KR890016404A - X-선 미러장치 및 그 제조방법 - Google Patents

X-선 미러장치 및 그 제조방법 Download PDF

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미쯔오 스미야
미치오 바바
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Abstract

내용 없음

Description

X-선 미러장치 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 실시예 1에 따른 X-선 미러 장치의 종단면도. 제 2도는 제 1도의 X-선 미러장치의 차광부재의 정면도. 제 3 도는 본 발명의 실시예 2에 따른 X-선 미러장치의 종단면도.

Claims (10)

  1. 말단부가 열려있고 회전면을 지닌 반사경면을 형성하는 내주면을 가진 실제적인 원통형 미러체와, 반사경면으로 입사하는 X-선 및 반사경 면에 반사되는 X-선만을 통과시키기 위하여 미러체의 적어도 하나의 열린 말단부에 제공되는 차광부재로 구성되고, 상기의 차광부재가 반사된 X-선을 차단하기 위하여 열린 말단부 한쪽에 제공된 차광막과 X-선을 통과시키는 환상의 슬릿으로 구성되고, 상기의 차광부재가 슬릿(30)이 반사경면(16)의 축과 동축으로 위치하도록 미러체에 대해 차광판을 배치하기 위해 미러체의 하나의 열린 말단부에 연결된 연결부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 X-선 미러장치.
  2. 제 1 항에 있어서. 미러체(10)의 하나의 열린 말단부가 반사경면(16)과 동축인 외주면을 가지고 맞물림부(18a)(18b)를 형성하며, 연결장치가 슬릿과 동축이고 맞물림부에 연결된 원통형 연결부재(24)를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 차장부재 (12),(13)가 미러체(10)의 하나의 열린 말단부를 막기 위하여 제공된 X-선 투광막(26)을 포함하고, 차광판이 반사경면의 축(16)과 동축이 되도록 X-선 투광막의 한 표면에 고정된 원형의 제 1 차광구역 및 제 1 차광막 밖에 존재하여 그 사이가 환상의 공간이 되고 그 슬릿(30)이 환상공간을 형성하고 제 1 차광구역과 동축이 되도록 X-선 투광막의 한 표면에 고정된 환상의 제 2 차광구역을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 연결장치가 슬릿(30)가 동측이 되도록 제 2 차광구역에 고정된 원형의 연결부재(24)를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 2 항에 있어서, 슬릿(30)이 차광판(28)에 형성된 여러개의 아아크형 세그먼트(30a-3Oc)를 가지고, 아아크형 세그먼트가 반사경면(16)의 축과 동심인원을 따라서 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 연결장치가 슬릿(30)과 동축이 되도록 차광판(28)에 고정된 원통형의 연결부재(24)를 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 반사경면(16)이 미러체(10) 바깥에 위치하는 X-선 촛점 스폿(spot)을 가지고, 나아가 반사경면의 축에 X-선 촛점 스픗을 눈으로 관찰하는 장치, 즉 반사경면에 동축인 차광판(28)에 형성된 통공(36)을 함유하는 관측장치, 가시광을 방사하기 위하여 미러체 밖에 제공되는 광방사장치, 광방사장치로부터의 방사된 가시광을 통공 및 미러체 내부를 통하여 X-선 스폿으로 향하게 하고 가시광을 X-선 촛점 스폿에 투영시키는 광학 시스템(40,44)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 반사경면(16)이 미러체(10)의 하나의 열린 말단부에 존재하는 제 1 반사경면(16a)과, 제 1 반사경면과 연결되어 미러체의 다른 한쪽 말단부에 존재하는 제 2 반사경면(16b)을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. X-선 미러의 하나의 열린 말단부를 막을 수 있는 충분한 크기의 X-선 투광막(26)에 물리적 증착에 의해 X-선을 차단하는 원형의 제 1 차광구역을 형성하고 , X-선을 차단하는 환상의 제 2 차광구역을 제 1 차 광구역과 동축으로 제 1 차광구역 밖에 그 사이가 환상 공간으로 되도록 X-선 투광막에 고정하여 제1 및 제 2 차광막 사이에 X-선을 통과시키는 환상슬릿(30)을 형성하고 ; X-선 미러체의 하나의 열린 말단부에 연결될 수 있는, 원통형의 연결부재(24)를 환상의 슬릿과 동축의 관계인 제 2 차광구역에 고정하는 ; 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 반사경면으로 입사하는 X-선 및 반사경 면에 반사되는 X-선만을 통과시키는 회전면을 지닌 반사경면을 형성하는 내주면을 가진 실제적인 원통형이 X-선 하나의 열린 말단부에 제공되는 차광부재의 제조방법.
  10. X-선 미러의 하나의 열린 말단부를 막을 수 있는 충분한 크기의 X-선을 통과시키지 않는 차광판(28)에서 포토에칭법에 의해 실제적일 환상형의 X-선 투과슬릿(30)을 형성하고 ; 그에 동축인 슬릿 바의 차광판에 X-선 미러의 하나의 열린 말단부에 연결될 수 있는 원통형의 연결부재 (24)를 고정하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 반사경 면으로 입사하는 X-선 반사경 면에 반사되는 X-선만을 통과시키는 회전면을 지닌 반사경면을 형성하는 내주면을 가진 실제적인 원통형의 X-선 미러체의 하나의 열린 말단부에 제공되는 차광부재의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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