KR920017219A - 반도체장치와 반도체장치의 제조방법 및 테이프 캐리어 - Google Patents
반도체장치와 반도체장치의 제조방법 및 테이프 캐리어 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체장치의 단면도, 제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 수지밀봉전의 반도체장치의 평면도, 제3도는 본 발명에 따른 리드프레임의 평면도.
Claims (14)
- 내부리드(12)와 외부리드(13) 및 섬영역(11)을 갖춘 리드프레임(1)과, 이 리드프레임(1)의 상기 섬영역(11)에 탑재된 복수개의 반도체소자(2A,2B) 및, 상기 리드프레임(1)의 내부리드(12)에 접속되는 외부리드(33) 및 상기 반도체소자(2A,2B)에 형성된 전극패드(38)에 접속되는 내부리드(32)를 갖춘 배선패턴을 구비하고, 또 상기 반도체소자(2A,2B)를 1개씩 그 안에 수용하는 복수의 디바이스홀(36)을 갖춘 가소성 수지테이프(31)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 리드프레임(1)은 복수의 섬영역(11)을 갖추고, 각 섬영역(11)에는 각각 1개의 반도체소자가 탑재되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 리드프레임(1)은 상기 반도체소자(2A,2B)가 복수개 탑재된 섬영역(11)을 적어도 1개 갖춘 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제3항에 있어서, 상기 섬영역(11)의 표면에 세라믹 또는 내열성이 큰 수지로 된 절연막(22)이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가소성 수지테이프(31)에 형성된 배선패턴은 상기 복수개의 반도체소자(2A,2B)에 형성된 상기 전극패드(38)에 접속되고, 상기 반도체소자간을 전기적으로 접속하는 접속리드(34)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 전극패드(38)에 접속되는 상기 배선패턴의 내부리드(12) 또는 상기 접속리드(34)와 상기 전극패드(38)와의 사이에 범프전극(21,30)이 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 복수개의 반도체소자(2A,2B)중 적어도 1개가 다른 것과 소자의 높이가 다르게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 반도체소자(2A,2B)와 상기 배선패턴을 갖춘 가소성 수지테이프(31) 및 상기 리드프레임(1)이 수지(4) 밀봉되어 있고, 상기 섬영역(11)에서 상기 반도체소자(2A,2B)가 탑재되어 있는 면과 반대쪽의 면이 상기 밀봉 수지(4)로부터 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 반도체소자(2A,2B)와 상기 배선패턴을 갖춘 가소성 수지테이프(31) 및 상기 리드프레임(1)이 수지(4)밀봉되고, 상기 가소성 수지테이프(31)에서 상기 배선패턴이 형성되어 있는 면과 반대쪽의 면이 적어도 부분적으로 상기 밀봉 수지(4)로부터 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 배선패턴중 적어도 1개의 내부리드(12)가 상기 반도체소자(2A,2B)의 복수개의 전극패드(38)에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 배선패턴중 적어도 1개의 내부리드(12)가 그외의 내부리드(12)보다 길게 상기 디바이스홀(36)내에 돌출되도록 배치됨과 더불어, 상기 반도체소자(2A,2B)의 임의의 위치에 형성된 전극패드(38)에 접속되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 반도체소자(2A,2B)의 사이가 복수의 상기 가소성 수지테이프(31)의 배선패턴에 의해 전기적으로 접속되고, 인접하는 상기 가소성 수지테이프(31)의 전기적 접속은 한쪽 가소성 수지테이프(31)의 이면에 형성되어 표면의 배선패턴과 관통구멍을 통하여 접속되어 있는 범프전극(21,30)고 다른쪽의 가소성 수지테이프(31)의 배선패턴을 적층하여 접속시킴으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 반도체소자가 탑재된 복수의 디바이스홀(36)이 형성되어 있는 가소성 수지테이프(31)와, 이 가소성 수지테이프(31)위에 형성되고, 그 선단이 상기 디바이스홀(36)의 각 변으로부터 그 안쪽으로 돌출되어 있는 내부리드(32), 상기 가소성 수지테이프(31)위에 형성되고, 상기 내부리드(32)와 일체적으로 형성된 외부리드(33) 및 상기 가소성 수지테이프(31)의 상기 디바이스홀(36)사이의 영역에 형성되고, 상기 디바이스홀(36)에 배치된 반도체소자의 사이를 전기적으로 접속시키는 접속리드(34)를 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어.
- 복수의 반도체소자(2)를 리드프레임(1)의 섬영역(11)에 탑재하는 공정과, 내부리드(32)와 외부리드(33) 및 접속리드(34)를 갖춘 배선패턴을 구비하고, 복수의 디바이스홀(36)이 형성된 가소성 수지테이프(31)를 상기 리드프레임(1)위에 설치되는 공정, 상기 가소성 수지테이프(31)의 내부리드(32)를 이 내부리드(32)의 선단 또는 상기 반도체소자의 전극패드(38)에 형성된 범프전극(21,30)을 매개로 하여 그 전극패드(38)에 접속시키는 공정, 상기 접속리드(3)를 이 접속리드(34)의 선단 또는 상기 반도체소자의 전극패드에 형성된 상기 범프전극의 매개로 하여 그 전극패드에 접속시킴으로써 상기 복수의 반도체소자간을 전기적으로 접속시키는 공정 및, 상기 가소성 수지테이프(31)의 외부리드(33)를 상기 리드프레임(1)의 외부리드(13)에 접속시키는 공정을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 제조방법.※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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