KR920003415A - 저 에너지 전자 조사 방법 및 조사 장치 - Google Patents

저 에너지 전자 조사 방법 및 조사 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

저 에너지 전자 조사 방법 및 조사 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 관한 저에너지 전자 조사장치의 개략 단면도.
제2도는 본 발명의 실시예에 있어서 전자강도(전류량)과 전자 에너지와의 관계를 도시한 에너지 분포도.
제3도는 2차 전자 방출부와 에너지 분포부와의 위치 관계를 도시한 본 발명의 실시예에 있어서 조사장치의 필요부 단면도.

Claims (12)

1차 전자 비임 조사부(101, 103, 104, 105 및 106)으로부터 1차 전자 비임을 2차 전자 방출부(107)에 조사해서 2차 전자 비임을 방출하고, 상기 방출된 2차 전자 비임을 가속하며, 상기 가속된 2차 전자 비임에서 고에너지 성분을 제거하고, 고에너지 성분을 제거한 상기 2차 전자 비임을 감속해서 집속하는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 방법.
제1항에 있어서, 상기 2차 전자 방출부 또는 상기 2차 전자 비임을 감속하는 수단에 인가되는 전압을 변화시킴으로써 상기 저에너지 전자의 에너지 분포를 제어하는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 방법.
1차 전자 비임 조사부(101, 103, 104, 105및106), 상기 1차 전자 비임 조사부에서 발생한 1차 전자 비임의 조사를 받아서 2차 전자 비임을 방출하는 2차 전자 방출부(107), 상기 2차 전자 비임을 가속하는 수단(120 및 121), 상기 가속된 2차 전자 비임으로부터 고에너지 성분을 제거해서 저에너지의 2차 전자를 얻는 에너지 분석부(108, 109, 110및 111) 및 상기 저에너지의 2차 전자를 가속해서 집속하는 감속 수단(112, 113, 114 및 115)를 포함하는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제3항에 있어서, 상기 2차 전자 방출부 또는 상기 감속수단에 가변 바이어스 인가용 전원을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제3항에 있어서, 상기 2차 방출부가 그 표면이 상기 1차 전자 비임의 광축에 대해 경사지도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제3항에 있어서, 상기 에너지 분석부가 평행 평판형, 원통 거울형 또는 자장형 에너지 분석기를 이용한 에어지 필터(110 및 111)을 포함하는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제3항에 있어서, 상기 에어지 분석부가 상기 2차 전자 방출부에 대항하는 측에 2차 전자를 보집(補集)하기 위한 인출 전극(109)를 포함하는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제3항에 있어서, 상기 감속수단이 감속렌즈계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제8항에 있어서, 상기 감속렌즈계가 상기 저에너지 전자에 대해 무전계 공간을 부여하기 위해 소정 전위로 유지된 제1전극(112 및 113) 및 상기 제1전극을 통과한 상기 저에너지 전자를 감속시키기 위한 제2전극(114 및 115)로 구성되는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제3항에 있어서, 상기 2차 전자 방출부에 인가되는 전압과 상기 에너지 분석부의 상기 인출 전극에 인가되는 전압과의 차에 의해 상기 2차 전자 비임이 가속되는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제1항에 있어서, 상기 저에너지 전자가 대전된 시료에 조사되어 그 대전 상태를 중화하는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
제1항에 있어서, 상기 저에너지 전자가 래디컬한 상태의 원자 또는 분자에 조사함으로써 음이온을 형성하는 것을 특징으로 하는 저에너지 전자 조사 장치.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910012788A 1990-07-26 1991-07-25 저에너지 전자 조사 방법 및 조사 장치 KR940010199B1 (ko)

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