungsvorrichtung wird mit Bezug auf Fig. 2 beschrieben, bevor die Arbeitsweise des Steuersystems beschrieben wird.
  • In Fig. 2 ist eine Vakuum-Halbleiterbearbeitungsvorrichtung mit drei mit einem Trägerprozessor angeschlossenen Prozessoren dargestellt. Mit einer Seite des Trägerprozessors 10 sind eine Lade-Schleusenkammer 21 und eine Entnahme- Schleusenkammer 22 verbunden, und mit den anderen drei Seiten sind jeweilige Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 zur Bearbeitung von Halbleiterwafern verbunden. Bearbeitungsprozeßkammern 31, 41 und 51 der Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 sind über jeweilige Absperrventile 61, 62 und 63 derart mit einer Trägerprozeßkammer 11 des Trägerprozessors 10 verbunden, daß die Halbleiterwafer von einem Arm 12-1, 12-2, 12- 3 der Trägerprozeßkammer 11 durch die geöffneten Absperrventile 61, 62 und 63 getragen werden können. Die Wafer werden über Tische 14-1 und 14-2 zwischen den Armen transportiert. Elektroden 32, 42 und 52 zum Anbringen von Halbleiterwafern darauf und Entladeeinrichtungen (nicht dargestellt) zum Bearbeiten der Halbleiterwafer sind in den jeweiligen Bearbeitungsprozeßkammern 31, 41 und 51 vorgesehen. Weiterhin sind Vakuumerzeugungseinrichtungen zum Entleeren der Bearbeitungsprozeßkammern an die jeweiligen Bearbeitungsprozeßkammern 31, 41 und 51 angeschlossen.
  • Ein Steuersystem zum Steuern dieser Teile beinhaltet eine Hauptsteuerung 13 zum Steuern des Trägerprozessors 10, eine Prozeßsteuerung 33 zum Steuern des Bearbeitungsprozessors 30, eine Prozeßsteuerung 43 zum Steuern des Bearbeitungsprozessors 40 und eine Prozeßsteuerung 53 zum Steuern des Bearbeitungsprozessors 50.
  • Diese Vakuum-Halbleiterbearbeitungsvorrichtung ist so systematisiert, daß ein zu bearbeitender Halbleiterwafer aus einer Ladekassette (nicht dargestellt) aufgenommen, durch einen Luftträger (nicht dargestellt) zur Lade-Schleusenkammer 21 befördert und dann durch den Arm 12-1, 12-2, 12-3 in eine beliebige der Bearbeitungsprozeßkammern 31, 41 und 51 getragen wird, und der bearbeitete Halbleiterwafer zur Entnahme- Schleusenkammer 22 herausgetragen und dann durch den Luftträger zur ursprünglichen Kassette oder einer anderen Kassette zurückgeführt wird.
  • Beispiele von durch die Bearbeitungsprozessoren 30, und 50 durchgeführten Verfahren sind ein Filmbildungsverfahren, ein CVD-Verfahren, ein Ätzverfahren usw. Die Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 führen diese Verfahren durch die jeweiligen Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53 gesteuert aus.
  • In Fig. 1 ist die Konfiguration des Steuersystems detailliert dargestellt.
  • Die Hauptsteuerung 13 beinhaltet eine Hauptsteuereinrichtung 13a, eine Ausfallabfolge-Informationstabelle 13b, eine Prozessorverbindungs-Informationstabelle 13c, eine Prozessorzustands-Informationstabelle 13d, eine Identifikationsinformations-Halteeinrichtung 13e sowie eine Kommunikationseinrichtung 13f, die mit der Hauptsteuereinrichtung 13a verbunden sind. Weiterhin weist die Hauptsteuerung 13 eine Schalteinrichtung 13g auf, die mit der Identifikationsinformations-Halteeinrichtung 13e verbunden ist.
  • Die Hauptsteuerung 13 steuert den Arm 12-1, 12-2, 12- 3 und die Absperrventile 61, 62 und 63 derart, daß ein zu bearbeitender Halbleiterwafer aus der Lade-Schleusenkammer 21 in einen beliebigen der Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 getragen wird und daß der bearbeitete Halbleiterwafer aus dem beliebigen der Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 zur Entnahme-Schleusenkammer 22 getragen wird, und sie steuert gleichzeitig die Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53 derart, daß jeweilige vorbestimmte Verfahren durch die Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 ausgeführt werden.
  • Die Ausfallabfolge-Informationstabelle 13b ist eine Tabelle zum Speichern von Informationen über Ausfälle (beispielsweise ein Entladungsausfäll, ein Druckausfall, ein Ausfall der Stromquelle usw.), die in den Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 auftreten.
  • Wie in Fig. 3 dargestellt ist, ist die Prozessorverbindungs-Informationstabelle 13c eine Tabelle zum Speichern der Verbindungsverhältnisse zwischen dem Trägerprozessor 10 und den Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50.
  • Wie in Fig. 4 dargestellt ist, ist die Prozessorzustands-Informationstabelle 13d eine Tabelle zum Speichern von Informationen zur Identifikation der Zustände (der Zustände der Steuerung durch die Hauptsteuerung 13 und die Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53) der Bearbeitungsprozessoren 10, 30, 40 und 50.
  • Die Identifikationsinformations-Halteeinrichtung 13e speichert ein von der Schalteinrichtung 13g ausgegebenes Registrierinformationssignal und ein von einer Verbindungssignal-Erzeugungseinrichtung ausgegebenes Verbindungsinformationssignal, welches später beschrieben wird, und hält diese Signale als Information, um auf der Grundlage einer logischen Beurteilung, wie sie in Fig. 5 dargestellt ist, zu identifizieren, ob die Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 in gültiger Weise mit dem Trägerprozessor 10 verbunden sind.
  • Die Kommunikationseinrichtung 13f weist eine bidirektionale Kommunikationsfunktion auf. Ein CSMA/CD-Kommunikationssystem oder ein Token-Ring-Kommunikationssystem wird als die Kommunikationseinrichtung 13f verwendet. Die Kommunikationseinrichtung 13f kommuniziert über ein Kommunikationsmedium 71, wie ein verseiltes Kabel, ein Koaxialkabel usw., mit den Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53.
  • Die Schalteinrichtung 13g erzeugt ein Registrierinformationssignal zum Registrieren, ob ein vorbestimmter oder ob vorbestimmte der mit dem Trägerprozessor 10 zu verbindenden Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 mit jeweiligen zugeordneten Signalleitungen verbunden sind. Ein von einer Bedienungsperson zu betätigender DIP-Schalter oder etwas Ähnliches wird als die Schalteinrichtung 139 verwendet.
  • Es wird alternativ daran gedacht, daß die Registrierinformation in der Schalteinrichtung 139 gespeichert sein kann. Beispielsweise kann ein elektrisch löschbarer Speicher (EEPROM) als Schalteinrichtung 13g verwendet werden, um die Registrierinformation vorübergehend zu speichern.
  • Die Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53 sind unabhängig von der Hauptsteuerung 13 vorgesehen und so verbunden, daß die Signalübertragung über das Kommunikationsmedium 71 vorgenommen wird. Die Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53 weisen jeweilige Kommunikationseinrichtungen 33a, 43a und 53a, Hilfssteuereinrichtungen 33b, 43b und 53b, Prozessorverbindungs-Informationstabellen 33c, 43c und 53c und Prozessorzustands- Informationstabellen 33d, 43d und 53d auf, die über das Kommunikationsmedium 71 mit der Kommunikationseinrichtung 13f verbunden sind. Weiterhin weisen die Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53 jeweilige Verbindungssignal-Erzeugungseinrichtungen 33e, 43e und 53e auf, die mit der Identifikationsinformations-Halteeinrichtung 13e verbunden sind.
  • Die Kommunikationseinrichtungen 33a, 43a und 53a, die Prozessorverbindungs-Informationstabellen 33c, 43c und 53c und die Prozessorzustands-Informationstabellen 33d, 43d und 53d sind jeweils ebenso ausgebildet wie die Kommunikationseinrichtung 13f, die Prozessorverbindungs-Informationstabelle 13c und die Prozessorzustands-Informationstabelle 13d der Hauptsteuerung 13.
  • Die Hilfssteuereinrichtungen 33b, 43b und 53b führen vorbestimmte Steuerprozesse individuell in Reaktion auf von der Hauptsteuerung 13 empfangene Steuersignale aus und geben dann die Steuerergebnisse und die Steuerzustände zurück.
  • Die Verbindungssignal-Erzeugungseinrichtungen 33e, 43e und 53e sind jeweilige Einrichtungen zum Erzeugen von Verbindungsinformationssignalen, die angeben, daß die Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 mit dem Trägerprozessor 10 verbunden sind. Signale (beispielsweise Unterbrecher-Ein-Signale), die angeben, daß die Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53 an Stromquellenschaltungen angeschlossen sind, oder andere digitale Signale werden in den Verbindungssignal-Erzeugungseinrichtungen 33e, 43e und 53e verwendet.
  • Bei einem weiteren Verfahren, bei dem der Trägerprozessor 10 die Verbindungsinformation erkennt, ist daran gedacht, daß (i) der Trägerprozessor die Verbindungsinformation von den jeweiligen Bearbeitungsprozessoren durch die Kommunikationseinrichtung empfangen kann und die Verbindungsinformation erkennen kann oder daß (ii) der Trägerprozessor die Verbindungsinformation von mit dem Trägerprozessor verbundenen Bearbeitungsprozessoren anfordern kann und die Verbindungsinformation erkennen kann.
  • Eine Terminaleinrichtung 81 wird durch die Hauptsteuereinrichtung 13a gesteuert und für den doppelten Zweck des Anzeigens einer Anleitung für Bedienungspersonen und des Eingebens der Sequenz von durch die Bearbeitungsprozessoren auszuführenden Prozessen als Beziehungsinformationen eines Bearbeitungsprozessors und einer Prozeßempfangsnummer verwendet.
  • Ein von der Hauptsteuereinrichtung 13a beim Betrieb des Vakuum-Halbleiterbearbeitungssystem ausgeführter Steuerprozeß wird weiter unten mit Bezug auf die Figuren 6 bis 9 beschrieben.
  • Wenn ein Haupt-Stromquellenschalter (nicht dargestellt) für das Vakuum-Halbleiterbearbeitungssystem im Schritt 110 eingeschaltet wird, geht die Routine zum Schritt 120 über, in dem die Steuerstromquellen für die Prozeßsteuerungen 33, 43 und 53 gültig gemacht werden (eingeschaltet werden). Daraufhin geht die Routine zum Schritt 130, in dem die in der Identifikationsinformations-Halteeinrichtung 13e gespeicherte Information. bestatigt wird, und zum Schritt 140, in dem beurteilt wird, ob es in der Verbindung einen ungültigen Prozessor gibt, über, um den Verbindungszustand und die Anleitung zur Wiederherstellung anzuzeigen. Wenn es in der Verbindung einen ungültigen Prozessor gibt, geht die Routine zum in Fig. 7 dargestellten Schritt 150 über. Wenn es in der Verbindung keinen ungültigen Prozessor gibt, geht die Routine zum in Fig. 8 dargestellten Schritt 220 über.
  • Im Schritt 150 verzweigt die Steuerung entsprechend der Ursache der Ungültigkeit der Verbindung. Im Schritt 150 wird die in der Identifikationsinformations-Halteeinrichtung 13e gespeicherte Information logisch beurteilt. Wenn die Registrierinformation bzw. die Verbindungsinformation entsprechend dem ungültigen Prozessor in der Verbindung "nicht registriert" bzw. "verbunden" ausdrückt, geht die Routine zum Schritt 160 über. Wenn die Registrierinformation bzw. die Verbindungsinformation "registriert" bzw. "nicht verbunden" ausdrückt, geht die Routine zum Schritt 170 über. Wenn die Registrierinformation bzw. die Verbindungsinformation "nicht registriert" bzw. "nicht verbunden" ausdrückt, geht die Routine zum in Fig. 8 dargestellten Schritt 220 über.
  • Der Zustand, in dem die Registrierinformation bzw. die Verbindungsinformation "nicht registriert" bzw. "verbunden" ausdrückt, stellt den Fall dar, in dem der Arbeitsgang des Registrierens eines Bearbeitungsprozessors durch die Schalteinrichtung nach Anschluß des Bearbeitungs-. prozessors in den Ruhezustand versetzt worden ist. Dementsprechend wird im Schritt 160 an der Terminaleinrichtung 81 eine Anleitung zum Legen der Schalteinrichtung 13g auf "registriert" bezüglich des Bearbeitungsprozessors angezeigt. Daraufhin wird im Schritt 180 die Eingabe des von der Schalteinrichtung 139 ausgegebenen Registrierinformationssignals bestätigt. Daraufhin geht die Routine zum in Fig. 8 dargestellten Schritt 220 über.
  • Der Zustand, in dem die Registrierinformation bzw. die Verbindungsinformation "registriert" bzw. "nicht verbunden" ausdrückt, stellt den Fall dar, in dem das Informationssignal "verbunden" von der Verbindungsinformations-Erzeugungseinrichtung nicht eingegeben werden kann, da der Bearbeitungsprozessor wegen einer Wartung oder eines Ausfalls der Steuerstromquelle oder der Signalschaltung nicht verbunden ist. Dementsprechend wird im Schritt 170 auf der Terminaleinrichtung 81 eine Anleitung angezeigt, um eine Eingabe zur Auswahl anzufordern, der Bearbeitungsprozessor als "nicht verbunden" (zu übergehen) angesehen wird oder ob er nach Rückführung in einen gültigen Zustand (wiederherzustellen) verwendet wird. Daraufhin wird im Schritt 190 die Eingabe der von der Terminaleinrichtung 81 ausgegebenen Auswahl geprüft. Wenn die Auswahl "zu übergehen" ist, wird im Schritt 200 auf der Terminaleinrichtung 81 eine Anleitung zum derartigen Betätigen der Schalteinrichtung angezeigt, daß der Bearbeitungsprozessor "nicht registriert" wird. Wenn die Auswahl "wiederherzustellen" ist, wird im Schritt 210 auf der Terminaleinrichtung 81 eine Anleitung zum Wiederherstellen des Bearbeitungsprozessors angezeigt.
  • Nachdem der erwähnte Steuerprozeß ausgeführt wurde, wird in dem in Fig. 8 dargestellten Schritt mit Bezug auf die Verbindungsinformation und die Registrierinformation, die in der Identifikationsinformations-Halteeinrichtung 13e gespeichert sind, bestätigt und registriert, daß der Bearbeitungsprozessor gültig mit dem Trägerprozessor verbunden ist. Daraufhin wird im Schritt 230 mit Bezug auf die Ausfallabfolge- Informationstabelle 13d beurteilt, ob der "gültig verbundene" Bearbeitungsprozessor normal oder abnormal ist. Daraufhin wird im Schritt 240 beurteilt, ob es einen abnormalen Bearbeitungsprozessor gibt.
  • Wenn es keinen abnormalen Bearbeitungsprozessor gibt, geht die Routine zum Schritt 250 über, in dem die Hauptschaltungs-Stromquelle für den normalen Bearbeitungsprozessor eingeschaltet wird. Wenn es einen abnormalen Bearbeitungsprozessor gibt, geht die Routine zum Schritt 260 über, in dem der abnormale Bearbeitungsprozessor und der abnormale Zustand von diesem an der Terminaleinrichtung 81 angezeigt werden. Weiterhin wird im Schritt 270 beurteilt, ob die Vakuum-Halbleiterbearbeitungsvorrichtung betrieben werden kann, während der abnormale Bearbeitungsprozessor mit dem Trägerprozessor verbunden ist. Wenn die Vorrichtung betrieben werden kann, wird im Schritt 280 auf der Terminaleinrichtung 81 eine Anleitung zum derartigen Betatigen der Schalteinrichtung 139, daß die Registrierinformation dem abnormen Bearbeitungsprozessor "nicht registriert" entspricht, angezeigt, und die Routine kehrt dann zum Schritt 250 zurück. Wenn das System nicht betrieben werden kann, wird im Schritt 290 auf der Terminaleinrichtung 81 eine Anleitung zum Wiederherstellen des abnormalen Bearbeitungsprozessors angezeigt.
  • Daraufhin wird im Schritt 300 eine Routine zum Beurteilen und Festlegen des Verbindungszustands eines Bearbeitungsprozessors ausgeführt und die Routine geht dann in den Vakuumbearbeitungsbetrieb über.
  • Die Routine aus dem Schritt 300 ist in Fig.9 dargestellt. Im Schritt 301 wird die in der Identifikationsinformations-Halteeinrichtung 13e gespeicherte Identifikationsinformation ausgelesen und in der Hinsicht beurteilt, ob die Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 gültig verbunden sind, und die Beurteilungsergebnisse werden in der Prozessorverbindungs-Informationstabelle 13c gespeichert. Da diese Ausführungsform den Fall dargestellt, in dem drei Bearbeitungsprozessoren 30, 40 und 50 gültig mit dem Trägerprozessor 10 verbunden sind, sind die in der Prozessorverbindungs-Informationstabelle 13c gespeicherten Daten "00001111" (gültig verbunden: 1, nicht verbunden oder ungültig verbunden: 0).
  • Daraufhin wird im Schritt 302 die Verbindungsinformation zur Prozeßsteuerung 33 übertragen und in der Prozessorverbindungs-Informationstabelle 33c der Prozessorsteuerung 33 gespeichert.
  • Ebenso wird die Verbindungsinformation im Schritt 303 zur Prozeßsteuerung 43 übertragen und in der Prozessorverbindungs-Informationstabelle 43c der Prozessorsteuerung 43 gespeichert.
  • Gleichermaßen wird die Verbindungsinformation im Schritt 304 zur Prozeßsteuerung 53 übertragen und in der Prozessorverbindungs-Informationstabelle 53c der Prozessorsteuerung 53 gespeichert.
  • Beim Vakuumbearbeitungsbetrieb wird ein Verfahren zum Prüfen der Zustände der Bearbeitungsprozessoren 10, 30, 40 und 50 zu jeder Zeit und zum Ändern der in den Prozessorzustands-Informationstabellen 13d, 33d, 43d und 53d gespeicherten Daten auf der Grundlage der Zustandsinformation ausgeführt. Die Bearbeitungsprozessoren, in denen die Verbindungsinformation und die Zustandsinformation gespeichert sind, können jeweilige Verfahren ausführen, während Steuersignale bezüglich der wechselseitigen Erkennung der Information der Bearbeitungsprozessoren übertragen werden.
  • Wie oben beschrieben wurde, wird gemäß der vorliegenden Erfindung eine Vereinbarkeit zwischen einem tatsächlich verbundenen Bearbeitungsprozessor und einem registrierten Bearbeitungsprozessor logisch mit Bezug auf die Prozessorverbindungsinformation und die Prozessorregistrierinformation beurteilt, so daß die Schwierigkeit, daß die Prozeßsteuerung gestartet wird, während die beiden nicht vereinbar sein, beseitigt werden kann.
  • Weiterhin kann der nicht zu vereinbarende Bearbeitungsprozessor durch Anzeigen des Nichtvereinbarkeitszustands auf der Terminaleinrichtung in geeigneter Weise verwendet oder wiederhergestellt werden, so daß das Arbeitsverhältnis des Systems verbessert werden kann.

Claims (8)

1. Multiprozessorvorrichtung mit einem Trägerprozessor (10), mehreren, mit dem Trägerprozessor verbundenen Bearbeitungsprozessoren (30, 40, 50) und einem Steuersystem (13, 33, 43, 53) zur Steuerung des Trägerprozessors und der Vielzahl von Bearbeitungsprozessoren,
dadurch gekennzeichnet, daß
weiterhin vorhanden sind: eine Einrichtung (33e, 43e, 53e) zur Erzeugung eines Verbindungsinformationssignals, das die Information der physikalischen Verbindung der Vielzahl von Bearbeitungsprozessoren jeweils zu dem Trägerprozessor ausdrückt; eine Einrichtung (13g) zur Erzeugung eines Registrierinformationssignals zur Registrierung, ob ein oder mehrere vorbestimmte, mit dem Trägerprozessor zu verbindende Verarbeitungsprozessoren an die jeweils hierfür vorgesehenen Signalleitungen angeschlossen sind; eine Steuereinrichtung (13a) zur Ausführung eines Steuerverfahrens, wobei bezüglich der Verbindungen eine Beziehung zwischen den Bearbeitungsprozessoren und dem Trägerprozessor durch Heranziehen sowohl des Verbindungsinformationssignals als auch des Registrierinformationssignals festgelegt wird; und eine Anzeigeeinrichtung zur Anzeige einer Anleitung zur Bedienung der Multiprozessorvorrichtung an ein Bedienungspersonal, wobei die Anleitung sich auf der von der Steuereinrichtung festgelegten Beziehung gründet.
2. Nultiprozessorvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigeeinrichtung eine Terminaleinrichtung (81) umfaßt.
3. Multiprozessorvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß außerdem eine Speichereinrichtung (13b) zur Speicherung von Informationen betreffend die Abfolge von in der Multiprozessorvorrichtung auftretenden Ausfällen vorgesehen ist, und daß die Steuereinrichtung durch Inbezugnahme auf die Informationen zur Ausfallabfolge ein Verfahren zur Steuerung der angeschlossenen Bearbeitungsprozessoren ausführt.
4. Multiprozessorvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß weiterhin eine Speichereinrichtung (13c) zur Speicherung von Informationen bezüglich der Zustände der jeweiligen Bearbeitungsprozessoren vorgesehen ist, und daß die Steuereinrichtung durch Inbezugnahme auf die Prozessorzustandsinformationen ein Verfahren zur Steuerung der angeschlossenen Bearbeitungsprozessoren ausführt.
5. Multiprozessorvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersystem mehrere Prozeßsteuerungen (33, 43, 53) zur jeweiligen Steuerung der Vielzahl von Bearbeitungsprozessoren aufweist sowie eine Hauptsteuerung (13) zur Steuerung des Trägerprozessors (10) und der Prozeßsteuerungen (33, 43, 53), wobei jede der Prozeßsteuerungen (33, 43, 53) eine Einrichtung (33e, 43e, 53e) zur Erzeugung des Verbindungsinformationssignals enthält, die Hauptsteuerung eine Einrichtung (13g) zur Erzeugung des Registrierinformationssignals enthält, uiid wobei die Steuereinrichtung (13a) das Steuerverfahren ausführt.
6. Multiprozessorvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßsteuerungen und die Hauptsteuerung jeweils eine Speichereinrichtung (13c, 33c, 43c, 53c) für Prozessorverbindungsinformationen enthalten, und daß die Steuereinrichtung die Speichereinrichtung für Prozessorverbindungsinformationen derart steuert, daß letztere Informationen speichert, die die Verbindungsbeziehungen zwischen den Bearbeitungsprozessoren darstellen.
7. Vakuum-Waferbearbeitungsvorrichtung mit einer Multiprozessorvorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Trägerprozessor (10) zum Tragen eines Wafers im Vakuum dient, die Verarbeitungsprozessoren mehrere Waferbearbeitungsprozessoren (30, 40, 50) jeweils zur Bearbeitung des Wafers im Vakuum sind, und daß die Prozeßsteuerungen (33, 43, 53) jeweils die Waferbearbeitungsprozessoren steuern.
8. Steuerverfahren für eine Multiprozessorvorrichtung mit einem Trägerprozessor (10), mehreren, mit dem Trägerprozessor (10) verbundenen Bearbeitungsprozessoren (30, 40, 50) und eine Steuereinrichtung (13, 33, 43, 53) zur Steuerung des Trägerprozessors (10) und der Bearbeitungsprozessoren (30, 40, 50),
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Verbindungsinformationssignal erzeugt wird, das Informationen zur physikalischen Verbindung der Bearbeitungsprozessoren (30, 40, 50) mit dem Trägerprozessor (10) darstellt, daß ein Registrierinformationssignal erzeugt wird, um zu registrieren, ob ein oder mehrere der mit den Trägerprozessor (10) zu verbindenden Bearbeitungsprozessoren (30, 40, 50) mit den jeweiligen zugeordneten Signalleitungen verbunden sind, daß durch Inbezugnahme sowohl auf das Verbindungsinformationssignal als auch das Registrierinformationssignal eine Beziehung bezüglich der Verbindungen zwischen Bearbeitungsprozessoren und Trägerprozessor festgelegt wird, und daß auf der Grundlage dieser Beziehung bezüglich der Verbindungen zwischen Bearbeitungsprozessoren und Trägerprozessor eine Anleitung an ein Bedienungspersonal der Multiprozessorvorrichtung zum Bedienen derselben angezeigt wird.
DE69224568T 1991-09-05 1992-08-03 Multiprozessorvorrichtung Expired - Fee Related DE69224568T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25289291A JP3309997B2 (ja) 1991-09-05 1991-09-05 複合処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69224568D1 DE69224568D1 (de) 1998-04-09
DE69224568T2 true DE69224568T2 (de) 1998-11-05

Family

ID=17243622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69224568T Expired - Fee Related DE69224568T2 (de) 1991-09-05 1992-08-03 Multiprozessorvorrichtung

Country Status (5)

Country Link
US (2) US5448470A (de)
EP (1) EP0530973B1 (de)
JP (1) JP3309997B2 (de)
KR (1) KR0144660B1 (de)
DE (1) DE69224568T2 (de)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3309997B2 (ja) * 1991-09-05 2002-07-29 株式会社日立製作所 複合処理装置
US5591299A (en) * 1995-04-28 1997-01-07 Advanced Micro Devices, Inc. System for providing integrated monitoring, control and diagnostics functions for semiconductor spray process tools
US5666486A (en) * 1995-06-23 1997-09-09 Data General Corporation Multiprocessor cluster membership manager framework
JPH0936198A (ja) * 1995-07-19 1997-02-07 Hitachi Ltd 真空処理装置およびそれを用いた半導体製造ライン
US5863170A (en) * 1996-04-16 1999-01-26 Gasonics International Modular process system
US5855465A (en) * 1996-04-16 1999-01-05 Gasonics International Semiconductor wafer processing carousel
US6176667B1 (en) * 1996-04-30 2001-01-23 Applied Materials, Inc. Multideck wafer processing system
EP0915507B1 (de) * 1996-06-07 2008-03-12 Tokyo Electron Limited Kontrollevorrichtung für behandlungsstation
US5659467A (en) * 1996-06-26 1997-08-19 Texas Instruments Incorporated Multiple model supervisor control system and method of operation
TW466622B (en) * 1996-09-11 2001-12-01 Hitachi Ltd Operating method of vacuum processing device and vacuum processing device
DE19718137A1 (de) * 1997-04-30 1998-11-05 Lemuth Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung von Lasergeräten
US6086676A (en) * 1997-07-11 2000-07-11 Applied Materials, Inc. Programmable electrical interlock system for a vacuum processing system
US6078847A (en) * 1997-11-24 2000-06-20 Hewlett-Packard Company Self-organizing materials handling systems
US6292708B1 (en) * 1998-06-11 2001-09-18 Speedfam-Ipec Corporation Distributed control system for a semiconductor wafer processing machine
US6272400B1 (en) * 1998-07-13 2001-08-07 Helix Technology Corporation Vacuum network controller
DE29813589U1 (de) * 1998-07-30 1999-12-16 KUKA Schweissanlagen GmbH, 86165 Augsburg Flexibles Fertigungssystem
US6267545B1 (en) * 1999-03-29 2001-07-31 Lam Research Corporation Semiconductor processing platform architecture having processing module isolation capabilities
US7213061B1 (en) 1999-04-29 2007-05-01 Amx Llc Internet control system and method
KR100303322B1 (ko) * 1999-05-20 2001-09-26 박종섭 반도체 라인 관리를 위한 통합 자동화 시스템 및 그 방법
US6615088B1 (en) 1999-06-09 2003-09-02 Amx Corporation System and method of device interface configuration for a control system
NL1015480C2 (nl) * 1999-06-22 2002-08-22 Hyundai Electronics Ind Halfgeleider fabriekautomatiseringssysteem en werkwijze voor de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette.
US6424880B1 (en) * 1999-09-10 2002-07-23 Applied Materials, Inc. Multi-computer chamber control system, method and medium
JP4884594B2 (ja) * 2001-03-22 2012-02-29 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置及び制御方法
US7152011B2 (en) * 2004-08-25 2006-12-19 Lam Research Corporation Smart component-based management techniques in a substrate processing system
US8118535B2 (en) * 2005-05-18 2012-02-21 International Business Machines Corporation Pod swapping internal to tool run time
WO2007030421A2 (en) 2005-09-07 2007-03-15 Amx Llc Method and computer program for device configuration
JP5253517B2 (ja) * 2008-12-24 2013-07-31 キヤノンアネルバ株式会社 真空処理装置のデータ収集システム
US8432603B2 (en) 2009-03-31 2013-04-30 View, Inc. Electrochromic devices
RU2637382C2 (ru) 2011-12-12 2017-12-04 Вью, Инк. Тонкопленочные устройства и их изготовление
CN108415397A (zh) * 2018-05-31 2018-08-17 陈佳康 一种无线自动化控制加工装置
US11600507B2 (en) * 2020-09-09 2023-03-07 Applied Materials, Inc. Pedestal assembly for a substrate processing chamber

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59175948A (ja) * 1983-03-23 1984-10-05 Toyoda Mach Works Ltd トランスフアマシン用加工制御装置
US5097421A (en) * 1984-12-24 1992-03-17 Asyst Technologies, Inc. Intelligent waxer carrier
DE3534465A1 (de) * 1985-09-27 1987-04-09 Kloeckner Moeller Elektrizit Verbundsystem speicherprogrammierbarer steuerungen
US4974166A (en) * 1987-05-18 1990-11-27 Asyst Technologies, Inc. Processing systems with intelligent article tracking
US5164905A (en) * 1987-08-12 1992-11-17 Hitachi, Ltd. Production system with order of processing determination
JPH0239262A (ja) * 1988-06-17 1990-02-08 Siemens Ag 異種多重計算機システム内でのプログラム実行方法および装置
US4992950A (en) * 1988-12-30 1991-02-12 Pitney Bowes Inc. Multiple processing station message communication
JPH0357063A (ja) * 1989-07-25 1991-03-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd マルチプロセッサシステムおよびマルチプロセッサの処理割当方法
EP0434986A3 (en) * 1989-12-22 1993-06-16 Siemens Aktiengesellschaft Method for putting into operation a module connected to an electronic control system
US5255197A (en) * 1990-07-06 1993-10-19 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Line production management system
JP3309997B2 (ja) * 1991-09-05 2002-07-29 株式会社日立製作所 複合処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR0144660B1 (ko) 1998-08-17
US5663884A (en) 1997-09-02
EP0530973A1 (de) 1993-03-10
KR930006874A (ko) 1993-04-22
DE69224568D1 (de) 1998-04-09
JPH0567669A (ja) 1993-03-19
US5448470A (en) 1995-09-05
EP0530973B1 (de) 1998-03-04
JP3309997B2 (ja) 2002-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69224568T2 (de) Multiprozessorvorrichtung
DE69033008T2 (de) Verarbeitungssystem mit intelligenter artikelortung
DE602004005642T2 (de) Sicherheitssteuerung zur Durchführung von Standard- und Sicherheitssteuerungsprogrammen
DE2658313C2 (de) Speicherprogrammierbare Steuerung
DE3787189T2 (de) Gesteuerter Roboter-Überwachungsprozess und Verfahren für Soll-Lage-Einstellung.
DE69326003T2 (de) Testapparat zum Testen und Handhaben einer Vielzahl von Vorrichtungen
DE4431315A1 (de) Steuerungsverfahren und Steuerungsvorrichtung für Fabrik-Automatisierungssystem
DE1524209A1 (de) Leitwerk fuer eine Rechenanlage
DE1303071B (de)
DE602004013244T2 (de) Hochgeschwindigkeitssynchronisation in einer doppelrechnerbasierten Sicherheitssteuerung
DE10024749A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur automatischen Steuerung eines Halbleiterherstellungsprozesses in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem
DE69017244T2 (de) Störungsdiagnoseverfahren einer Fertigungsstrasse.
EP0782722B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur steuerung und aktivierung von miteinander mittels eines bussystems vernetzten sensoren und/oder aktuatoren
DE1574598C3 (de) Steuereinrichtung für Fernmelde-, insbesondere Fernsprechvermittlungsanlagen
CH622367A5 (de)
DE69119327T2 (de) Diagnoseverfahren für eine Fertigungsstrasse
DE69017542T2 (de) Verarbeitungsverfahren bei dem kontinuierlicher Betrieb eines Übertragungssteuerungsprogramms erhalten wird.
DE3040429A1 (de) Ueberwachungseinrichtung fuer ein computersystem
DE10030461A1 (de) Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem und Verfahren zum Verarbeiten von wenigstens einer Halbleiterwafer-Kassette
EP0059789A2 (de) Einrichtung zur Funktionsprüfung eines Mehrrechnersystems
EP0338290B1 (de) Verfahren zum Laden einer für den Betrieb einer mikroprozessorgesteuerten elektrischen Einrichtung erforderlichen Betriebs-Steuerbefehlsfolge
DE10030481B4 (de) Halbleiter-Fabrikautomatisierungssystem und Verfahren zur Bearbeitung eines Postens von Halbleiterwafern in einer vollautomatischen oder halbautomatischen Betriebsart
DE69028811T2 (de) Extern erweiterbare speicherprogrammierbare steuerung
DE69325600T2 (de) Datenübertragungseinheit, Prozessorelement und Datenübertragungsverfahren
DE19701322C2 (de) Verfahren zur Aktualisierung der Betriebssoftware

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee