KR920015555A - 노이즈면역 개선을 위한 메모리셀의 구조 - Google Patents

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KR920015555A
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허경명
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문정환
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Abstract

내용 없음

Description

노이즈면역 개선을 위한 메모리셀의 구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2a 도는 본 발명의 구조 단면도. 제 2b 도는 본 발명의 회로도.

Claims (1)

  1. 하측에 형성된 워드라인상에 내부 노이즈의 차단을 위해 1차 차폐층으로서 그라운드되고 도우프된 소정두께의 폴리실리콘막을 형성하고, 상측에 형성된 비트라인 상에는 외부 노이즈의 차단을 위해 2차 차폐층으로서 그라운드된 소정두께의 금속막을 형성하며, 상기 워드라인과 비트라인 및 1, 2차 차폐층 사이에는 절연막을 형성하는 것을 특징으로 하는 노이즈면역 개선을 위한 메모리 셀의 구조.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910000850A 1991-01-18 1991-01-18 노이즈면역 개선을 위한 메모리셀의 구조 KR930008069B1 (ko)

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