KR920003813B1 - 반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치

제 1 도는 일반적인 감광액 도포장치의 개략도.

제 2 도는 이 발명에 따른 폐감광액 처리장치의 전체 구성도.

제 3 도는 제 2 도의 중앙아세톤 공급장치의 구조도.

제 4 도는 제 2 도의 중앙폐액조의 구조도.

제 5 도는 제 2 도의 감광액 도포기에 설치된 폐액조의 구조도.

제 6도는 제 2도의 액면센서의 따른 경보발생회로도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 중앙아세톤 공급장치 2 : 중앙폐액조

3, 3-1, 3-2…3-n : 폐액조 4, 5 : 차지펌프(Charge Pump)

10 : 저장조 11 : 공급통

12, 24 : 콕크 13, 23 : 액면센서

16, 19 : 공급관 20 : 집액조

21 : 연결관 22 : 배기관

31 : 분사노즐 32 : 결합부

33 : 배출구 11 : 폐액

이 발명은 반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체제조공정중 사진공정에서 감광액 도포공정시에 감광액의 잔여물인 폐액을 청정실 외부로 자동처리시키도록한 폐감광액처리장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정중 사진공정에서 제 1 도와 같이 감광액공급통(100)내의 감광액(101)을 펌프(102)을 빨아들여 노즐(103)을 통해 웨이퍼(104)상에 분사시키는 것으로 감광액의 도포를 행하게 되는데, 이 웨이퍼(104)는 척크(105)에 진공으로 흡착되어서 지지되고 척크(105)와 축설된 모터(106)에 의해 회전되어 웨이퍼(104)상에 감광액(101)이 소정의 두께로 고르게 도포되도록한 스피너(spinner)방법이 주로 이용되고 있다.

한편, 이러한 척크(105)는 상단주연부가 내측으로 상향경사지게 형성되고 바닥에서 배수구(108)가 형성된 보울(Boul ; 107)의 중앙부에 위치되어 웨이퍼 (104)에 도포되고 남은 감광액(101)의 잔여물인 폐액(110)이 하측에 설치된 폐액조(109)에 모이도록 한 구성으로 되었다.

청정실내에는 상기와 같은 감광액도포기가 여러대 설치되었으므로 각 장치내의 폐액(110)을 처리하기 위해서, 각 폐액조(109)를 인위적으로 장치에서 꺼낸후 각폐액조(109)내의 폐액(110)을 별도의 큰 폐액조에 모은후 이 큰폐액조를 청정실 외부로 운반하여 처리하였다.

이와 같이 감광액(101)의 폐액(110)을 처리하므로 청정실에서 감광액(101)의 솔벤트(solvent)성분이 증발되면서 흄(fume)이 발생하여 청정실을 오염시키게 되어 웨이퍼가공에 바람직하지 않게 되었으며, 또한 상기 폐액(110)을 청정실외부로 운반하는데 따른 안정사고의 우려가 있게 되었다. 이러한 문제외에도 작업자가 폐액(110)을 처리하기 위해 작업지역을 이탈해야되므로 작업집중도가 매우 낮게 되어 생산성이 크게 저하되는 폐단이 있게 되었다.

이 발명은 이와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로서, 이 발명의 목적은 각 감광액도포기에 설치된 폐액조의 폐액을 청정실외부에서 집수처리하도록 하여 청정실의 오염을 방지하고 폐액의 운반에 따른 안전사고를 방지하며, 생산성의 향상을 도모한 반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 이 발명은 반도체의 제조공정중 사진공정에서 감광액을 도포한후 그 폐액을 처리함에 있어서, 아세톤을 저장하여 펌프에 의해 청정실을 각 감광액 도포기 폐액조에 아세톤을 공급하는 중앙아세톤 공급장치와, 폐액조에서 배출되는 폐액을 집액하여 청정실 외부에서 처리하도록 하는 중앙폐액조와, 각 감광액 도포기에 설치되어 상기 중앙아세톤 공급장치에서 공급되는 아세톤과 감광액의 폐액을 단일의 중앙폐액조에 집액시키는 다수의 폐액조와로 되어 각 감광액 도포기의 폐액을 청정실외부로 자동처리 시키도록한 반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치에 그 특징이 있다.

이하, 첨부도면에 의해 이 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. 먼저 제 2 도는 이 발명에 따른 폐감광액 처리장치의 전체구성을 나타낸것으로서, 1은 감광액도포장치의 폐액조를 세정시키기 위해 아세톤을 공급하는 중앙아세톤 공급장치이고, 2는 각 폐액조의 폐액과 아세톤혼합액을 집액하는 중앙폐액조이며 3,3-1,3-2,…3-n은 각 감광액 도포기에 설치되어 웨이퍼상에 도포되고 남은 감광액을 잔여물인 폐액을 모으는 폐액조이다.

제 3 도에서 상기 중앙아세톤공급장치(1)를 상세히 나타내었는데 이는, 아세톤을 저장하며 각 감광액도포기의 폐액조(3,3-1,3-2,…3-n)에 공급하기 위한 저장조(10)와, 이 저장조(10)에 아세톤을 보충시키기 위한 공급통(11)과, 에어(Air) 또는 질소등에 의한 압력으로 공급통(11)내의 아세톤을 저장조(10)로 공급시키는 차지펌프(Charge Pump ; 4)와, 저장조(10)내의 아세톤을 각 폐액조(3,3-1,3-2,…3-n)로 배출시키는 차지펌프(5)와로 이루어졌다.

한편 상기 저장조(10)에는 내부의 압력을 조절하기 위한 콕크(12)와, 저장조(10)내의 아세톤양을 감지하여 소정량 이하일 때 경보를 발생하는 액면센서(13)를 설치하였으며, 밀폐부재(14)를 통해서 차지 펌프(4)(5)의 공급관(16)(19)과 콕크(12)의 연결관(17)을 저장조(10)내부로 연결시켰다. 제 1 도~제 3 도에서 미설명부호인 15는 액면센서(13)를 저장조(10)몸체에 지지시키는 지지대이고 18은 저장조(10)의 다리이며 19는 각 폐액조(3,3-1,…3-n)에 아세톤을 공급하기 위한 공급관이다.

제 4 도는 중앙폐액조(2)의 구조를 나타낸 것으로서, 밑면을 소정의 기울기(예컨대 5°)로 경사지게 형성시킨 집액조(20)에 각 폐액조(3,3-1,…3-n)의 폐액 (110)을 집액시키는 연결관(21)을 설치하고, 집액조(20)내의 증발되는 기체를 외부로 배출시키기 위한 배기관(22)과, 집액조(20)내의 폐액(110)이 소정량이상일때 경보를 발생하는 액면센서(23)와, 집액조(20)내의 폐액(110)을 외부로 배출시키기 위한 콕크(24)를 설치한 것으로 되었다.

한편 각 감광액도포기의 폐액조(3,3-1,3-2,…3-n)는 제 5 도에서와 같이 그밑면을 소정의 기울기(예컨대 5。)로 경사지게하고 내상부에는 아세톤 분사노즐(31)을 설치하여 차지펌프(5)의 공급관(19)과 분사노즐(31)의 결합부(32)를 결합시켰다. 또한 경사진 밑면의 하단측에는 배수공(33)을 형성하고 주지의 연결수단으로 중앙폐액조(20)의 연결관(21)을 연결하였다.

이와 같이 구성된 이 발명은 중앙아세톤 공급장치(10)와 중앙폐액조(2)를 청정실외부에 설치하도록 하였는데, 이 중앙아세톤 공급장치(1)는 공급통(11)내의 아세톤이 차지펌프(4)의 구동에 의한 공기압에 의해 공급관(16)을 통하여 저장조(10)내로 저장된다. 이 저장조(10)내에 저장된 아세톤은 차지펌프(5)의 구동에 의해 빨라올려져서 소정의 공급압력(예컨대 0.1kg/㎠)으로 공급관(19)을 통해 각 폐액조(3,3-1,3-n)의 분사노즐(31)로 공급되어 폐액조(3,3-1,3-n)내에서 분사되게 된다. 여기서 아세톤은 소정시간마다 일정량을 공급하도록 하는데, 이는 점성이 높은 폐액(110)이 시간의 경과에 따라 바닥면에 그 침전물이 쌓여 점차 고형화 되어서 폐액(110)의 배수가 잘 이루어지지 않게 되므로 이를 용해시켜 폐액(110)의 배출을 용이하게 한 것이다. 한편 폐액조(3,3-1,…3-n)는 그 밑면을 경사지게 형성하였으므로 소량의 폐액(110)마저도 원활하게 배수되게 된다.

이와 같이 감광액의 폐액(110)과 아세톤의 혼합액이 연결관(21)을 통해 중앙폐액조(2)의 집액조(20)에 집수되게 되고, 유해한 가스(감광액과 아세톤이 증발한 기체)가 배기관(22)을 통해 배기된다. 이 집액조(20)에 담겨지는 폐액(110)의 양이 소정량이상으로 되면 집액조(20)에 설치한 액면센서(23)가 이를 감지하여 경보를 울리게 되어 폐액(110)이 외부로 넘치게 되는 것을 방지하게 하였다.

제 6 도는 중앙 아세톤공급장치(10)와 중앙폐액조(2)에 각기 설치한 액면센서(13,)(23)에 의한 경보발생회로를 나타낸 것으로, 경보의 발생은 제 3 도~제 4 도에서와 같이 아세톤 또는 폐액(110)이 각기 저장조(10) 또는 집액조(20)와 동일한 높이로 담기는 투명한 파이프(13a),(23a)에 액의 높이를 감지하는 액면센서(13),(23)를 근접 설치시킨 기구적인 구조와, 제 6 도와 같이 액면센서(13),(23)에 의한 감지신호를 트랜스(T1)를 통해 승압시켜 스피커(SP)를 구동시키는 전기적 접속으로 이루어졌다. 따라서 저장조(10)의 아세톤량이 소정치 이하일때는 액면센서(13)가 경보음을 발생시키게 되고, 집액조(20)의 폐액(110)이 소정치 이상으로 될때는 액면센서(23)가 경보음을 발생시키게 되어 아세톤의 원활한 공급과 폐액(110)의 적절한 처리를 하게 된다.

이와 같이 이 발명은 청정실의 각 감광액도포기에서의 폐액(110)이 연결관(21)을 통해 청정실외부에 설치한 중앙폐액조(2)의 집액조(20)에 자동으로 집액되므로 청정실내에서 폐액이 노출되지 않게 되어 흄발생이 없게되며, 청정실이 오염될 우려가 없게 되고, 폐액의 집수 및 처리가 자동으로 행해지므로 작업자가 일일히 운반 및 처리할 필요가 없게되어 안정사고의 우려가 없게 된다. 또한, 고도의 집중을 요하는 반도체의 제조에 있어서 작업이 집중도가 매우 높게되어 생산이 크게 향상된다.

Claims (5)

1. 반도체의 제조공정중 사진공정에서 감광액을 도포한 후 그 폐액을 처리함에 있어서, 아세톤을 저장하여 펌프에 의해 청정실의 각도포기 폐액조(3,3-1,…, 3-n)에 아세톤을 공급하는 중앙아세톤 공급장치(1)와, 폐액조(3,3-1,…3-n)에서 배출되는 폐액을 집중하여 청정실 외부에서 처리하도록 하는 중앙폐액조(2)와, 각 감광액도포기에 설치되어 상기 중앙아세톤 공급장치(1)에서 공급되는 아세톤과 감광액의 폐액을 단일의 중앙폐액조(2)에 집액시키는 다수의 폐액조(3,3-1,…2-n)와, 를 구비하여 되는 반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 중앙아세톤 공급장치(1)가, 아세톤을 저장 및 공급하는 저장조(10)와, 아세톤 공급통의 아세톤을 소정압력으로 저장조(10)에 공급시키는 차지펌프(4)와, 저장조(10)내의 아세톤을 공급관(19)을 통해 각 폐액조(3,3-1,…3-n)에 공급시키는 차지펌프(5)와, 저장조(10)내의 아세톤량을 검출하여 소정치 이하일때 경보를 발생하도록한 액면센서(13)와, 를 구비하여 되는 반도체 제조장치의 감광액 처리장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 중앙폐액조(2)는, 청정실의 각 폐액조(3,3-1,…3-n)에서 배출되는 폐액(110)을 연결관(21)을 통해 집액하는 집액조(20)에 이 집액조(20)내의 폐액량을 검출하여 소정치 이상일때 경보를 발생시키는 액면센서(23)를 설치하고, 집액조(20)상부와 하단측에는 배기관(22)과 폐액배출용 콕크(24)를 설치하여 되는 반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치.
4. 제 1 항에 있어서, 청정실내의 각 감광액도포기의 폐액조(3,3-1…3-n)는, 그 밑면을 소정의 기울기로 경사지게 하고 그 하단부에 배출구(32)를 형성하며, 내부상부에 공급관(19)과 연결되는 분사노즐(31)을 설치하여 되는 반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 집액조(20)는, 그 밑면을 소정의 기울기로 경사지게 형성시켜서 되는 반도체 제조장치의 폐감광액 처리장치.

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