KR920003955B1 - X-선 미러장치 및 그 제조방법 - Google Patents

X-선 미러장치 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

X-선 미러장치 및 그 제조방법
제 1 도는 본 발명의 실시예 1에 따른 X-선 미러장치의 종단면도.
제 2 도는 제 1 도의 X-선 미러장치의 차광부재의 정면도.
제 3 도는 본 발명의 실시예 2에 따른 X-선 미러장치의 차광부재의 종단면도.
제 4 도는 제 3 도의 X-선 미러장치의 차광부재의 정면도.
제 5 도는 본 발명의 실시예 3에 따른 X-선 미러장치의 종단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 미러체 12, 13 : 차광부재
16 : 반사경면 20 : 디스크
24 : 연결부재 26 : 투광막
28 : 차광막 30 : 슬릿
34 : 브리지 36 : 관통구멍
38, 42 : 지지부재 40 : 평면 미러
44 : 렌즈 50 : 발진기
52 : 레이저 비임
본 발명은 예를들어 X-선 현미경에 사용되는 X-선 미러장치 및 그 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.
X-선은 가시광에 비해 짧은 파장을 가지고 있는 전자비임 보다 큰 투과력을 갖는다.
X-선은 각 원소에 대한 고유한 흡수 파장 대역(absorption wavelength band)을 가지기 때문에 형광 X-선 뿐만 아니라 X-선의 상술한 특성을 이용함으로써 어떤 특정한 원소임을 식별하는 것이 가능하다.
상기의 이유로, X-선은 어떤 물체의 원자 레벨에 관한 정보를 얻을 수 있는 중요한 방법을 제공한다.
그러나 X-선 파장영역에서 물체의 굴절율은 거의 1에 가깝다.
그러므로 가시 영역에서 사용되는 굴절 렌즈 및 직입사 반사경(direct incident type reflection mirror)과 같은 작용을 하는 X-선용 렌즈 및 미러를 제조하는 데에는 문제점이 있었다.
최근에 개발된 X-현미경은 X-선이 반사면상에 매우 큰 각도로 입사할때, 즉 반사면에 거의 근접하게 입사할때 전반사가 일어나는 성질을 이용하는 X-선 미러를 사용한다.
X-선 미러로 알려진 것은 볼터(Wolter)형 반사면을 가진 미러이다.
미러는 실제로 원통형태를 하고 있으며 그 내주면은 회전 쌍극면의 반사면과 회전 타원면의 반사면이 계속된 관계로 구성된다.
상기 반사면들은 촛점 F1을 공유하고 있으며 촛점 F2를 물점으로 하여 미러는 물점을 통과한 X-선을 상기 두개의 반사면상에 반사시켜 촛점 F3에 결상시킨다.
상기 방식으로 두개의 반사면을 사용함으로써 광축에서 떨어져 있는 물점상에서 상의 변형이 감소된다.
상기의 형태를 지닌 X-선 미러를 X-선 현미경에 사용하는 경우에, 차광판은 2개의 반사면에 반사된 X-선이 검출기상에서 촛점 F3에 결상되도록 X-선 미러의 열린 말단부 각각에 하나씩 배치된다.
차광판은 물점에서 나와서 반사면에 입사하지 않고 검출기로 직사하는 X-선 비임의 X-선을 차단하도록 되어 있다.
X-선은 차광판 하나의 주변 모서리와 미러의 하나의 열린 말단 모서리 사이에 규정된 환상의 슬릿을 통하여 미러로 들어가고 다른 차광판의 주변 모서리와 미러의 다른 열린 말단 모서리 사이에 규정된 환상의 슬릿을 통해 나온다.
상기의 슬릿들은 수 ㎛-수 10㎛의 정확도로 X-선 미러의 중심축에 대해 동축으로 위치되는 것이 필요하다.
X-선 미러를 가지는 종래의 X-선 현미경에서는 두개의 차광판이 미러에 동축으로 위치하도록 미러에 다수의 와이어와 로드로 결합되어 있다.
그러나 위의 구조에서는 슬릿의 일부가 와이어나 또는 로드로 가려지기 때문에 X-선 비임의 집광효율의 저하를 초래한다.
더우기 집광효율의 저하로 인하여 혼탁된 상과 X-선의 산란 현상(scattering)이 나타난다.
X-선의 산란은 다중영상을 일으킨다.
가시광이 아닌 X-선의 경우에 X-선 미러에 대해 차광판을 정확하게 위치맞춤 하는 것은 어려운 일이었으며, 그 위치맞춤을 한다는 것은 성가신 일이었다.
본 발명은 상기의 상황을 고려하여 고안되었으며 그 목적은 X-선 미러에 대해 차광판을 쉽고 정확하게 위치맞춤하는 X-선 미러장치 및 그 장치를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 회전면을 지닌 반사경면이 있는 내주면 및 열린 말단부를 갖는 대체로 원통형의 미러체 및, 반사경면으로 입사하는 X-선 및 반사경면에 반사하는 X-선만을 통과시키기 위하여 미러체의 적어도 하나의 열린 말단부에 설치하는 차광부재로 구성되고, 상기 차광부재가 X-선을 차단하기 위하여 열린 말단부에 설치하는 차광부재로 구성되고, 상기 차광부재가 X-선을 차단하기 위하여 열린 말단부 한쪽에 배치된 차광막, X-선이 통과될 수 있는 대체로 환상의 슬릿과, 반사경면의 축과 슬릿이 동축으로 위치하도록 하는 방법으로 차광판을 미러체상에 탑재하기 위하여 미러체의 상기 말단부의 한쪽끝에 연결된 연결부재로 구성된 X-선 미러장치가 제공된다.
상기 방법으로 제조된 장치에 따르면 차광부재는 슬릿이 반사경면과 동축으로 위치맞춤되는 것에 의해 미러체의 끝부분에 연결된 맞춤부분을 가지고 있다.
그러므로 쉽고 정확하게 슬릿을 반사경면에 위치맞춤하는 것이 가능하다.
본 발명의 제조방법에 따르면, 슬릿이 있는 차광판은 물리적 증착에 의해 X-선을 통과시키지 않는 차광막을 X-선을 통과시키는 투광막상에 형성하여 제조된다.
본 발명의 또다른 방법에 따르면, 슬릿이 있는 차광판은 포토에칭법(photo etching method)에 의해 X-선을 통과시키지 않는 디스크상에 형성하여 제조된다.
본 발명의 실시예는 첨부되는 도면을 참고로 하여 자세히 설명된다.
제 1 도 및 제 2 도는 본 발명의 실시예 1에 따른 X-선 미러장치를 나타낸다.
본 장치는 양쪽끝이 열린 원통형 미러체(10) 및 미러체의 양끝에 있는 한쌍의 차광부재(12)(13)로 구성되어 있다.
미러체(10)에는 예를들어 동 또는 니켈로 구성되어 있고 그 내주면은 금피막이 코팅되어 있다.
미러체(10)의 내주면은 탠덤(tandem)형 반사경면(16)으로 구성되어 있다.
특히 미러체(10)의 내주면에 있어서 회전쌍극면을 이루는 제 1 반사경면(16a)은 미러체(10)의 한쪽끝 부분에 있고, 회전타원면을 이루는 제 2 반사경면(16b)은 미러체의 다른 끝부분에 있다.
제 1 및 제 2 반사경면(16a) (16b)은 동축으로 형성되어 연결되어 있다.
미러체(10)의 양쪽 끝부분의 외주면은 반사경면(16a) (16b)과 동축으로 형성되어 있고 각기 제 1 및 제 2 맞물림부(18a) (18b)를 구성한다.
차광부재(12)는 2mm 두께의 동판으로 구성된 고리모양의 디스크(20) 및 원형의 내부 오프닝(22)을 가지고 있고 원통형의 연결부재(24)는 내부 오프닝(22)과 동축으로 디스크(20)의 한쪽면에 고정되어 있다.
연결부재(24)의 내부직경은 실질적으로 맞물림부(18a)의 외부직경과 같다.
투광막(26)은 디스크(20)의 다른 표면에 고정되고 내부 오프닝(22)을 막는다.
투광막(26)은 약 2㎛의 두께로 폴리에틸렌, 베릴륨, 리튬과 같은 물질로 형성된다.
원통형의 차광막(28)은 예를들어 디스크(20)와 접촉하고 있는 투광막(26)의 표면에 증착법 또는 스퍼터링법(sputtering)에 의해 형성된다.
차광막(28)은 약 5㎛의 두께로 금 또는 백금과 같은 물질로 형성된다.
차광막(28)은 내부 오프닝(22)과 동축으로 형성되고 내부 오프닝(22)에 비해 직경이 작다.
그러므로 환상의 슬릿(30)은 내부 오프닝(22)의 모서리와 차광막의 바깥쪽 원주 모서리 사이에 규정된다.
형성된 차광부재(12)는 연결부재(24)를 미러체(10)의 맞물림부(18a)에 연결함으로써 미러체의 한쪽끝에 고정된다.
상술한 바와같이 맞물림부(18a)는 반사경면(16)과 동축으로 형성되고 차광부재(12)의 연결부재(24)는 내부 오프닝(22)과 동축으로 위치되어 있다.
따라서, 미러체(10) 위에 탑재된 차광부재(12)에 있어서, 슬릿(30)과 반사경면(16)은 정확하게 동축으로 위치되어 있다.
차광막(28)과 투광막(26) 사이의 X-선 투과율은 1:1000이다.
다른 차광부재(13)는 차광부재(12)와 비슷하게 구성되어 있다.
이 경우에 차광부재(12)에 표시된 것과 대응하는 부분 혹은 구성요소를 나타내기 위하여 동일한 참고번호가 사용되었으므로 더 이상의 설명은 생략된다.
이런 관계로 차광부재(13)의 각 구성부분의 직경은 반사경면(16b)에 적용되기 위하여 차광부재(12)보다 크게 정해져야 하는 것이 중요하다.
차광부재(13)은 미러체(10)의 맞물림부(18b)에 연결부재(24)를 연결함으로써 미러체(10)의 다른 한쪽끝에 고정된다.
차광부재(13)는 미러체(10)에 여결되는 반면 차광부재(13)의 슬릿(30)은 정확히 반사경면(16)과 동축으로 위치되어 있다.
제 1 도에 도시되어 있는 상기 구조로 되어있는 X-선 미러장치에 따르면, 미러체(10)의 반사경면(16)의 중심축(A)상에 위치해 있는 물점(0)을 통과하는 X-선 비임의 대부분의 X-선은 차광부재(12)의 차광막(28)에 의해 차단된다.
단지 일부의 X-선만이 투광막(26)과 슬릿(30)을 통해 미러체(10)로 들어간다.
특히 슬릿(30)은 미러체(10)의 제 1 반사경면(16a)상에 입사될 X-선 비임의 X-선의 통과막을 허용하도록 위치해 있으며 또한 그에 적절한 치수를 갖추고 있다.
제 1 반사경면(16a)에 입사되는 X-선은 거기에서 반사되어 제 2 반사경면(16b)상에 입사된다.
반사경면(16b)상에 반사된 후, X-선이 차광부재(13)에 직사된다.
차광부재(13)의 슬릿(30)이 반사경면(16b)상에 반사되는 X-선의 광로상에 위치해 있도록 형성된다.
그러므로 슬릿(30)과 투광막(26)을 통과한 후 X-선이 반사경면(16)의 중심축(0)상의 촛점(F)위에 상을 맺는다.
이렇게 구성되어 있는 X-선 미러장치에 따르면, 각각의 차광부재는 연결부재(24)를 지니고 있으며 미러체(10)의 맞물림부에 연결부재를 연결함으로써 미러체(10)상에 탑재된다.
연결부재(24)가 슬릿(30)과 동축으로 위치하므로 슬릿은 미러체의 대응하는 맞물림부에 연결부재(24)를 단순히 연결시킴으로써 슬릿이 미러체(10)의 반사경면(16)의 중심축과 쉽고도 정확하게 위치맞춤될 수 있다.
그러므로 종래의 장치에서 요구될 수 있는 어떠한 성가신 위치맞춤 조절이 필요하지 않게되어 고정확도의 장치가 효과적으로 제조될 수 있다.
차광부재의 슬릿(30)이 디스크(20)의 내주부 모서리와 차광막(28)의 외주부 모서리에 의해 규정되고 종래의 장치에서 채용된 임의의 와이어 또는 로드도 슬릿(30)에 위치되지 않는다.
그러므로 X-선의 산란뿐만 아니라 X-선 집광효율의 저하를 방지할 수 있다.
그 결과 명확한 상을 얻을 수 있다.
이하 X-선 미러장치의 제조방법과 특히 차광부재의 제조방법이 상세히 설명될 것이다.
차광부재를 제조할때 먼저 연결부재(24)가 예를들어 납땜에 의해 그것과 동축으로 될 디스크(20)의 외주부에 연결된다.
그런 다음 디스크(20)와 직경이 같은 원통형 투광막(26)상에 약 5㎛의 원통형 차광막(28)이 투광막과 동축을 이루도록 증착법 및 스퍼터링법과 같은 물리적 증착법에 의해 형성된다.
이어서 이 차광막(28)을 피착시킨 투광막(26)을 여결부재(24)가 제공되어 있는 그 표면 맞은편 디스크(20)의 표면에 예를들어 순간 접착제등으로 접착시킨다.
이렇게 하여 제조된 차광부재는 연결부재(24)를 미러체의 맞물림부에 연결시킴으로써 미러체(10)에 고정된다.
차광부재를 미러체에 연결할때 차광부재의 슬릿이 미러체의 반사경면(16)의 중심축과 자동적으로 위치맞춤된다.
상술한 실시예에서 각각의 차광부재의 슬릿(30)은 투광막(26)과 차광막(28)에 고정된 디스크(20)에 의해 규정된다.
그러나 차광부재는 제 3 도 및 4 도(실시예 2)에 도시된 바와같이 구성되어도 된다.
실시예 2에 따르면, 차광부재(12)는 구리로 만들어진 약 40㎛ 두께의 원형 차광막(28)과 슬릿(30)을 가지고 있다.
슬릿(30)은 세개의 아치형 세그먼트(30a)(30b)(30c)를 포함하고 있다.
이들 세그먼트는 차광막(28)과 동심원을 이루는 원을 따라 뻗어있다.
금으로 된 박막이 차광막(28)의 각 표면에 코팅되어 이것의 내식성을 증가시킨다.
두개의 인접하는 세그먼트 사이의 경계에 위치해 있는 차광막(28)의 이 부분은 두께가 약 0.2mm인 브리지(34)를 이루고 있다.
세그먼트(30a)(30b)(30c) 내부에 위치해 있는 차광막(28) 부분은 브리지(34)에 의해 세그먼트 외부에 위치하는 차광막(28)부분과 결합되어 있다.
환형 디스크(20)가 차광막(28)의 한쪽면의 외주부에 고정된다.
원통형 연결부재(24)가 차광막(28)과 동축을 이루도록 즉, 세그먼트(30a)(30b)(30c)와 동축을 이루도록 디스크(20)에 고착된다.
이렇게 구성된 차광부재(12)는 연결부재(24)를 미러체의 맞물림부(18a)에 연결시킴으로써 미러체(10)에 고정된다.
그러므로 미러체(10)에 부착된 차광부재(12)에 대하여 슬릿(30)의 세그먼트 (30a)(30b)(30c)가 반사경면(16)과 동축으로 위치되어 있다.
차광부재(13)는 또한 차광부재(12)와 같은 방식으로 구성된다.
이 경우에 같은 부분에 대해서는 차광부재(12)에서와 같은 참고번호를 채택했으므로 더 이상의 설명은 생략된다.
실시예 2의 X-선 미러장치에 따르면, 각각의 차광부재는 슬릿(30)과 동축을 이루는 연결부재(24)를 가지고 있으며 연결부재를 미러체에 연결시킴으로써 미러체(10)상에 탑재된다.
이러한 이유로 슬릿(30)은 쉽고도 정확하게 미러체(10)의 반사경면(16)과 위치맞춤될 수 있다.
게다가 첫번째 실시예에서와 달리 슬릿이 투광막에 의해 덮어지지 않는다. 그러므로 미러체(10)로 들어가는 일부의 X-선 또는 슬릿(30)의 세그먼트(30a)(30b) (30c)를 통해 미러체로 부터 나가는 X-선이 이 투광막에 의해 흡수되지 않는다.
게다가 각각의 차광부재의 브리지(34)의 폭이 약 0.1mm 정도로 매우 작기 때문에 슬릿(30)을 통과하는 X-선의 양은 브리지(34)에 의해 손실되지 않는다.
두번째 실시예에 따르면, X-선상의 분해능의 저하가 발생되지 않아서 선명한 상을 확실히 얻을 수 있다.
본 발명의 두번째 실시예의 차광부재는 다음과 같은 방법으로 제조된다.
먼저 차광막(28)위에 아치형의 세그먼트(30a)(30b)(30c)를 형성하기 위한 관통구멍(through hole)을 지닌 패턴을 가지고 있는 포토레지스트가 형성된다.
그런 다음 세그먼트(30a)(30b)(30c)가 화학적 에칭, 드라이 에칭, 반응성 이온에칭 또는 스퍼터링 에칭법과 같은 방법에 의해 차광막(28)위에 형성되고 이어서 잔류하는 포토레지스트가 제거된다.
이렇게 함으로써 차광막(28)이 만들어진다.
그런다음 디스크(20)가 차광막(28)의 표면의 외주부에 접합되고 구리로 만들어진 연결부재(24)가 예를들어 납땜에 의해 세그먼트(30a)(30b)(30c)와 동축으로 디스크에 접합된다.
차광부재는 형성된 후 미러체(10)에 연결된다.
이 경우에 세그먼트(30a)(30b)(30c)가 포토에칭법에 의해 형성되고 차광막(28)이 연결부재(24)에 의해 미러체(10)상에 장착되므로 세그먼트(30a)(30b)(30c)가 수 ㎛ 내지 ㎛의 정확도로 반사경면(16)의 중심축과 동축으로 위치맞춤될 수 있다.
차광부재가 미러체와 쉽고 정확하게 위치맞춤될 수 있기 때문에 X-선 미러장치의 제조효율이 크게 증가될 수 있다.
제 5 도는 본 발명의 세번째 실시예에 따른 X-선 미러장치를 나타내고 있다.
여기에서의 참조번호는 두번째 실시예에서의 참조번호와 그 설명되는 부분이 같다.
그러므로 더 이상의 설명은 생략한다.
관통구멍(36)이 미러체(10)의 반사경면(16)의 중심축(A)과 동축으로 존재하는 차광부재(12)(13)의 차광막(28)에 형성된다.
평면 미러(40)가 지지부재(38)에 의해 차광부재(12)의 차광막(28)의 외표면에 장착되어서 관통구멍(36)의 맞은편에 위치된다.
렌즈(44)가 지지부재(42)에 의해 차광부재(13)의 차광막(28)의 외주면에 장착되면서 렌즈(44)의 광축(A)이 관통구멍(36)의 중심축과 위치맞춤된다.
렌즈(44)가 중심축(A)에 대하여 위치가 조절될 수 있도록 지지부재(42)가 차광막(28)에 대하여 이동될 수 있게 장착된다.
본 장치는 미러체(10)의 외부, 평면 미러(40)의 맞은편에 배치되는 레이저 발진기(50)을 포함하고 있다.
이렇게 구성되어 있는 X-선 미러장치에 따르면, 레이저 발진기(50)로 부터 방사된 가시레이저 비임(52)이 평면 미러(40)에 의해 반사되어 관통구멍(36)을 지나 미러체(10)로 들어간다.
이 레이저 비임은 미러체(10)로 부터 나와서 차광부재(13)의 관통구멍(36)을 지나 렌즈(44)에 의해 반사경면(16)의 촛점(F)에 집광된다.
상기 설명된 장치에 따르면, 조작자가 레이저 비임을 사용하여 반사경면(16)의 X-선 촛점(F)을 눈으로 볼 수가 있다.
그러므로 X-선 미러체(10)의 반사경면(16)의 X-선 촛점(F)을 바람직한 위치에 놓이도록 하는 것과같이 X-선 미러장치상에 여러가지의 콘트롤 조작을 쉽게 할 수가 있다.
본 발명은 상기 실시예에만 제한되지 않으며, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지 변형이 가능하다.
예를들어 상술한 실시예에서 차광부재가 미러체(10)의 적어도 한쪽끝에 제공되면 상술한 실시예에서와 같은 잇점이 얻어질 수 있다.
본 발명의 X-선 미러장치는 X-선 현미경에만 제한되지 않고 X-선 망원경, 반도체 노출 시스템을 위한 스텝퍼등에도 응용될 수 있다.

Claims (9)

  1. 회전면을 지닌 반사경면을 형성하는 내주면 및 열린 말단부를 가진 원통형 미러체(10)와, 상기 미러체(10)의 적어도 하나의 열린 말단부에 설치되고, 반사경면으로 입사하는 X-선 및 반사경면으로 반사하는 X-선만을 통과시키며, 상기 하나의 열린 말단부를 막도록 상기 하나의 열린 말단부에 설치된 차광막(28) 및 상기 X-선을 통과시키는 환상의 슬릿(30)을 갖는 차광부재(12)(13)을 포함하며, 상기 차광부재(12)(13)는 상기 슬릿(30)이 반사경면(16)의 축과 동축으로 위치하도록 미러체(10)에 대해 차광막을 위치맞춤하기 위해서, 상기 미러체(10)의 상기 하나의 열린 말단부에 연결되는 연결수단을 가지고, 상기 미러체(10)의 하나의 열린 말단부는 반사경면(10)과 동축인 외주면을 가지고 맞물림부(18a)(18b)를 형성하고, 상기 연결수단은 상기 슬릿(30)과 동축이고 상기 맞물림부(18a)(18b)에 연결된 연결부재(24)를 가지는 것을 특징으로 하는 X-선 미러장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 차광부재(12)(13)가 미러체(10)의 하나의 열린 말단부를 막기 위하여 설치된 X-선 투광막(26)을 포함하고, 상기 차광막이 반사경면(16)의 축과 동축이 되도록 X-선 투광막의 한쪽면에 고정된 원형의 제 1 차광구역(28) 및 상기 제 1 차광구역 밖에 존재하여 그 사이가 환상의 공간이 되고 그 슬릿(30)이 환상공간을 형성하고 제 1 차광구역과 동축이 되도록 X-선 투광막의 한쪽면에 고정된 환상의 제 2 차광구역(20)을 포함하는 것을 특징으로 하는 X-선 미러장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 연결수단이 슬릿(30)과 동축이 되도록 제 2 차광구역(20)에 고정된 원통형의 연결부재(24)를 가지는 것을 특징으로 하는 X-선 미러장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 슬릿(30)이 차광막(28)에 형성된 여러개의 아치형 세그먼트(30a-30c)를 가지고, 아치형 세그먼트가 반사경면(16)의 축과 동심인 원을 따라서 형성되는 것을 특징으로 하는 X-선 미러장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 연결수단이 슬릿(30)과 동축이 되도록 차광막(28)에 고정된 원통형의 연결부재(24)를 가지는 것을 특징으로 하는 X-선 미러장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 반사경면(16)이 미러체(10) 바깥에 위치하는 X-선 촛점을 가지며, 또한 X-선 촛점을 눈으로 관찰하고, 반사경면에 동축인 차광막(28)에 형성된 관통구멍(36)을 갖는 관측장치, 가시광을 방사하기 위하여 미러체 밖에 설치되는 광방사장치 및 상기 광방사장치로 부터 방사된 가시광을 관통구멍 및 미러체 내부를 통하여 X-선 촛점으로 향하게 하고 가시광을 X-선 촛점에 결상시키는 광학 시스템(40)(44)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X-선 미러장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 반사경면(16)이 미러체(10)의 하나의 열린 말단부에 위치하는 제 1 반사경면(16a)과, 제 1 반사경면과 연결되어 미러체의 다른 한쪽 말단부에 위치하는 제 2 반사경면(16b)을 가지는 것을 특징으로 하는 X-선 미러장치.
  8. 반사경면으로 입사하는 X-선 및 반사경면에 반사하는 X-선만을 통과시키고, 회전면을 지닌 반사경면을 형성하는 내주면을 가진 원통형의 X-선 미러체의 하나의 열린 말단부에 설치되는 차광부재의 제조방법에 있어서, X-선 미러체(10)의 하나의 열린 말단부를 막을 수 있는 충분한 크기의 X-선 투광막(26)에서 물리적 증착에 의해 X-선을 차단하는 원통형의 제 1 차광구역(28)을 형성하는 단계, 상기 제 1 차광구역과 동축으로 제 1 차광구역 밖에 그 사이가 환상 공간으로 되도록 X-선을 차단하는 환상의 제 2 차광구역(20)을 X-선 투광막에 고정하여, 제 1 및 제 2 차광구역 사이에 X-선을 통과시키는 환상슬릿(30)을 형성하는 단계와, 상기 X-선 미러체의 하나의 열린 말단부에 연결될 수 있고, 원통형의 연결부재(24)를 환상의 슬릿과 동축의 관계인 제 2 차광 구역에 고정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 차광부재의 제조방법.
  9. 반사경면으로 입사하는 X-선 및 반사경면에 반사하는 X-선만을 통과시키고, 회전면을 지닌 반사경면을 형성하는 내주면을 가진 원통형의 X-선 미러체의 하나의 열린 말단부에 설치되는 차광부재의 제조방법에 있어서, X-선 미러체(10)의 상기 하나의 열린 말단부를 막을 수 있는 충분한 크기의 X-선을 통과시키지 않는 차광막(28)에 포토에칭법에 의해 환상의 X-선 투과슬릿(30)을 형성하는 단계와, X-선 미러체의 하나의 열린 말단부에 연결될 수 있는 원통형의 연결부재(24)를 그에 동축인 슬릿 바깥쪽의 차광막에 고정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 차광부재의 제조방법.
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