SU629455A1 - Устройство дл спектрохимических исследований - Google Patents

Устройство дл спектрохимических исследований

Info

Publication number
SU629455A1
SU629455A1 SU772468610A SU2468610A SU629455A1 SU 629455 A1 SU629455 A1 SU 629455A1 SU 772468610 A SU772468610 A SU 772468610A SU 2468610 A SU2468610 A SU 2468610A SU 629455 A1 SU629455 A1 SU 629455A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
target
laser
radiation
focusing
additional
Prior art date
Application number
SU772468610A
Other languages
English (en)
Inventor
Мор Йоахим
Original Assignee
Mohr Joachim
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mohr Joachim filed Critical Mohr Joachim
Application granted granted Critical
Publication of SU629455A1 publication Critical patent/SU629455A1/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G01N21/718Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma

Description

Изобретение относитс  к устройствам дл  спектрохимнческих тссле ованнй, вг частности дл  лазервого микроспектрал ного анализа. Известны устройства дл  эмиссионного мидроспектрального анализа, в которых отбор микропробы и ее анализ производ тс  раздельнс fij, Это усложн ет процедуру проведени  анализа и требует знач телвных затрат времени. Наиболее близкое к предлагаемому изоб ретению устройство дл  спектрохимичес- ких исследований в частности дл  лазерного микроспектрального анализа, содержит лазерный источник излучени , средств фоку сировЕИ излучени  на анализируемую м шень , средства наблюдени  за поверхностью мишени, средства возбуждени  паров мишени и спектральный прибор с фокусирующе оптикой 2. Известное-устройство отличаетс  сложностью конструкций средств вос ужденн  паров анализируемой . . Цель изобретени  - упрощение конструкции при сохранении эффективности возбуждени  паров мишени. Дл  этого средства возбуждени  содержат , по крайней мере, одну дополнитель ную мишень, а также средства дл  генерировани  и фокусировки дополнительных световых пучков на дополнительные мишени ,-причем рабочие поверхности анализируемой и дополнительных- мишеней расположены р дом одна с другой, средство дл  генерировани  дополнительного светового пучка выполнено, например, в виде проэрачной частично клиновидной пластинки, расположенной между средствами фокусировки и анализируемой мишенью, лазерный источник излучени  имеет два противоположно расположенных выходных окна, а средство дл  фокусировки дополнительного светового пучка оптически сопр жено с одним из выходных OKOHJ средстао дл  Ieнерировани  дополнительного светового пучка содержит самосто тельный лазерный источник излучени ; дополнительна  мишень выполнена в виде плоскопараллельной пластины из светопроницаемого материала и расположена между средствами фокус;ирОБки излучени  и анализируемой мишенью, причем средства фокусировки включают в себ  бифокальный зеркально-линзовый объек тив, соответствующие фокальные поверхнос ти которого расположены вблисзи обращенных одна к другой поверхностей-анализиру емой и дополнительной мишеней. На фиг. 1а показано изменение по времени импульса, служащего дл  возбуждени  (накачки) лазера (интенсивность Jg лампы-вспышки, врем  t светового импульса Д to 1 мкс)} на фиг. 16 - иэменение серии лазерных импульсов по вре мени, полученных при помощи вспышек согласно фиг. 1а (интенсивность лазерного света J , врем  t .. ); на фиг. 1в - изменение вызванного импуль- сом лазера излучени  микроплазмы (интенсивность Jj излучени  микроплазмы, врем  t ,ut{, с 10О НС, и слагаемого из интенсивности излучени  J сплошной среды в момент начала эмиссии и интенсивности излучени  J линейного спектра; на фиг. 2 дана схема предлагаемого устройства дл  спектрохимических исследований; на фиг. 3 - то же, вариант; на фиг. 4 - то же, с использованием бифокального зеркального объектива дл  разделени  и фокусировки лучей. Предлагаемое устройство содержит от ражатели резонатора лазерного источника в виде призмы 1 и зеркала 2, активную 3, модул тор 4 добротности, отклон ющие устройства 5, объектив 6, частично клиновидную пластинку, анализируемую 8 и вспомогательную 9 мишени. средства Ю и 11 дл  фокусировки излучени  плазмы на входную щель спектраль ного прибора. В устройстве, изображенном на фиг. 2, пучок лазерных лучей L исходит из конца резонатора; лазера, состо щего из расположенной между полностью отражающей пр1змой 1 и зеркалом 2 в качестве ре(}ьлектора , активной среды 3 и модул тора 4 добротности, изма1 ет направление при помощи отклон ющего устройства 5 и фокусируетс  через линзовый объектив 6 на анализируемую мишень 8. Прежде, чем лучи лазера достигнут этой мишени (частичный световой пучок L, ) частично кли новидна  стекл нна  пластинка 7 с, с отклон ет часть лучей (частичный све товой пучок Lg ) на поверхность вспомогательной мишени 9. Угол кпкпас : 02.45 При попадании лазерных лучей на миень 8 и вспомогательную мишень 9 следствие испарени  материалов возникат облака плазмы 12 и 13, причем об-; ако плазмы 13 вторгаетс  в облако плазы 12 или окружает ее. Вследствие выокой скорости распространени  плазмы 10 м/сек) происходит обмен .энергией между обеими плазмами, который приводит к дальнейшему возбуждению облака плазмы 12 и тем самым к отдаче энергии излучени  с характерным дл  материала мишени спектром. Дл  достижени  оптимальных условий дл  возбуждени  плазмы и тем самым высокой чувствительности спектрохимнческого анализа прежде всего необходимо, чтобы интенсивность обоих частичных пучков лазерных лучей bf и Lj: , служащих цел м испарени  материала мишени .8 и вспомогательной мищени 9, а также угол в пределах указанного диапазона обладали определенными величинами. Зти величины следует устанавливать дл  .каждого конкретного иссл дуемого материала на основе предварительных экспериментов. Так, с этой целью можно измен ть величины интенсивности света обоих лазерных частичных световых пучков путем перемещени  кливовидной стекл нной пластинки 7 в направлении двой;ной стрелки X и угол В путем поворота вспомогательной мишени 9 и оптической оси светового пучка L излучени  плазмы 12. В качестве материала дл  вспомогательной мишени 9 можно применить основной материал мишени 9, соответствующее буферное вещество, углерод с чистым спектром , окись кремни  или щелочные и щелочноземельные талогениды, а также смоси этих материалов. Проекци  излучени  облака плазмы 12 на спектральный аппарат (на чертежах не показан) осуществл етс  с целью спектрального анализа лазерной микроэмиссин при помощи средств 11 фокусировки. В устройстве, изображенном на фиг. 3, в обоих направлени х от оси С-С резонатора лазера в соответствии с различной отражательной способностью зеркал 2 и 2 излучаютс  пучки лазерных лучей L и L , которые после отражени  отклон ющими устройствами 5 и 5 и фокусировки через линзовые объективы 6 и 6 падают на поверхность мищени 8 и вспомогательной мишени 9. Так как при этом угол между ос ми С-С и С -С , обеих оптических систем с линзовыми объективами 6 и 6 удовлетвор ет условию .&0°, это устройство в отличие от устройства на фиг. 2 имеет преимущество , заключающеес  в том, что обе лазерные плазмы 12 и 13, расшир  сь, устремл ютс  одна в другую; при этом энерги  их пол  и кинетическа  энерги  расходуютс  частично в пользу энергии возбуждени  и излучени . В показанном на фиг. 4 устройстве ио лучаемый лазерным источником пучок лучей L попадает после отклонени  в бифокальный зеркально-линзовый объектив 6 и там расщепл етс  так, что удаленные от оси лучи фокусируютс  на поверхнсх;ти мищени 8, после того- как .они прошли этим через светопроницаемую вспомогательную мишень 9, а близкие к оси лучи после их прохождени  через линзовый объектив 6 фокусируютс  на нижней, об- ращенной к мишени д, стороне вспомогательной мищени 9. В качестве материала дл  выполненной в виде плх:копараллельной пластины вспо могательной мищени может быть использован , например, полистирол или другое достаточно проницаемое дл  лучей лазера вещество. В этом устройстве обе плазмы при расширении также вторгаютс  одна в другую. Ввиду того, что вспомогательна  мищень 9 при каждой лазерной вспышке подвергаетс  разрущению на своей нижней стороне, перед каждой новой лазерной вспыш клй ее следует немного смещать в напрев Ленин двойной стрелку; V Излучение пла мы с помощью вогнутого зеркала и линзовой системы направл етс  в плоскость щ& ли или оптики спектрографа (на чертеже не показан). . Таким образом, предлагаемое устройство отличаетс  от известных конструкций и тем, что возбуждение испаренного материала мишени осуществл етс  при помощи дополнительной микроплазмы, котора  во ннкает благодар  испарению материала в результате облучени  поверхности вспомогательной мишени другим лазерным световым пучком. С места своего возникновени  на поверхности вспомогательной мише- ни микроплазма в вид« взрыва усТ-ремл етс  в облако пара из материала пробы мишени. При этом обмен энергией между возбужденным и не возбужденным матери- алами обоих облаков пара или плазменных облаков приводит к взаимовли нию и тем самым к излучению из пара ,мищени. Если энерги  дл  получени  возбуждающей микроплазмы и микроплазмы мишени исходит из одного и того же лазерного источника света, то. можно достичь нар ду с точной синхронизацией по времени моментов образовани  обеих плазм также улучшенной воспроизводимости результатов изморенн . Значительна  плотность энергии лазерного излучени  вследствие необходимости возбуждать две плазмы оказываетс  преимуществом изобретени  в отличие отизвестных методов к устройств, в которых интенсивность лазерного излучени  часто ослабл етс  особенно при исследовани х весьма малых объектов. Форму, ла изобретени  1. Устройство дл  спектрохимических исследований, а частности дл  лазерного микроспектрального анализа, содержащее лазерный излучени , средства фокусировки излучени  на анализируемую ми шень, средства наблюдени  за поверхностью мишени, средства возбуждени  паров мишени и спектральный .прибор с фокусн ру- ющей оптикой, отличающеес  тем, что,- с целью упрощени  конструкции, средства возбуждени  содержат, по крайней мере, -одну дополнительную мишень, а также средство дл  генерировани  н фокусировки дополнительных световых пучков на дополнительные мишен/i, причем рабочие поверхности анализнруемой и дополнительных мишеней расположены р дом одна с другой. 2. Устройство по п. 1, о г л и ч а - ю щ е е с   тем, что средство дл  генерировани  дополнительного пучка выполнено в виде прозрачной частично клиновидной пластинки, расположенной между средствами фокусировки и анализируемой мишенью . 3. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с   тем, что лазерный источник излучени  имеет два противоположно расположенных выходных окна, а средство л  фокусировки дополнительного световоо пучка оптически сопр жено с одним из ыходных окон. 4.Устройство по п. 1, о т л и ч а щ е е с   тем, что средство дл  генеировани  дополнительногосветового пуча содержит самосто тельный лазерный сточник излучени . 5.Устройство по п. 1, о т л и ч а - щ е е с   тем, что дополнительна  миень выполнена в виде плоскопараллельной пластины из светопр оницаемого материала и расположена между средствами фок- сировк  излучени  и анализкрэпэмой мишенью причем средства 4юкусировки включают в себ  бифокальный зеркально-линзовый объектив ,. соответствующие фокальные поверхности которого расположены вблизи обращенных одна к другой поверхностей анализируемой и дополнительной мишеней. 62 58 Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе; 1.Доклады АН СССР, 192, 2, 197О, с. 181. 2.Менке Г.и Менке Л. Введение в лазерный эмиссионный микроспектральный анализ. М., Мир, 1968, с, 33.
rf
(
SU772468610A 1976-04-29 1977-04-12 Устройство дл спектрохимических исследований SU629455A1 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD19258676A DD127021B1 (de) 1976-04-29 1976-04-29 Vorrichtung fuer spektrochemische untersuchungen, insbesondere fuer die laser-mikrospektralanalyse

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU629455A1 true SU629455A1 (ru) 1978-10-25

Family

ID=5504358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772468610A SU629455A1 (ru) 1976-04-29 1977-04-12 Устройство дл спектрохимических исследований

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPS52154690A (ru)
DD (1) DD127021B1 (ru)
DE (1) DE2650124A1 (ru)
FR (1) FR2349831A1 (ru)
SU (1) SU629455A1 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1988001379A1 (en) * 1986-08-15 1988-02-25 Cra Services Limited Laser ablation inspection
US4986658B1 (en) * 1989-04-21 1996-06-25 Univ Lehigh Transient spectroscopic method and apparatus for in-process analysis of molten metal
DE19932069A1 (de) * 1999-07-12 2001-01-18 Spectro Analytical Instr Gmbh Vorrichtung für die Laser-induzierte Emissionsspektrometrie
DE10361903A1 (de) * 2003-12-22 2005-07-28 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur spektroskopischen Analyse einer biologischen oder chemischen Substanz

Also Published As

Publication number Publication date
DD127021B1 (de) 1979-12-27
DE2650124A1 (de) 1977-11-17
FR2349831A1 (fr) 1977-11-25
JPS52154690A (en) 1977-12-22
DD127021A1 (de) 1977-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10823679B2 (en) Scanning type laser induced spectrum analysis and detection system
US5731588A (en) Process and device for optically measuring a point on a sample with high local resolution
JP2010019853A (ja) 毛管電気泳動装置のための光学的整合装置
CN110440918B (zh) 一种空间高分辨的光丝荧光光谱成像与定位方法及系统
US4182574A (en) Arrangement for carrying out laser spectral analysis
JP2002196252A (ja) 走査型顕微鏡検査における照明用光源装置、及び走査型顕微鏡
US20230093899A1 (en) Multipulse-induced spectroscopy method and device based on femtosecond plasma grating
US4461573A (en) Spectrafluorometer arrangement
RU2001121681A (ru) Устройство для элементного анализа путем спектрометрии оптической эмиссии на плазме, полученной с помощью лазера
GB1266971A (ru)
US4691110A (en) Laser spectral fluorometer
SU629455A1 (ru) Устройство дл спектрохимических исследований
JPH04144053A (ja) 白色パルス光発生装置
KR100790707B1 (ko) 분산조절 공초점 레이저 현미경
CN108054623A (zh) 一种使用“飞行聚焦”产生太赫兹波的系统和方法
US5832007A (en) Apparatus for and method of generating X-ray laser
KR910012325A (ko) 레이저 스퍼터링장치
Glenzer et al. High-energy 4ω probe laser for laser-plasma experiments at Nova
JPS5837546A (ja) 分光螢光測定装置の改良
RU2540451C1 (ru) Система лазерной локации
Renard et al. Detailed characterization of electron plasma waves produced by stimulated raman scattering
US5210765A (en) Laser microscopy
CN208045929U (zh) 一种使用“飞行聚焦”产生太赫兹波的系统
SU736729A1 (ru) Способ измерени пространственных параметров импульсного лазерного излучени и устройство дл его осуществлени
JPH10281981A (ja) 表面プラズモン共鳴を利用した測定装置