JPH0882677A - 反射測定装置 - Google Patents

反射測定装置

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Publication number
JPH0882677A
JPH0882677A JP6219090A JP21909094A JPH0882677A JP H0882677 A JPH0882677 A JP H0882677A JP 6219090 A JP6219090 A JP 6219090A JP 21909094 A JP21909094 A JP 21909094A JP H0882677 A JPH0882677 A JP H0882677A
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JP
Japan
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light
lens
light receiving
focal length
incident
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Application number
JP6219090A
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English (en)
Inventor
Takekazu Terui
武和 照井
Masusuke Toda
益資 戸田
Shinji Nanba
晋治 難波
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Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 広角度範囲において、被測定物体との距離を
正確に測定するとともに小型、軽量化された反射測定装
置を提供する。 【構成】 測定装置1のハウジング10内には、光線照
射部20、光線反射部30、コリメータレンズ40、受
光レンズ51、受光素子52、回路基板53、集光ミラ
ー54等が収容されている。多重焦点フレネルレンズで
ある受光レンズ51は、水平入射角度0°の入射光(以
下「垂直入射光」という)を受光レンズ51の中央部に
より集光させ、水平入射角度θ°の入射光(以下「斜入
射光」という)を受光レンズ51の周辺部により集光さ
せることによって、垂直入射光と斜入射光とを集光可能
にしている。受光レンズ51の周辺部に入射する垂直入
射光の焦点距離より受光レンズ51に近い位置に受光レ
ンズ51の中央部に入射する垂直入射光の焦点距離を設
定し、この位置に受光素子52を配設する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定物体と被測定物体
との距離、速度、角度等を測定する反射測定装置に関す
るもので、例えば車両用の反射測定装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来の車両用反射測定装置に用いられる
出射光学系では、照射範囲を拡げていることから、照射
範囲内の多数の車両から測定対象車を正確に検出できな
いことやガードレール等の車両以外の障害物と測定対象
車との識別が正確にできないことがある。
【0003】このような問題を解決するため、所定の角
度範囲内を回動する走査鏡に光源の光線を反射させ、こ
の反射した平行光線を被測定物体に照射することにより
被測定物体の位置を検出するスキャニング方式が考えら
れている。このスキャニング方式を用いた車両用反射測
定装置として、例えば特開平5−66263号公報に開
示される車両用反射測定装置があり、この装置は出射レ
ンズを通過し走査鏡により走査された光線が被測定物に
照射された後、その反射光を前記走査鏡により常に集光
レンズに垂直入射するように反射させ受光素子に反射光
を集めている。これにより、広角度範囲の反射光の受光
を可能にしている。
【0004】また、特開昭64−80894号公報に開
示される車両用反射測定装置は、受光レンズにより充分
に屈折しない反射光をテーパ状の光導波路により数回反
射させて受光素子に集光し受光効率を向上させている。
さらに、カメラ等に用いられる広角度レンズによって、
広角度範囲の反射光を受光する方法も考えられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
5−66263号公報に開示される車両用反射測定装置
によると、照射光および反射光を走査させる走査鏡に大
型のものが必要になることから、装置全体の大型化につ
ながるとともに、コストの増大を招くという問題があ
る。
【0006】また、特開昭64−80894号公報に開
示されるものによると、光導波路により反射光が反射す
る回数をn回とすると、反射率のn乗に相当する光パワ
ーまで減衰し、さらに光導波路により光パワーがより減
衰するという問題がある。さらに、反射により光束が絞
れる程度の研磨面を光導波路に形成するには高精度の研
磨工程を必要としコストの増大を招くという問題があ
る。
【0007】さらに、カメラ等に用いられる広角度レン
ズを使用する場合によると、少なくとも2枚以上のレン
ズが必要となることから、体格が大型化し、また複雑な
光学系になるという問題がある。さらにまた、両公報の
問題を解決するため、小型、軽量かつ低コストで量産可
能なフレネルレンズを集光レンズに使用することが考え
られるが、フレネルレンズの特性上、受光性能が良好で
はない斜入射光に対して受光効率が著しく低下すること
から、前述のスキャニング方式の車両用反射測定装置へ
のフレネルレンズの使用は適していない。
【0008】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、広角度範囲において、被測定物体と
の距離を正確に測定するとともに小型、軽量化された反
射測定装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めの本発明による請求項1記載の反射測定装置は、光源
と、その光線をほぼ平行光線にする出射レンズと、前記
出射レンズを透過し被測定物体に反射した光線を集光
し、複数個の焦点または連続線として表れる焦点を有す
る受光レンズと、前記受光レンズにより集光された光線
を受光する受光部と、前記受光部での受光時刻と前記光
源から出射された光線の出射時刻との差から前記被測定
物体と前記光源との距離を算出する演算手段とを備えた
ことを特徴とする。
【0010】本発明による請求項2記載の反射測定装置
は、請求項1記載の反射測定装置において、前記受光レ
ンズは、第1のレンズ部分の周辺に第2のレンズ部分を
有し、前記第1のレンズ部分の第1の焦点距離と前記第
2のレンズ部分の第2の焦点距離とが異なることを特徴
とする。本発明による請求項3記載の反射測定装置は、
請求項2記載の反射測定装置において、前記第2のレン
ズ部分は、複数個の焦点または連続線として表れる焦点
を有することを特徴とする。
【0011】本発明による請求項4記載の反射測定装置
は、請求項2または3記載の反射測定装置において、前
記第1の焦点距離は、前記第2の焦点距離より短いこと
を特徴とする。本発明による請求項5記載の反射測定装
置は、請求項2または3記載の反射測定装置において、
前記第2の焦点距離は、前記第1の焦点距離より短いこ
とを特徴とする。
【0012】本発明による請求項6記載の反射測定装置
は、請求項1、2、3、4または5記載の反射測定装置
において、前記受光レンズは、透過型ホログラムレンズ
であることを特徴とする。本発明による請求項7記載の
反射測定装置は、光源と、その光線をほぼ平行光線にす
る出射レンズと、前記出射レンズを透過し被測定物体に
反射した光線を集光し、複数個の焦点または連続線とし
て表れる焦点を有する透過型ホログラムレンズと、前記
透過型ホログラムレンズにより集光された光線を受光す
る受光部と、前記受光部での受光時刻と前記光源から出
射された光線の出射時刻との差から前記被測定物体と前
記光源との距離を算出する演算手段とを備え、前記透過
型ホログラムレンズに垂直に入射する第1の平行光と非
垂直に入射する第2の平行光とが同一焦点に集光するこ
とを特徴とする。
【0013】本発明による請求項8記載の反射測定装置
は、請求項7記載の反射測定装置において、前記第2の
平行光は、前記透過型ホログラムレンズに対して角度範
囲0°<θ≦10°で入射することを特徴とする。
【0014】
【作用および発明の効果】本発明の請求項1記載の反射
測定装置によると、受光部の受光レンズは、複数個の焦
点または連続線として表れる焦点を有することから、各
焦点に対応する入射角度の光線を集光できる効果があ
る。これにより、被測定物体から反射する光線を広角度
範囲にわたって捕捉し測定できる効果がある。
【0015】本発明の請求項2、3、4または5記載の
反射測定装置によると、受光レンズが、第1の焦点に集
光させる第1のレンズ部分と、第2の焦点に集光させ第
1のレンズ部分の周辺部に位置する第2のレンズ部分と
を有することから、垂直入射光および斜入射光を受光部
で捕捉することができる効果がある。これにより、被測
定物体から反射する光線を広角度範囲にわたって捕捉し
測定できる効果がある。
【0016】本発明の請求項6記載の反射測定装置によ
ると、受光レンズが透過型ホログラムレンズであること
から、干渉縞の強度分布を露光することにより任意の焦
点距離および焦点個数が容易に設定できる効果がある。
これにより、高品質、高精度の受光レンズが容易に製造
できる効果がある。本発明の請求項7または8記載の反
射測定装置によると、受光レンズに垂直に入射する第1
の平行光と非垂直に入射する第2の平行光とが同一焦点
に集光されることから、受光素子の位置設定が容易にな
り、さらに垂直入射光および斜入射光の捕捉効率を向上
させる効果がある。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。 (第1実施例)本発明の第1実施例による車両用反射測
定装置を図1〜図8に示す。図1および図2に示すよう
に、測定装置1のハウジング10内には、光線照射部2
0、光線反射部30、コリメータレンズ40、受光レン
ズ51、受光素子52、回路基板53、集光ミラー54
等が収容されている。
【0018】光線照射部20は、半導体レーザ21、こ
の半導体レーザ21の駆動回路を有する回路基板22、
半導体レーザ21から出射された光線を絞る絞り板23
から構成されている。半導体レーザ21は10W〜20
Wの大出力が出力可能であり、回路基板22の駆動回路
により駆動され波長λ:860nmの赤外パルス光を出
射する。半導体レーザ21の出射位置に対応する絞り板
23には間隙が設けられ、この間隙を通して光線が光線
反射部30に出射される。これ以外の出射された光線は
絞り板23により遮断される。
【0019】光線反射部30は、ステップモータ31、
反射鏡33から構成されている。ステップモータ31は
図示しない電力供給部から駆動電流を供給され、反射鏡
33を所定の分散角度づつ回転させ、全角度のスキャン
が終了したら今度は反対方向に反射鏡33を反転させて
スキャンする。反射鏡33を構成する反射鏡本体35の
基材は、例えばガラス、プラスチックまたは金属からな
り、反射鏡本体35の一方の面にはアルミ密着ミラーが
形成され、他方の面にはこのアルミ密着ミラーよりも反
射率の低い誘電体多層膜ミラーが形成されている。反射
鏡33は、ステップモータ31を回動させることによ
り、アルミ密着ミラーまたは誘電体多層膜ミラーを半導
体レーザ21に対向させることができる。アルミ密着ミ
ラーの面上に反射鏡33の回転軸の仮想延長線が位置す
るとともに、アルミ密着ミラーの面上に位置する反射鏡
33の回転軸の仮想延長線上にコリメータレンズ40の
光軸が通るように反射鏡33が位置している。反射鏡3
3の回転軸の仮想延長線は誘電体多層膜ミラーの面上に
位置していないが、誘電体多層膜ミラーで光線を反射す
るのは至近距離の測定物体に対してだけであるので、そ
の至近距離範囲内での光量密度の不均一は実用上支障の
ない範囲内である。アルミ密着ミラーは、半導体レーザ
21の波長域における反射率が約90〜95%になるよ
うに形成されている。
【0020】コリメータレンズ40は、例えば口径40
mm、中心部での焦点距離f1 :40mm(Fナバー
1)のプラスチックレンズである。反射鏡33で反射さ
れた光線は、コリメータレンズ40により平行よりも僅
かに開く向きに角度を付け被測定物体に向けて照射され
る。これは、僅かでも閉じ側に光線が収束されると、高
い光量密度の光線が外部に照射されることになり危険だ
からである。コリメータレンズ40の材質は、可視光の
透過率をほぼゼロにカットするため、例えば顔料入りア
クリルまたはポリカーボネート等である。本発明では顔
料は混入しないでも構わない。コリメータレンズ40の
材質に要求されるのは、屈折率nがn≧1.45と高い
こと、および面精度がλ/4と高いことである。
【0021】受光レンズ51は、後述するような、広角
度域(±10°)において集光効率が高い特殊形状のフ
レネルレンズであり、例えば焦点距離f3 =43mmの
ものである。受光レンズ51の材質は、コリメータレン
ズ40と同様、例えば可視光カット顔料入りアクリルも
しくはポリカーボネイトである。受光素子52は、PI
Nフォトダイオードである。本発明では、PINフォト
ダイオードに代えてアバランシェフォトダイオードを用
いることも可能である。
【0022】回路基板53上に搭載された演算手段であ
る図示しない演算回路は、被測定物体に反射し、受光レ
ンズ51を介して受光素子52に入射した光線の受光時
刻と出射時刻との差から次の式(1) により被測定物体と
の距離を算出する。 測定距離=(受光した時刻−出射した時刻)×光速×1/2 ・・・(1) 集光ミラー54は、斜めに入射する光線を効率よく受光
素子52に集めるために設けられ、受光素子52の幅の
約50%の幅において外れた光線を1回反射させ、受光
素子52に集めることができる。集光ミラー54は、光
線の反射率が例えば90%以上であり、この値が高い方
が望ましい。したがって、集光ミラー54は例えば樹脂
の表面にアルミニウム等の金属を蒸着処理またはアルミ
ニウム等の金属をメッキ処理をしたもの、または例えば
アルミニウム等の金属を成形したものからなる。
【0023】次に、受光レンズ51を構成するフレネル
レンズの一例について説明する。図3に示すように、焦
点fの球面レンズ61を同心円上に切出すことにより、
屈折角の異なった複数の環状レンズ61a、61b、6
1c等が形成される。これらの環状レンズ61a、61
b、61c等のうち、図3中の斜線で示した略三角形部
分を階段状に繋合わせ同心円上に寄せ集めたものがフレ
ネルレンズ62である。このフレネルレンズ62は、厳
密にはレンズではなくプリズム61a、61b、61c
等を同心円上に集めたものである。また、単一焦点fの
球面レンズ61よりつくられていることからフレネルレ
ンズ62は単一焦点フレネルレンズである。またフレネ
ルレンズ62は、同じ焦点を有する球面レンズに較べ薄
く軽量化が可能であり、特に短焦点の場合、軽量化率を
高くすることが可能である。
【0024】図4に示すように、単一焦点フレネルレン
ズは、指向性が鋭く斜めに入射する光線に対する集光率
が低くなるため、水平入射角度が±4°以上になる広角
度範囲においての集光には適していない。このため、水
平入射角度が±10°の角度範囲をスキャンするスキャ
ニング方式の車両用反射測定装置には、この単一焦点フ
レネルレンズであるフレネルレンズ62を使用すること
ができない。ここで、水平入射角度とは、レンズの中心
に位置するレンズ面の法線に対する角度をいう。
【0025】そこで、図5に示すように、水平入射角度
0°の角度の受光効率を若干劣化させることにより、水
平入射角度が±4°〜±10°の角度範囲の受光効率を
向上させることが可能になる。このようなフレネルレン
ズは、焦点f11および焦点f12を有する多重焦点フレネ
ルレンズであり、後述する各寸法に各部の大きさが設計
される場合、図4に示す特性が得られる。
【0026】図5および図6に示すように、この多重焦
点フレネルレンズを受光レンズ51に使用した場合、水
平入射角度0°の入射光(以下「垂直入射光」という)
を受光レンズ51の中央部51aにより集光させ、水平
入射角度θ°の入射光(以下「斜入射光」という)を受
光レンズ51の周辺部51bにより集光させることによ
って、垂直入射光と斜入射光とを集光可能にしている。
つまり、図5に示すように、受光レンズ51の周辺部に
入射する垂直入射光の焦点距離f12より受光レンズ51
に近い位置に受光レンズ51の中央部に入射する垂直入
射光の焦点距離f11を設定し、この位置に受光素子52
を配設する。すると、図6に示すように、斜入射光が受
光レンズ51に入射しても受光素子52で捕捉すること
が可能になる。
【0027】例えば受光レンズ51の口径を65mm、
受光素子52の受光可能部の幅を7mmとした場合、焦
点距離f11を43mm、焦点距離f12を60mmにする
ように受光レンズ51を成形すると良好である。また、
図5に示す例では、焦点距離f11を焦点距離f12より短
くしたが、焦点距離f11を焦点距離f12より長くしても
良い。
【0028】第1実施例によると、レンズの中央部に入
射する光線の焦点距離とレンズの周辺部に入射する光線
の焦点距離とが異なる多焦点フレネルレンズを受光レン
ズ51に用いることから、垂直入射光に加え斜入射光を
も受光素子52で捕捉することができる。これにより、
この受光レンズ51を用いたスキャニング方式の車両用
反射測定装置では、広角度範囲において被測定物体との
距離を正確に測定することができる効果がある。
【0029】また、第1実施例によると、多焦点フレネ
ルレンズを受光レンズ51に用いることから、大型の走
査鏡、広角度レンズ等を用いた場合と比較し車両用反射
測定装置を小型、軽量化することができる効果がある。
ここで、受光レンズ51の変形例として、変形例1を図
7に示す。図7に示す変形例1は、受光レンズとして用
いる多焦点フレネルレンズの焦点距離が、レンズの中心
部から周辺部方向に向って累進的に増加するようにした
例である。受光レンズ71の中央部に入射する垂直入射
光の焦点距離をf21に設定した場合、この中央部から僅
かに径方向外側に位置する同心円部に入射する垂直入射
光の焦点距離はf21より僅かに長いf22であり、中央部
から径方向外側に向うにしたがい徐々に焦点距離が長く
なるようになっている。そして、受光レンズ71の最外
部に位置する同心円部に入射する垂直入射光の焦点距離
はf2nになる。このように、受光レンズ71の中心部か
ら周辺部方向に向って累進的に焦点距離が増加すること
から、焦点距離f21と焦点距離f2nとの間に受光素子5
2を配設することで斜入射光をより効果的に捕捉するこ
とが可能になる。
【0030】また、受光レンズ51の変形例として、変
形例2を図8に示す。図8に示す変形例2は、前述の変
形例1とは対称的に、受光レンズとして用いる多焦点フ
レネルレンズの焦点距離が、レンズの中心部から周辺部
方向に向って累進的に減少するようにした例である。受
光レンズ72の中央部に入射する垂直入射光の焦点距離
をf31に設定した場合、この中央部から僅かに径方向外
側に位置する同心円部に入射する垂直入射光の焦点距離
はf31より僅かに短いf32であり、中央部から径方向外
側に向うにしたがい徐々に焦点距離が短くなるようにな
っている。そして、受光レンズ72の最外部に位置する
同心円部に入射する垂直入射光の焦点距離はf3nにな
る。このように、受光レンズ72の中心部から周辺部方
向に向って累進的に焦点距離が減少することから、焦点
距離f3nと焦点距離f31との間に受光素子52を配設す
ることで、前述の変形例1と同様、斜入射光をより効果
的に捕捉することが可能になる。
【0031】なお、第1実施例では、焦点が点状に絞込
まれる多焦点フレネルレンズを受光レンズ51、71、
72に用いたが、本発明では、これに限られることはな
く、例えば焦点が棒状に絞込まれる多焦点フレネルレン
ズを用いても良い。 (第2実施例)本発明の第2実施例による車両用反射測
定装置の受光レンズの製造方法を図9に示す。
【0032】第2実施例は、受光レンズ81に透過型ホ
ログラムレンズを用いた例であり、車両用反射測定装置
の構成は図1および図2に示す第1実施例の構成と同様
である。ここでは、受光レンズ81の製造方法を図9に
基づいて説明する。受光レンズ81は、平行光83と収
束光84、85とによって露光される透過型ホログラム
レンズである。ハーフミラー82は、受光レンズ81を
露光する際、収束光84、85を透過させ、平行光83
を反射させるために用いられる。
【0033】焦点距離f41で収束する収束光84をハー
フミラー82に透過させて受光レンズ81に照射する。
同時に、平行光83をハーフミラー82に反射させて受
光レンズ81に照射する。すると、収束光84と平行光
83との干渉により生ずる干渉縞の強度分布が受光レン
ズ81に露光され第1の記録がされる。同様に、焦点距
離f42で収束する収束光85をハーフミラー82に透過
させて受光レンズ81に照射することによって、収束光
85と平行光83との干渉により生ずる干渉縞の強度分
布が受光レンズ81に露光され第2の記録がされる。こ
のように必要な焦点距離に収束する収束光と平行光83
とを受光レンズ81に照射する露光工程を繰返すことに
より多重露光され多重記録される。
【0034】このようにして多重露光され多数の焦点距
離を有する受光レンズ81は、第1実施例で述べた多重
焦点フレネルレンズからなる受光レンズ51に相当する
ことから、この受光レンズ81を用いることにより第1
実施例と同様の効果が得られる。また、収束光84、8
5等を球面レンズに透過させることにより収差が生ずる
ことから、前述のような露光工程を繰返すことなく、1
回の露光工程で累進多重焦点を得ることが可能になる。
【0035】第2実施例によると、受光レンズ81はホ
ログラムレンズであることから、干渉縞の強度分布を露
光することにより任意の焦点距離および焦点個数が容易
に設定できる。これにより、型成形される多重焦点フレ
ネルレンズのように成形型により品質が左右されること
がなく、高品質、高精度の受光レンズが製造できる効果
がある。
【0036】(第3実施例)本発明の第3実施例による
車両用反射測定装置の受光レンズの製造方法を図10に
示す。第3実施例は、受光レンズ91に透過型ホログラ
ムレンズを用いた例であり、車両用反射測定装置の構成
は図1および図2に示す第1実施例の構成と同様であ
る。ここでは、受光レンズ91の製造方法を図10に基
づいて説明する。
【0037】図10に示すように、1種類の収束光96
に対して角度の異なる3種類の平行光93、94、95
を受光レンズ91に照射する点が第2実施例と異なる。
受光レンズ91は、平行光93、94、95と収束光9
6とによって露光され型ホログラムレンズである。ハー
フミラー92は、受光レンズ91を露光する際、収束光
96を透過させ、平行光93、94、95を反射させる
ために用いられる。
【0038】焦点距離f51で収束する収束光96をハー
フミラー92に透過させて受光レンズ91に照射する。
同時に、平行光93をハーフミラー92に反射させて受
光レンズ91に照射する。すると、収束光96と平行光
93との干渉により生ずる干渉縞の強度分布が受光レン
ズ91に露光され第1の記録がされる。次に、平行光9
3に対して例えば10°の角度θ1 を有する平行光94
を収束光96とともに照射する。この照射により収束光
96と平行光94との干渉により生ずる干渉縞の強度分
布が受光レンズ91に露光され第2の記録がされる。
【0039】さらに、平行光93に対して例えば−10
°角度θ2 を有する平行光95を収束光96とともに照
射する。この照射により収束光96と平行光95との干
渉により生ずる干渉縞の強度分布が受光レンズ91に露
光され第3の記録がされる。このようにして多重露光さ
れた受光レンズ91は、3方向の入射光に対し常に同一
の焦点位置に集光が可能になる。したがって、焦点距離
f51に受光素子52を配設することにより、垂直入射光
および斜入射光を効率良く捕捉することが可能になる。
【0040】第3実施例によると、受光レンズ91は垂
直入射光および斜入射光に対して1箇所の焦点で集光可
能なことから、受光素子の位置設定が容易になり、さら
に垂直入射光および斜入射光の捕捉効率を向上させる効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による車両用反射測定装置
の内部を示す平面図である。
【図2】図1のII方向矢視による側面図である。
【図3】フレネルレンズの構成を示す模式的説明図であ
る。
【図4】フレネルレンズの入射角度に対する相対検知距
離を示す特性図である。
【図5】本発明の第1実施例による受光レンズに水平入
射角0°の光線が入射したときの集光状態を示す模式的
説明図である。
【図6】本発明の第1実施例による受光レンズに水平入
射角θ°の光線が入射したときの集光状態を示す模式的
説明図である。
【図7】本発明の第1実施例による受光レンズの変形例
1の模式的説明図である。
【図8】本発明の第1実施例による受光レンズの変形例
2の模式的説明図である。
【図9】本発明の第2実施例による車両用反射測定装置
の受光レンズの製造方法を説明するための模式的説明図
である。
【図10】本発明の第3実施例による車両用反射測定装
置の受光レンズの製造方法を説明するための模式的説明
図である。
【符号の説明】
1 測定装置 (反射測定装置) 10 ハウジング 20 光源照射部 21 半導体レーザ 22、53 回路基板 23 絞り板 30 光線反射部 31 ステップモータ 33 反射鏡 40 コリメータレンズ(出射レンズ) 51、71、72 受光レンズ 81、91 受光レンズ (透過型ホログラムレ
ンズ) 51a 中央部 (第1のレンズ部分) 51b 周辺部 (第2のレンズ部分) 52 受光素子 (受光部) 54 集光ミラー 82、92 ハーフミラー 93 平行光 (第1の平行光) 94、95 平行光 (第2の平行光)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G01S 17/42 9108−2F 17/93

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源と、 その光線をほぼ平行光線にする出射レンズと、 前記出射レンズを透過し被測定物体に反射した光線を集
    光し、複数個の焦点または連続線として表れる焦点を有
    する受光レンズと、 前記受光レンズにより集光された光線を受光する受光部
    と、 前記受光部での受光時刻と前記光源から出射された光線
    の出射時刻との差から前記被測定物体と前記光源との距
    離を算出する演算手段とを備えたことを特徴とする反射
    測定装置。
  2. 【請求項2】 前記受光レンズは、第1のレンズ部分の
    周辺に第2のレンズ部分を有し、前記第1のレンズ部分
    の第1の焦点距離と前記第2のレンズ部分の第2の焦点
    距離とが異なることを特徴とする請求項1記載の反射測
    定装置。
  3. 【請求項3】 前記第2のレンズ部分は、複数個の焦点
    または連続線として表れる焦点を有することを特徴とす
    る請求項2記載の反射測定装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の焦点距離は、前記第2の焦点
    距離より短いことを特徴とする請求項2または3記載の
    反射測定装置。
  5. 【請求項5】 前記第2の焦点距離は、前記第1の焦点
    距離より短いことを特徴とする請求項2または3記載の
    反射測定装置。
  6. 【請求項6】 前記受光レンズは、透過型ホログラムレ
    ンズであることを特徴とする請求項1、2、3、4また
    は5記載の反射測定装置。
  7. 【請求項7】 光源と、 その光線をほぼ平行光線にする出射レンズと、 前記出射レンズを透過し被測定物体に反射した光線を集
    光し、複数個の焦点または連続線として表れる焦点を有
    する透過型ホログラムレンズと、 前記透過型ホログラムレンズにより集光された光線を受
    光する受光部と、 前記受光部での受光時刻と前記光源から出射された光線
    の出射時刻との差から前記被測定物体と前記光源との距
    離を算出する演算手段とを備え、 前記透過型ホログラムレンズに垂直に入射する第1の平
    行光と非垂直に入射する第2の平行光とが同一焦点に集
    光することを特徴とする反射測定装置。
  8. 【請求項8】 前記第2の平行光は、前記透過型ホログ
    ラムレンズに対して角度範囲0°<θ≦10°で入射す
    ることを特徴とする請求項7記載の反射測定装置。
JP6219090A 1994-09-13 1994-09-13 反射測定装置 Pending JPH0882677A (ja)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0921874A (ja) * 1995-07-04 1997-01-21 Nippondenso Co Ltd 反射測定装置
JP2006258802A (ja) * 2005-02-21 2006-09-28 Hokuyo Automatic Co 受波装置及び測距装置
JP2011149760A (ja) * 2010-01-20 2011-08-04 Topcon Corp 光波距離測定装置
JP2013113684A (ja) * 2011-11-28 2013-06-10 Fujitsu Ltd 距離測定装置
JP2017107085A (ja) * 2015-12-10 2017-06-15 株式会社リコー 光偏向器、ミラー部材の鏡面切削加工方法、及びレーザレーダ装置
JP2018156008A (ja) * 2017-03-21 2018-10-04 ナルックス株式会社 受光光学系
CN110976431A (zh) * 2019-11-28 2020-04-10 济南大学 激光清洗装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0921874A (ja) * 1995-07-04 1997-01-21 Nippondenso Co Ltd 反射測定装置
JP2006258802A (ja) * 2005-02-21 2006-09-28 Hokuyo Automatic Co 受波装置及び測距装置
JP2011149760A (ja) * 2010-01-20 2011-08-04 Topcon Corp 光波距離測定装置
JP2013113684A (ja) * 2011-11-28 2013-06-10 Fujitsu Ltd 距離測定装置
JP2017107085A (ja) * 2015-12-10 2017-06-15 株式会社リコー 光偏向器、ミラー部材の鏡面切削加工方法、及びレーザレーダ装置
JP2018156008A (ja) * 2017-03-21 2018-10-04 ナルックス株式会社 受光光学系
CN110976431A (zh) * 2019-11-28 2020-04-10 济南大学 激光清洗装置

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