KR970016805A - 금속박판의 처리장치 - Google Patents

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KR970016805A
KR970016805A KR1019960032373A KR19960032373A KR970016805A KR 970016805 A KR970016805 A KR 970016805A KR 1019960032373 A KR1019960032373 A KR 1019960032373A KR 19960032373 A KR19960032373 A KR 19960032373A KR 970016805 A KR970016805 A KR 970016805A
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KR
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chemical liquid
thin metal
chemical
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chemical solution
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Application number
KR1019960032373A
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Inventor
마모루 우에노
Original Assignee
이시다 아키라
다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C1/00—Magnetic separation
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Abstract

금속박판에 소정의 처리를 행하기 위한 약액에서 금속 가루를 확실히 분리한다.
섀도우마스크의 원재료가 되는 금속박판(H)에 레지스트를 도포하기 위한 레지스트조(18)에는 조정 탱크(70)에 이르기까지의 오버플로우관(61)과, 제 1, 제 2회수관(62, 63)과 회수탱크(60)와 회수액도입관(71)과, 조정탱크(70)에서 레지스트조(18)에 이르기까지의 제 1환류관(72)과 제 1, 제 2서브탱크(73, 74)와 제 2환류관(75)으로 이루어지는 레지스트액의 순환 관로가 구비되어 있다. 그리고 레지스트조(18)에는 레지스트액의 환류위치(조의 바닥부)에 영구 자석(76)을 격자상으로 배치하여 이루어진 마그네트 그리드(77)를 구비하고, 상기의 순환경로의 회수액도입관(71)과 제 2환류관(75)에는, 관로를 통과하는 레지스트액과 접촉하여 필터로서 기능하는 마그네트 필터(78, 79)가 배치되어 있다.

Description

금속박판의 처리 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명을 적용한 실시예로서 섀도우마스크의 제조 라인의 개요도이다.

Claims (4)

  1. 금속박판을 반송시키면서 그 금속박판에 소정의 처리를 행하는 금속박판의 처리 장치에 있어서, 금속박판을 반송시키면서 소정의 약액을 금속박판에 공급하는 약액공급 수단과 상기 약액공급 수단에서 공급되는 약액을 회수하는 회수 수단과, 상기 약액을 상기 약액공급 수단과 회수 수단 사이에서 순환시키는 순환 관로를 구비한 순환 수단과, 상기 순환관로 내에 설치되고, 상기 순환되는 약액에 접촉하여 약액 중에 포함되는 금속 가루를 자력으로 흡착하여 약액 중에서 금속 가루를 제거하는 관로내 자석을 가지는 것을 특징으로 하는 금속박판의 처리 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 회수 수단에 의해 회수된 약액과 신규 약액을 혼합하여, 그 혼합된 약액을 상기 순환관로를 통하여 상기 약액공급 수단에 송액하는 약액환합 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 금속박판의 처리 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 약액공급 수단은 상기 약액을 저류하는 저류조와, 상기 저류조에 저류된 약액에 금속박판을 침지시키는 침지 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 금속박판의 처리 장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 저류조에 저류되는 약액 내에 설치되고, 약액에 접촉하여 약액 중에 포함되는 금속가루를 흡착하여 약액 중에서 금속가루를 제거하는 저류조 내 자석을 가지는 것을 특징으로 하는 금속박판의 처리 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960032373A 1995-09-04 1996-08-02 금속박판의 처리장치 KR970016805A (ko)

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