KR910014998A - 이온 발생장치 - Google Patents

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KR910014998A
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이노우에 키요시
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    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
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Abstract

내용 없음

Description

이온 발생장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는, 본 발명의 1 실시예의 이온 발생장치의 구성을 나타내는 개략 평면도이다.

Claims (3)

  1. 제1실시예에 마련된 필라멘트(4)에 전압을 인가하여 통전가열하는 필라멘트 전원(20)과, 상기 필라멘트(4)와 제1실내에 마련된 소정의 전극부와의 사이에 방전전압을 인가하여 방전을 일어나게 하는 방전전원(21)과, 상기 방전에 의하여 일어나게 한 플라즈마로 부터 제2실인 이온 생성실(13)내에 전자를 인출하여서, 이 이온 생성실(13)내에 도입한 원료 가스에 조사하여, 이온을 발생시키기 위한 가속전압을 인가하는 가속전원(22)과, 상기 가속전압에 의하여 생기는 전류를 검지하고, 이 전류치를 소정의 값으로 유지하도록 상기 방전전원을 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 이온 발생장치.
  2. 제1실에 마련된 필라멘트(4)를 통전 가열하는 필라멘트 전원(20)과, 상기 필라멘트(4)와 상기 제1실내에 마련된 소정의 전극부와의 사이에 방전전압을 인가하여 방전을 일어나게 하는 방전전원(21)과를 가지며, 상기 방전전원에 의한 방전에 의하여 일어나게 한 플라즈마로부터 전자를 인출하여 원료가스에 조사하여, 이온을 발생시키는 이온 발생장치에 있어서, 소망하는 이온 출력량에 따라서 미리 설정된 필라멘트 전류치로 상기 필라멘트 전류를 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 이온 발생장치.
  3. 제1실시에 마련된 필라멘트(4)제 전압을 인가하여 통전 가열하는 필라멘트 전원(20)과, 상기 필라멘트(4)와 상기 제1실에 마련된 소정의 전극부와의 사이에 방전전압을 인가하여 방전을 일어나게 하는 방전전원(21)과, 상기 방전에 의하여 일어나게 한 플라즈마로 부터 상기 제1실과 구멍에 의하여 결합된 이온 생성실(13)내에 전자를 인출하여서 이 이온 생성실(13) 내에 도입한 원료가스에 조사하여, 이온을 발생시키기 위한 가속전압을 인가하는 가속전원(22)과를 구비하여 이루어진 이온 발생장치에 있어서, 전자유로에 자계를 형성하는 공정과, 방전가스 및 원료가스를 공급하여 초기설정하는 공정과, 이 공정후 각 전원에 미리 정하여진 전압을 인가하는 공정과, 다음에 필라멘트 전류를 흘리는 공정과를 미리 설정된 프로그램으로 자동적으로 실행하는 것을 특징으로 하는 이온 발생장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910000911A 1990-01-30 1991-01-19 이온 발생장치 KR0148385B1 (ko)

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