KR970016805A - 금속박판의 처리장치 - Google Patents
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Abstract
금속박판에 소정의 처리를 행하기 위한 약액에서 금속 가루를 확실히 분리한다.
섀도우마스크의 원재료가 되는 금속박판(H)에 레지스트를 도포하기 위한 레지스트조(18)에는 조정 탱크(70)에 이르기까지의 오버플로우관(61)과, 제 1, 제 2회수관(62, 63)과 회수탱크(60)와 회수액도입관(71)과, 조정탱크(70)에서 레지스트조(18)에 이르기까지의 제 1환류관(72)과 제 1, 제 2서브탱크(73, 74)와 제 2환류관(75)으로 이루어지는 레지스트액의 순환 관로가 구비되어 있다. 그리고 레지스트조(18)에는 레지스트액의 환류위치(조의 바닥부)에 영구 자석(76)을 격자상으로 배치하여 이루어진 마그네트 그리드(77)를 구비하고, 상기의 순환경로의 회수액도입관(71)과 제 2환류관(75)에는, 관로를 통과하는 레지스트액과 접촉하여 필터로서 기능하는 마그네트 필터(78, 79)가 배치되어 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명을 적용한 실시예로서 섀도우마스크의 제조 라인의 개요도이다.
Claims (4)
- 금속박판을 반송시키면서 그 금속박판에 소정의 처리를 행하는 금속박판의 처리 장치에 있어서, 금속박판을 반송시키면서 소정의 약액을 금속박판에 공급하는 약액공급 수단과 상기 약액공급 수단에서 공급되는 약액을 회수하는 회수 수단과, 상기 약액을 상기 약액공급 수단과 회수 수단 사이에서 순환시키는 순환 관로를 구비한 순환 수단과, 상기 순환관로 내에 설치되고, 상기 순환되는 약액에 접촉하여 약액 중에 포함되는 금속 가루를 자력으로 흡착하여 약액 중에서 금속 가루를 제거하는 관로내 자석을 가지는 것을 특징으로 하는 금속박판의 처리 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 회수 수단에 의해 회수된 약액과 신규 약액을 혼합하여, 그 혼합된 약액을 상기 순환관로를 통하여 상기 약액공급 수단에 송액하는 약액환합 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 금속박판의 처리 장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 약액공급 수단은 상기 약액을 저류하는 저류조와, 상기 저류조에 저류된 약액에 금속박판을 침지시키는 침지 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 금속박판의 처리 장치.
- 제 3항에 있어서, 상기 저류조에 저류되는 약액 내에 설치되고, 약액에 접촉하여 약액 중에 포함되는 금속가루를 흡착하여 약액 중에서 금속가루를 제거하는 저류조 내 자석을 가지는 것을 특징으로 하는 금속박판의 처리 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP7251943A JPH0971882A (ja) | 1995-09-04 | 1995-09-04 | 金属薄板の処理装置 |
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Publications (1)
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Country Status (2)
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1996
- 1996-08-02 KR KR1019960032373A patent/KR970016805A/ko not_active Application Discontinuation
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JPH0971882A (ja) | 1997-03-18 |
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