KR930023744A - 감광성 노광재의 노광을 위한 장치 및 그 방법 - Google Patents

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KR930023744A
KR930023744A KR1019930008797A KR930008797A KR930023744A KR 930023744 A KR930023744 A KR 930023744A KR 1019930008797 A KR1019930008797 A KR 1019930008797A KR 930008797 A KR930008797 A KR 930008797A KR 930023744 A KR930023744 A KR 930023744A
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루비 호르스트
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괴쯔 뮐러, 마리오 울리치 파테크
만네스만 아게
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Abstract

본 발명은 노광재(1)이 원호형이 평면(3)위에 중심종축(4)에 대하여 동일한 거리에 위치하고 레이저(5)에서 발생된 레이저광(6)이 회전거울(9)에 입사되어 반사되어진 레이저광선(10)이 노광형상으로서 단속적인 신호의 형태로 노광재(1)을 현상시키는 것으로 이루어지는, 차광용기(2)내에서 감광성 노광재의 노광을 하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
콜리마토르(8)에서 축방향과 평행하게 방출되어진(10)이 중심종축(4)에 대하여 이렁한 각도(11)로 배열되어진 최소한 두개의 거울면(12a 및 12b)에 입사되어지고, 거울면에서 반사되어진 광선(10)은 렌즈(13)에서 집속괴어져 조광재-사우표면(1a)의 촛점면(14)에 회전하는 방식으로 입사되어짐으로써 종래의 방법에 비하여 2배의 속도로 노광을 행할 수 있다.

Description

감광성 노광재의 노광을 위한 장치 및 그 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 장치에 있어서 케이스의 내부를 나타낸 사시도이며, (케이스는 나타내지 않았음) 제2도는 노광재가 삽입된 원호형의 케이스에 대한 종축단면도를 나타낸 것이며, 제3도는 레이저로부터 시작하여 레이저 모듈레이터, 콜리마토르, 증폭장치에 이르는 광로를 갖는 슬릿트를 나타낸 사시도이다.

Claims (7)

  1. 노광재가 원호형의 평면에 중심종축에 대하여 동일한 거리상에 놓여져 있으며 레이저광이 레이저에서 생성되어 레이저 모듈레이터를 거쳐 콜리마토르로 전달되어지고 콜리마토르로부터 방출되어 중심종축에 대하여 대각선으로 배열되어 있는 회전 거울에서 배분되어져 노광현상으로서 단속적인 신호의 형태로 노광재에 투사되어 노광시킴에 있어서 콜리마토르로부터 축방향으로 평형하게 방출된 광선을 중심종축에 대하여 하나의 각을 이루어 배열된 거울면으로 투사하고, 반사되어진 평행한 광선을 렌즈로 집속하여 노광재 상부표면의 촛점면에 투사하는 것을 특징으로 하는 차광용기 내부에서 감광성 노광재를 노광하기 위한 방법.
  2. 제1항에 있어서, 콜리마코르의 평형광선이 중심종축에 대하여 45°의 각으로 배열되고 서로에 대하여 90°의 각을 이루어 형성된 거울면에 입사되어지는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제1거울면의 제1래디얼 노광광선이 원호 세그먼트 형상의 노광재의 한점으로부터 180°의 범위에 있는 반원주를 노광시키고 나머지 노광재의 180°범위에 있는 반대편의 반원주 부분은 제2거울면의 제2래디얼 노광광선에 의하여 노광되도록 하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 중심동축 방향을 따라 진행할 수 있는 슬릿트에 레이저가 탑재되어 광학축과 중심종축이 서로 일치하며, 레이저에서 발생되어진 레이저광이 레이저 모듈레이터에서 변조되어 콜리마토르를 거쳐 회전 가능한 거울에 도달하게 되어, 노광형상으로써 단속적인 신호의 형태로 노광광선을 노광재에 투사시키는 현상 장치에 있어서, 콜리마토르로부터 회전가능한 거울에 이르는 광로에 최소한 두개의 거울면이 배열되어 있으며 거울면 각각에 대한 반사축 상에는 하나씩의 집속렌즈가 중심종축에 대하여 동심거리에 설치되어 노광재의 상부표변에 촛점이 형성될 수 있도록 함을 특징으로 하는 원호형 차광 용기에서 감광성 노광재를 레이저광으로 노광시킬 수 있는 현상장치.
  5. 제4항에 있어서, 각각의 거울면이 중심종축에 대하여 45°각도를 형성되어지며, 두개의 거울면은 원주상에서 180°전치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 다수개의 거울면을 갖는 회전 가능한 거울이 지지대에 결합되어 있고, 지지체의 바깥링에는 동일한 촛점거리를 갖는 렌즈가 설치되어져 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제4항 또는 제6항 중 어느 하나의 항에 있어서, 지지체의 바깥링과 바깥링에 설치되어 있는 집속렌즈가 중심종축에 대하여 평행한 방향으로 마이크로메터 범위 내에서 자유롭게 진행가능 할 수 있도록 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930008797A 1992-05-21 1993-05-21 감광성 노광재의 노광을 위한 장치 및 그 방법 KR930023744A (ko)

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