KR920701799A - 용융 금속의 중간 생성물 분석을 위한 순간 분광법 및 장치 - Google Patents
용융 금속의 중간 생성물 분석을 위한 순간 분광법 및 장치Info
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 탐침의 구성부품들의 개략적인 구조도, 제2도는 본 발명에 따른 펄스 레이저의 조사에 의해 전형적인 용융 금속으로부터 20nsec 간격으로 유출되는 분광 방출 시퀀스를 도시한 파형도, 제3a도 및 제3b도는 본 발명에 따른 분광 사진기의 분광 사진 광학기의 개략도, 제4도는 본 발명에 따른 분광 분석시 실행되는 반복적인 프로세싱 단계를 도시한 플로우챠트, 제5도는 본 발명의 장치의 작동 중 용융 금속 및 제어콘솔과 접속된 본 발명에 따른 탐침을 도시한 개략도.
Claims (50)
- 용융 금속의 분광 분석을 위한 방법에 있어서, 용융 금속 내에 침수될수 있는 개방 단부를 갖고 있는 케이싱, 선정된 에너지 밀도 및 촛점 크기를 갖는 레이저 빔으로 상기 개방단부에 인접한 용융 금속의 표면을 조사하기 위해 상기 케이싱 내에 배치된 레이저 수단 및 상기 레이저 수단에 의해 생성된 플라즈마로 부터 방출된 광의 스펙트럼 성분을 검출하기 위해 상기 케이싱 내에 배치된 분광 검출기 수단을 포함하는 탐침을 제공하는 단계, 상기 케이싱의 상기 개방 단부를 용융 금속 내로 침수시키는 단계, 상기 용융 금속의 조성을 나타내는 플라즈마를 생성하기 위해 상기 용융 금속을 상기 레이저 수단으로부터의 레이저 빔으로 조사하는 단계, 및 상기 케이싱 내의 분광 검출기 수단에 의해 플라즈마로부터 방출된 복사의 스펙트럼 성분을 검출하여 상기 검출된 성분에 대응하는 신호를 발생시키는 단계를 포함하고, 상기 조사 단계에서 용융 금속 내로의 상기 케이싱 개방 단부의 침수 중에 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 조사 단계가 상기 용융 금속을 펄스 레이저 빔으로 조사하는 단계를 포함하고, 상기 검출 단계가, 상기 펄스 레이저 빔이 피크 파워에 도달한 직후, 및 상기 플라즈마가 열적 평행에 도달하기 이전에 선정된 제1시간 윈도우 중에 상기 플라즈마에 의해 방출된 복사 내의 역스펙트림 선을 검출하는 단계를 포함하는 단계를 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 검출단계가, 상기 플라즈마가 열적 평형인 잔광 주기 내의 선정된 시간 윈도우 중에 상기 플라즈마에 의해 방출된 복수 내의 스펙트럼 성분들을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 검출 단계가 상기 플라즈마 열적 평형인 잔광 주기 내의 선정된 제2시간 윈도우 중에 상기 플라즈마에 의해 방출된 복사내의 스펙트럼 성분들을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항, 제2항, 제3항 또는 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 조사 단계가, 50±20nsec의 상승시간, 1/2폭에서 50 내지 100nsec의 지속시간, 109W/㎠이상의 파워 밀도, 및 용융 금속 표면상의 1 내지 4㎟의 촛점 크기를 갖고있는 삼각 파형을 갖는 펄스 레이저 빔으로 상기 용융금속을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제1시간 원도우가 5 내지 50nsec의 지속 시간을 갖고 있는 펄스 레이저 빔이 피크 파워에 도달한 후 50 내지 500nsec에서 개시하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제2시간 원도우가 20 내지 50nsec의 지속 시간을 갖고 있는 상기 조사 단계의 개시 후 250nsec 내지 50μsec 사이에서 개시하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 제1시간 원도우가 5 내지 nsec의 지속 시간을 갖고 있는 펄스 레이저 빔이 피크 파워에 도달한 후 50 내지 500nsec에서 개시하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 제2시간 원도우가 20 내지 500nsec의 지속 시간을 갖고 있는 상기 조사 단계의 개시후 250nsec 내지 5μsec 사이에서 개시하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항, 제2항, 제3항 또는 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제공 단계가, 용융 금속 표면과 상기 레이저 수단의 집속 렌즈 사이의 거리를 검추하기 위해 상기 케이싱 내에 배치된 거리계 수단을 제공하는 단계, 가압 불활성 가스를 접속 렌즈와 용융 금속 표면 사이의 공간에 유입하는 단계, 상기 거리계 수단을 사용하여 용융 금속과 집속 렌즈 사이의 거리를 검출하는 단계, 용융 금속 표면과 집속 렌즈 사이의 상기 거리가 선정된 거리로 유지되도록 용융 금속 표면과 집속 렌즈 사이의 검출된 거리에 기초하여 상기 공간 내로 유입되는 불활성 가스의 압력을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 용융 금속 표면이 상기 집속 렌즈로부터 상기 선정된 거리로 검출된 때만 상기 조사 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 제공 단계가, 용융 금속 표면과 상기 레이저 수단의 집속 렌즈 사이의 거리를 검출하기 위해 상기 케이싱 내에 배치된 거리계 수단을 제공하는 단계, 가압 불활성 가스를 집속 렌즈와 용융 금속 표면 사이의 공간에 유입하는 단계, 상기 거리계 수단을 사용하여 용융 금속과 금속 표면과 집속 렌즈 사이의 거리를 검출하는 단계, 및 용융 금속 표면과 집속 렌즈 사이의 상기 거리가 선정된 거리로 유지되도록 용융 금속 표면과 촛점 렌지 사이의 검출된 거리에 기초하여 상기 공간 내로 유입되는 불활성 가스의 압력을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제12항에 있어서, 상기 용융 금속 표면이 상기 집속 렌즈로 부터 상기 선정된 거리로 검출될 때만 상기 조사단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 스펙트럼 성분들을 검출하는 단계가 용융금속 표면과 제1선정된 거리 및 상기 레이저 수단의 광학 축으로 부터 떨어진 제2선정된 거리에서 플라즈마의 선정된 영역에 비례하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서, 상기 제1선정된 거리가 1.5±0.5㎜이고 상기 제2선정된 거리가 2.0±0.5㎜인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항, 제2항, 제3항, 또는 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 검출 단계에서 검출되는 스펙트럼 성분에 기초하여 검출된 스펙트럼 성분으로 표시되는 스펙트럼 내의 피크를 검출하는 단계, 선정된 함수를 각각의 검출된 피크에 부합시키는 단계, 상기 부합단계에 기초하여 합성된 복합 스펙트럼을 형성하는 단계, 합성된 복합 스펙트럼을 검출된 스펙트럼 성분에 의해 표시되는 스펙트럼과 비교하여 이들 사이의 차에 기초하여 오류 신호를 발생시키는 단계, 및 오류 신호가 선정된 한계 내인지 여부를 결정하고, 선정된 한계 내의 경우, 용융 금속내의 원소들의 구성 방출 선들을 표시하는 합성된 복합 스펙트럼을 출력하며, 선정된 한계 내가 아닌 경우 각각의 검출된 피크에 대한 함수 부합을 수정하고 반복적으로 상기 부합을 반복하며, 상기 오류신호가 상기 선정된 한계 내일 때까지 비교 및 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 검출 단계에서 검출된 스펙트럼 성분에 기초하여, 검출된 스펙트럼 성분에 의해 표시되는 스펙트럼 내의 피크들을 검출하는 단계, 선정된 함수를 각각의 검출된 피크에 부합시키는 단계, 상기 부합 단계에 기초하여 합성된 복합 스펙트럼을 형성하는 단계, 합성된 복합 스펙트럼을 검출된 스펙트럼 성분에 의해 표시된 스펙트럼과 비교하여 이들 사이의 차에 기초하여 오류 신호를 발생시키는 단계, 및 오류 신호가 선정된 한계 내인지의 여부를 결정하고, 선정된 한계 내인 경우, 용융 금속내의 원소들의 구성 방출 선들을 표시하는 합성된 복합 스펙트럼을 출력하며, 선정된 한계 내가 아닌 경우, 각각의 검출된 피크에 대한 함수 부합을 수정하고 반복적으로 상기 부합을 반복하며, 상기 오류신호가 상기 선정된 한계 내일 때까지 비교 및 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 검출 단계에서 검출된 스펙트럼 성분에 기초하여 검출된 스펙트럼 성분으로 표시되는 스펙트럼 내의 피크를 검출하는 단계, 선정된 함수를 부합시키는 단계, 상기 부합단계에 기초하여 합성된 복합 스펙트럼을 형성하는 단계, 합성된 복합 스펙트럼을 검출된 스펙트럼 성분에 의해 표시된 스펙트럼과 비교하여 이들 사이의 차에 기초하여 오류신호를 발생시키는 단계, 및 오류 신호가 선정된 한계 내인지의 여부를 결정하고, 선정된 한계 내인 경우, 용융 금속내의 원소들의 구성 방출 선들을 표시하는 합성된 복합 스펙트럼을 출력하며, 선정된 한계 내가 아닌 경우, 각각의 검출된 피크에 대한 함수 부합을 수정하고 반복적으로 상기 부합을 반복하며, 상기 오류신호가 상기 선정된 한계 내일 때까지 비교 및 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 조사 단계가 상기 용융 금속의 상기 플라즈마로의 증발이 용융 금속 내의 상기 레이저빔에 의해 발생된 열적 확산 전짐점과 거의 일치하도록 선택된 파형, 지속시간, 촛점크기 및 에너지 밀도를 갖고 있는 펄스 레이저 빔으로 용융 금속의 표면을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 검출단계가 상기 용융 금속의 상기 플라즈마로의 증발이 용융 금속 내의 상기 레이저빔에 의해 발생된 열적 확산 전진점과 거의 일치하도록 선택된 파형, 지속시간, 촛점 크기 및 에너지 밀도를 갖고 있는 펄스 레이저 빔으로 용융 금속의 표면을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 용융 금속의 분광 분석을 위한 장치에 있어서, 용융 금속 내로 침수되기에 적합한 개방 단부를 갖고 있는 케이싱을 포함하는 탐침, 케이싱의 개방단부에 인접한 용융 금속의 표면을 플라즈마 조성을 나타내는 조성물을 갖고 있는 플라즈마를 발생시키기 위해 레이저 빔으로 조사하기 위해 상기 케이싱 내에 배치된 레이저 수단 및 상기 케이싱 내에 배치되고, 플라즈마에 의해 방출된 복사의 스펙트럼 성분을 검출하고 상기 검출된 스펙트럼 성분에 대응하는 신호를 발생시키기 위해 플라즈마에 광학적으로 결합된 분광 검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 21항에 있어서, 상기 레이저 수단이 펄스 레이저 빔을 발생시키는 Q－스위칭형 레이저를 포함하고, 상기 분광 검출 수단이, 상기 펄스 레이저 빔이 피크 파워에 도달한 직후, 상기 플라즈마가 열적 평형에 도달하기 이전의 선정된 제1윈도우 시간중에 상기 플라즈마에 의해 방출된 복사 내의 스펙트럼 선 역전을 검출하기 위한 제1수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제21항에 있어서, 상기 분광 검출 수단이, 상기 플라즈마가 열적 평형인 잔광 주기 내의 선정된 윈도우 시간 중에 상기 플라즈마에 의해 방출된 복사내의 스펙트럼 성분들을 검출하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제21항에 있어서, 상기 분광 검출 수단이, 상기 플라즈마가 수단이 열적 평형인 잔광 주기 내의 선정된 제2윈도우 시간중에서 상기 플라즈마에 의해 방출된 복사내의 스펙트럼 성분들을 검출하기 위한 제2수단, 및 상기 레이저에 의해 발생된 각각의 펄스 레이저 빔에 대해 각각 상기 제1및 제2윈도우 시간 내의 스펙트럼 성분들을 검출하는 제1및 제2수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제21항 또는 제23항에 있어서, 상기 레이저 수단이, 상기 용융 금속의 표면에서, 50±20nsec의 상승시간, 1/2폭에서 50 내지 100nsec의 지속시간, 109W/㎠이상의 파워 밀도, 및 용융 금속의 표면상에 1 내지 4㎟의 촛점 크기를 갖는 삼각 파형을 갖고 있는 펄스 레이저 빔을 발생시키는 Q－스위칭형 레이저와 집속 렌즈의 조합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제21항 또는 제24항에 있어서, 상기 레이저 수단이, 상기 용융 금속의 표면에서, 50±20nsec의 상승시간, 1/2폭에서 50 내지 100nsec의 지속시간, 109W/㎠이상의 파워 밀도, 및 용융 금속의 표면상에 1 내지 3㎟의 촛점 크기를 갖는 삼각 파형을 갖고 있는 펄스 레이저 빔을 발생시키는 Q－스위칭형 레이저와 집속 렌즈의 조합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제22항에 있어서, 상기 제1시간 윈도우가 5 내지 50nsec의 지속 시간을 갖고 펄스 레이저 빔이 피크 파워에 도달 한후 50 내지 500nsec에서 개시하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제23항에 있어서, 상기 제2시간 윈도우가 20 내지 50nsec의 지속 시간을 갖고 상기 조사 단계의 개시후 250nsec 와 5μsec 사이에서 개시하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제24항에 있어서, 상기 제1시간 윈도우가 5 내지 50nsec의 지속 시간을 갖고 펄스 레이저 빔이 피크 파워에 도달한 후 50 내지 500nsec에서 개시하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제29항에 있어서, 상기 제2시간 윈도우가 20 내지 50nsec의 지속 시간을 갖고 상기 조사 단계의 개시후 250nsec 와 5μsec 사이에서 개시하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제21항 또는 제23항에 있어서, 가압 불활성 가스를 레이저 수단의 집속 렌즈와 융용 금속의 표면사이의 공간 내로 유입하는 수단, 용융 금속의 표면과 집속 렌즈 사이의 거리를 검출하기 위해 케이싱 내에 배치된 거리계 수단 및 용융 금속의 표면과 집속 렌즈 사이의 거리가 선정된 거리로 유지되도록 용융 금속의 표면과 집속 렌즈 사이에서 검출된 거리에 기초하여 상기 공간 내롤 유입되는 불활성 가스의 압력을 제어하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제30항에 있어서, 상기 용융 금속의 표면이 상기 집속렌즈로부터 상기 선정된 거리라는 것을 상기 거리계 수단에 의해 검출될 때만 상기 레이저 수단을 작동시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제30항에 있어서, 가압 불활성 가스를 레이저 수단의 집속 렌즈와 용융 금속의 표면 사이의 공간 내로 유입시키기 위한 수단, 용융 금속의 표면과 집속 렌즈사이의 거리를 검출하기 위해 케이싱 내에 배치된 거리계 수단 및 용융 금속의 표면과 집속 렌즈 사이의 거리가 선정된 거리로 유지되도록 용융 금속의 표면과 집속 렌즈 사이에서 검출된 거리에 기초하여 상기 공간 내로 유입되는 불활성 가스의 압력을 제어하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제33항에 있어서, 상기 용융 금속의 표면이 상기 집속렌즈로 부터 상기 선정된 거리라는 것을 상기 거리계 수단에 의해 검출될 때만 상기 레이저 수단을 작동시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제33항에 있어서, 상기 분광 검출 수단이, 분광사진기 및 상기 분광사진기에 인가되고, 용융 금속의 표면으로부터의 제1거리 및 상기 레이저 수단의 광학축과 떨어진 제2선정된 거리에서 플라즈마의 선정된 영역내에 배치되는 광선을 집속하기 위한 집속수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제35항에 있어서, 상기 제1선정된 거리가 1.5±0.5㎜이고 상기 제2선정된 거리가 2.0±0.5㎜인 것을 특징으로 하는 장치.
- 제21항 또는 제23항에 있어서, 다음의 기능을 수행함으로써 상기 분광사진기 검출 수단에 의해 발생되는 신호를 처리하기 위한 처리 수단, 상기 분광사진기 검출수단에 의해 검출되는 스펙트럼 성분에 기초하여 검출되는 스페트럼 성분으로 표시되는 스펙트럼 내의 피크들을 검출하기 위한 수단 선정된 함수를 피크에 부합시키기 위한 수단, 부합된 함수에 기초하여 합성된 복합 스펙트럼을 형성하기 위한 수단, 합성된 복합 스펙트럼을 검출된 스펙트럼 성분에 의해 표시되는 스펙트럼과 비교하여 이들 사이의 차에 기초하여 오류 신호를 발생시키기 위한 수단 및 오류 신호가 선정된 한계 내인지의 여부를 결정하고, 선정된 한계 내인 경우, 용융 금속내의 원소들의 구성 방출선이 표시될 때 합성된 복합 스펙트럼을 출력하며, 선정된 한계 내가 아닌 경우, 각각의 검출된 피크에 대한 함수 부합을 수정하고 반복적으로 상기 부합을 반복하여, 상기 오류신호가 상기 선정된 한계 내일 때까지 비교 및 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제22항 또는 제24항에 있어서, 다음의 기능을 수행함으로써 상기 분광사진기 검출 수단에 의해 발생되는 신호를 처리하기 위한 처리 수단, 상기 분광사진기 검출수단에 의해 스펙트럼 성분에 기초하여 검출되는 스페트럼 성분으로 표시되는 스펙트럼 내의 피크들을 검출하기 위한 수단, 선정된 함수를 피크에 부합시키기 위한 수단, 부합된 함수에 기초하여 합성된 복합 스펙트럼을 검출된 스펙트럼 성분에 의해 표시되는 스펙트럼과 비교하여 이들 사이의 차에 기초하여 오류 신호를 발생시키기 위한 수단 및 오류 신호가 선정된 한계 내인지의 여부를 결정하고, 선정된 한계 내인 경우, 용융 금속내의 원소들의 구성 방출선이 표시될 때 합성된 복합 스펙트럼을 출력하며, 선정된 한계 내가 아닌 경우, 각각의 검출된 피크에 대한 함수 부합을 수정하고 반복적으로 상기 부합을 반복하여, 상기 오류신호가 상기 선정된 한계 내일 때까지 비교 및 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제30항에 있어서, 다음의 기능들을 수행함으로써 상기 분광사진기 검출 수단에 의해 발생되는 신호를 처리하기 위한 처리 수단, 상기 분광사진기 검출수단에 의해 검출되는 스펙트럼 성분에 기초하여 검출되는 스펙트럼 피크에 부합시키기 위한 수단, 부합된 함수에 기초하여 합성된 복합 스펙트럼을 형성하기 위한 수단, 합성된 복합 스펙트럼을 검출된 스펙트럼 성분에 의해 표시되는 스펙트럼과 비교하여 이들의 차에 기초하여 오류 신호를 발생시키기 위한 수단 및 오류 신호가 선정된 한계 내인지의 여부를 결정하고, 선정된 한계 내인 경우, 용융 금속내의 구성원소들의 방출선이 표시될 때 합성된 복합 스펙트럼을 출력하며, 선정된 한계 내가 아닌 경우, 각각의 검출된 피크에 대한 함수 부합을 수정하고 반복적으로 상기 부합을 반복하여, 상기 오류신호가 상기 선정된 한계 내일 때까지 비교 및 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제33항에 있어서, 다음 기능을 수행함으로써 상기 분광사진기 검출 수단에 의해 발생되는 신호를 처리하기 위한 처리 수단, 상기 분광사진기 검출수단에 의해 검출되는 스펙트럼 성분에 기초하여 검출되는 스펙트럼 성분으로 표시되는 스펙트럼 내의 피크들을 검출하기 위한 수단, 선정된 함수들 각각 검출된 피크에 부합시키기 위한 수단, 부합된 함수에 기초하여 합성된 복합 스펙트럼을 형성하기 위한 수단, 합성된 복합 스펙트럼을 형성하기 위한 수단, 합성된 복합 스펙트럼을 검출된 스펙트럼 성분에 의해 표시되는 스펙트럼과 비교하여 이들의 차에 기초하여 오류 신호를 발생시키기 위한 수단 및 오류 신호가 선정된 한계 내인지의 여부를 결정하고, 선정된 한계 내인 경우, 용융 금속내의 구성원소들의 방출선이 표시될 때 합성된 복합 스펙트럼을 출력하며, 선정된 한계 내가 아닌 경우, 각각의 검출된 피크에 대한 함수 부합을 수정하고 반복적으로 상기 부합을 반복하여, 상기 오류신호가 상기 선정된 한계 내일 때까지 비교 및 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제21항에 있어서, 상기 레이저 수단이, 용융 금속 표면에서 상기 플라즈마로의 상기 용융 금속의 증발이 용융 금속 내의 상기 레이저 빔에 의해 발생된 열적 확산 전진점과 일치하도록 선택된 파형, 지속시간, 촛점크기 및 에너지 밀도를 갖고 있는 펄스 레이저 빔을 발생시키는 Q－스위치형 레이저와 집속 렌즈의 조합물을 갖고 있는 펄스 레이저 빔을 발생시키는 Q－스위치형 레이저와 집속 렌즈의 조합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제40항에 있어서, 상기 레이저 수단이, 용융 금속 표면에서 상기 플라즈마로의 상기 융용 금속의 증발이 용융 금속 내의 상기 레이저 빔에 의해 발생된 열적 확산 전진점과 일치하도록 선택된 파형, 지속시간, 촛점크기 및 에너지 밀도를 갖고 있는 펄스 레이저 빔을 발생시키는 Q－스위치형 레이저와 집속 렌즈의 조합물을포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제21항 또는 제23항에 있어서, 상기 분광 검출 수단이, 상기 플라즈마로부터 다수의 스펙트럼 성분 내로 방출되는 복사를 분리시키기 위한 수단, 선정된 스펙트럼 성분의 존재를 검출하기 위해 상기 복사 분리 수단에 광학적으로 결합된 광검출 픽셀 소자의 게이트형 에러이 및 상기 공간적으로 분리된 스펙트럼 성분들 중 선택된 성분 내지 상기 픽셀 소자들 중 선택된 소자를 선택적으로 반사하기 위해 다수의 세그먼트로된 미러들을 포함하는 선택수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제22항 또는 제24항에 있어서, 상기 분광 검출 수단이, 상기 플라즈마로부터 다수의 스펙트럼 성분 내로 방출되는 복사를 분리시키기 위한 수단, 선정된 스펙트럼 성분의 존재를 검출하기 위해 상기 복사 분리 수단에 광학적으로 결합된 광검출 픽셀 소자의 게이트형 에러이 및 상기 공간적으로 분리된 스펙트럼 성분들 중 선택된 성분 내지 상기 픽셀 소자들 중 선택된 소자를 선택적으로 반사하기 위해 다수의 세그먼트로된 미러들을 포함하는 선택수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제30항에 있어서, 상기 분광 검출 수단이, 상기 플라즈마로부터 다수의 스펙트럼 성분 내로 방출되는 복사를 분리시키기 위한 수단, 선정된 스펙트럼 성분의 존재를 검출하기 위해 상기 복사 분리 수단에 광학적으로 결합된 광검출 픽셀 소자의 게이트형 에러이 및 상기 공간적으로 분리된 스펙트럼 성분들 중 선택된 성분 내지 상기 픽셀 소자들 중 선택된 소자를 선택적으로 반사하기 위해 다수의 세그먼트로된 미러들을 포함하는 선택수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제40항에 있어서, 상기 분광 검출 수단이, 상기 플라즈마로부터 다수의 스펙트럼 성분 내로 방출되는 복사를 분리시키기 위한 수단, 선정된 스펙트럼 성분의 존재를 검출하기 위해 상기 복사 분리 수단에 광학적으로 결합된 광검출 픽셀 소자의 게이트형 에러이 및 상기 공간적으로 분리된 스펙트럼 성분들 중 선택된 성분 내지 상기 픽셀 소자들 중 선택된 소자를 선택적으로 반사하기 위해 다수의 세그먼트로된 미러들을 포함하는 선택수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제43항에 있어서, 상기 분리 수단에 의해 분리된 스펙트럼 성분을 여러번 반사함으로써 상기 스펙트럼 성분과 이 성분의 공간 분리에 의해 주행되는 거리가 증가하도록 상기 복사 분리 수단과 상기 선택 수단 사이에 제공되고, 다수의 미러들을 포함하는 절첩된 광학 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제44항에 있어서, 상기 분리 수단에 의해 분리된 스펙트럼 성분을 여러번 반사함으로써 상기 스펙트럼 성분과 이 성분의 공간 분리에 의해 주행되는 거리가 증가하도록 하기 위해 상기 복사 분리 수단과 상기 선택 수단 사이에 제공되고, 다수의 미러들을 포함하는 절첩된 광학 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제45항에 있어서, 상기 분리 수단에 의해 분리된 스펙트럼 성분을 여러번 반사함으로써 상기 스펙트럼 성분과 이 성분의 공간 분리에 의해 주행되는 거리가 증가하도록 하기 위해 상기 복사 분리 수단과 상기 선택 수단 사이에 제공되고, 다수의 미러들을 포함하는 절첩된 광학 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제46항에 있어서, 상기 분리 수단에 의해 분리된 스펙트럼 성분을 여러번 반사함으로써 상기 스펙트럼 성분과 이 성분의 공간 분리에 의해 주행되는 거리가 증가하도록 하기 위해 상기 복사 분리 수단과 상기 선택 수단 사이에 제공되고, 다수의 미러들을 포함하는 절첩된 광학 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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