KR920015555A - 노이즈면역 개선을 위한 메모리셀의 구조 - Google Patents
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2a 도는 본 발명의 구조 단면도. 제 2b 도는 본 발명의 회로도.
Claims (1)
- 하측에 형성된 워드라인상에 내부 노이즈의 차단을 위해 1차 차폐층으로서 그라운드되고 도우프된 소정두께의 폴리실리콘막을 형성하고, 상측에 형성된 비트라인 상에는 외부 노이즈의 차단을 위해 2차 차폐층으로서 그라운드된 소정두께의 금속막을 형성하며, 상기 워드라인과 비트라인 및 1, 2차 차폐층 사이에는 절연막을 형성하는 것을 특징으로 하는 노이즈면역 개선을 위한 메모리 셀의 구조.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019910000850A KR930008069B1 (ko) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 노이즈면역 개선을 위한 메모리셀의 구조 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019910000850A KR930008069B1 (ko) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 노이즈면역 개선을 위한 메모리셀의 구조 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR920015555A true KR920015555A (ko) | 1992-08-27 |
KR930008069B1 KR930008069B1 (ko) | 1993-08-25 |
Family
ID=19310044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1019910000850A KR930008069B1 (ko) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | 노이즈면역 개선을 위한 메모리셀의 구조 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR930008069B1 (ko) |
-
1991
- 1991-01-18 KR KR1019910000850A patent/KR930008069B1/ko not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
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KR930008069B1 (ko) | 1993-08-25 |
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