KR910005558B1 - 자기헤드 코아의 제조방법 - Google Patents

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내용 없음.

Description

자기헤드 코아의 제조방법

제1a도 내지 제1h도는 본 발명에 의한 자기헤드 코아의 제조방법의 하나의 예를 공정순으로 나타낸 도면.

제2도는 제1도의 제조공정에 의해 얻어진 자기헤드 코아의 사시도.

제3도는 제2도 Ⅲ-Ⅲ선으로 절단한 단면도.

제4a도 내지 제4g도는 종래의 자기헤드 코아의 제조방법을 공정순으로 나타낸 도면.

제6도는 제5도 Ⅳ-Ⅳ선으로 절단한 단면도이다.

＊도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 하프코아(하프코아블럭) 12 : 자기갭

13 : 박막 부착홈 14 : 금속 자성막

15, 31 : 보호막 16 : 트랙폭 규제홈

17 : 유리 18, 32 : 코일 권선홈

30 : 깊이 규제홈 30a : 깊이 규제면

본 발명은 하프 코아와 맞닿음면에 대하여 경사진 박막부착홈을 형성하고 이 박막 부착홈에 부착시킨 금속 자성막의 접합면을 자기 갭으로 하고, 코일 권선홈이 자기 갭의 갭깊이를 규제하는 형식의 자기헤드 코아의 제조방법에 관한 것이다.

이러한 종류의 자기헤드 코아의 하나의 예로서 종래에는 제5도와 같은 것이 제안되고 있다. 페라이트 등의 산화물 자성체로 된 한쌍의 하프 코아(11)의 맞닿음면에는 각각 형성되는 자기갭(12)에 대하여 경사진 박막 부착홈(13)이 상하관계를 역으로 하여 형성되어 있으며, 이 박막 부착홈(13)에는 스퍼터링, 증착등의 박막 형성수단에 의하여 샌더스트 등의 금속성 박막(14)이 보호막(15)과 함께 부착되어 있다. 또한 하프 코아(11)의 맞닿음면에는 트랙폭 규제홈(16)이 박막 부착홈(13)에 대향하여 대칭관계로 형성한다. 이 트랙폭 규제홈(16)은 인접하는 박막 부착홈(13)의 일부를 절개하는 모양으로 형성되어 있다. 자기 갭(12)은 박막부착홈(13)에 부착 형성된 금속 자성막(14)이 단면을 맞대어 형성되어 있다. 그리고 대략 V자형의 금속 자성막(14)의 공간과 트랙폭 규제홈(16)의 공간에는 유리 등의 비자성 산화물 접합재료(17)(이하 ＂유리＂라고 함)가 충전되고 한쌍의 하프 코아(11)가 접합 고착되어 있다. 또한 상기와 같은 자기헤드 코아의 한쪽의 하프 코아(11)의 맞닿음면에는 코일 권선홈(18)이 박막 부착홈(13)의 형성방향과 직교하여 형성되어 있다. 이 코일 권선홈(18)의 제5도에 있어서의 상단면(아펙스a)은 자기 갭(12)의 갭 깊이를 규제하는 역활을 하고 있다.

이와 같은 자기 헤드는, 예를 들면 제4a도 내지 g도에 나타난 공정에 따라 제조된다. 먼저, 하프 코아 블럭(11)의 맞닿음면(11a)에 대하여 V자 형상의 박막 부착홈(13)을 형성[제4a도]하고, 이 박막 부착홈(13)에 대하여 샌더스트 등의 금속 자성막(14)을 스퍼터링 등의 방법으로 부착 형성한다[제4b도]. 다음에 맞닿음면(11a)을 랩 연마하여 박막 부착홈(13)내에 이 금속 자성막(14)을 남긴 후, 박막 부착홈(13)에 인접시키고, 또한 한쪽의 금속 자성막(14)의 일부에 걸리도록 트랙폭 규제홈(16)을 가공 형성한다[제4c도]. 다음에 금속 자성막(14)이 부착된 박막 부착홈 및 트랙폭 규제홈(16)에 대하여 보호막(15)을 개재한 금속 자성막(14)의 V자형 공간과 트랙폭 규제홈(15)의 공간에 유리(17)을 용융 충전한다[제4d도]. 그다음, 맞닿음면 쪽으로부터 박막홈의 형성방향과 직교시켜 하프 코아블럭(11)에 이르는 깊이로 소정의 코일권선홈(18)을 형성한다[제4e도]. 다음에 맞닿음면(11a)을 랩 연마하고 유리(11)를 금속 자성막(14)의 V자형 공간과 트랙폭 규제홈(15)의 공간에 남기고, 자기 갭(12)이 되어야 할 금속 자성막(14)의 단면의 갭 폭을 결정한다[제4f도]. 최후로 맞닿음면(11a)에 스퍼터링 등의 방법으로 갭 스페이서를 형성하고, 자기 갭(12)을 형성하도록 금속 자성막(14) 단면을 맞붙이고, 위치를 결정하여 하프 코아블럭(11)을 접합유리에 의하여 접합한다. 그리고 자기 기록매체(도면생략)와의 접동 접촉면(19)을 소정의 폭으로 볼록한 형태(凸형태)로 가공하고, 그 후에 자기 갭(12)별로 절단선 X-Y에 따라 절단하여 자기 코아 팁을 잘라내므로서[제4g도] 제5도에 나타난 자기 헤드코아가 얻어진다.

이와 같은 공정에 의하여 제조되는 종래의 자기 헤드 코아는 자기 갭(12)의 갭 깊이를 규제하는 코일 권선홈(18)의 상단부분, 다시 말하면, 금속 자성막(14) 쌍방의 접합부 내단(아펙스a) 부근이, 제6도에 확대하여 모식적으로 표시한 바와 같은 구조로 되어 있다. 즉, 자기 갭(12)을 형성하고 있는 금속 자성막(14)중 한쪽의 내단부가 코일 권선홈(18)에 노출된 상태로 되어 있다. 이때문에 금속 자성막(14)이 노출된 부분에서 접합유리의 기포(A)가 발생하기 쉽게 되어 있다. 이 기포(A)는 자기 갭(12)의 아펙스 a보다도 상방으로 들어가 있어 갭 깊이를 부정확하게 한다. 또, 코일 권선홈(18)의 가공 공정에 있어서는 유리(17)와 이보다 강도가 높은 페라이트로 된 하프 코아블럭(11)의 쌍방을 연마하지 않으면 안되므로 숫돌 경도가 높은 페라이트에 알맞는 입자 굵기가 비교적 거치른 경질의 것을 사용할 필요가 있다. 그러나 이와 같은 숫돌에 의해 코일 권선홈(18)의 가공을 행하면, 아펙스 근방에서 금속 자성막(11)과 접합되어 있는 하프 코아블럭(11)의 접합부 부근에 칩핑(Chipping)(B)이 생기기 쉽게 된다. 또한 코일 권선홈(18)의 가공은 갭 깊이의 규제로 겸하여 행하게 되므로 코일 권선홈(18)의 갭 깊이 규제측의 면내에 남기는 유리의 양에 자유도가 없게 되어 있다.

본 발명은 종래의 이러한 종류의 자기 헤드 코아의 제조방법에 의해서 생기는 앞에 설명한 문제점을 해소하고, 아펙스 근방에서의 금속 자성막으로부터의 기포발생을 저감시키고 금속 자성막과의 접합부 부근의 하프 코아의 칩핑의 발생을 억제하고 코일 권선홈의 갭 깊이 규제측의 면에 필요한 유리량을 남길 수 있는 자기 헤드 코아의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 종래의 자기 헤드 코아의 제조방법의 문제점이 유리 충전후에 있어서의 코일 권선홈의 형성에 의하여 자기 갭의 깊이도 동시에 규제하고자 하므로써 애써 형성한 보호막이 효과적으로 활용될 수 없다는 문제점의 인식하에서 완성된 것이다.

따라서 본 발명에 의한 자기헤드의 제조방법은 한쌍의 하프 코아블럭의 맞닿음면에 박막 부착홈을 형성하고 이 박막 부착홈에 자기 갭을 형성할 금속 자성막을 부착시킨 후에, 이 박막 부착홈과 직교시켜 갭 깊이를 규제하는 깊이 규제홈에 걸쳐지고 동시에 박막 부착홈에 인접시켜서 트랙 규제홈을 형성하고 다음에 상기 깊이 규제홈과 박막 부착홈 및 트랙폭 규제홈의 전면을 덮도록 보호막을 형성한 후, 이 보호막을 형성한 깊이 규제홈과 박막 부착홈 및 트랙폭 규제홈내에 유리를 용융 충전하고, 다음에 보호막을 부착시킨 깊이 규제홈의 깊이 규제면에 유리를 남겨서 이 깊이 규제홈에 중첩시켜 코일 권선홈을 형성하고 그 후에 맞닿음 면을 연마하여 자기 갭이 되는 금속 자성막의 끝면을 노출시킨 후에 이 금속 자성막의 끝면을 맞대어 하프 코아블럭을 접합하고, 그후에 이 접합 코아블럭을 자기 갭별로 절단하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 의한 자기 헤드 코아의 제조방법의 하나의 실시예를 제1a도부터 h도의 공정순으로 설명한다.

먼저, 하프 코아블럭(11)의 맞닿음면(11a)에 대하여 V자형의 박막 부착홈(13)을 형성하고[제1a도], 이 박막 부착홈(13)에 대하여 샌더스트 등의 금속 자성막(14)을 스퍼터링 등의 방법으로 부착 형성한다[제1b도]. 여기까지의 공정을 종래예와 동일하다.

다음에 맞닿음면(11a)을 랩 연마하여 박막 부착홈(13)내에 금속 자성막(14)을 남긴 후, 박막 부착홈(13)의 형성방향에 직교시켜 소정 위치에 깊이 규제홈(30)을 형성한다[제1c도].

이 깊이 규제홈(30)은 자기 갭(12)의 깁 깊이를 규제하기 위한 것이다.

깊이 규제홈(30)을 형성한 후, 이 깊이 규제홈(30)에 걸쳐지게 하고 동시에 박막 부착홈(13)에 근접시켜, 이 박막 부착홈(13)에 부착 형성되는 금속 자성막(14)의 일부를 절결하도록 트랙폭 규제홈(16)을 가공 형성한다[제1d도].

다음에 금속 자성막(14)이 형성된 박막 부착홈(13)과 깊이 규제홈(30) 및 트랙폭 규제홈(16)에 스퍼터링 등의 박막 부착수단에 의하여 보호막(31)을 형성하고 그 위에 유리(17)를 용융 충전한다[제1e도].

보호막(31)은 Cr, Ti, Zn, Hf 등의 활성화 금속 또는 SiO₂, Ta₂O 등의 금속 산화물중 하나를 단층으로 형성하여도 좋으나, 상기 활성화 금속과 금속 산화물을 적층으로 형성할 수도 있다.

적층형성의 경우에는, 예를 들면, 먼저 Cr를 스퍼터링하고, 다시 그 위에 SiO₂를 스퍼터링하여 형성한다.

그리고, 보호막(31)은 상기 활성화 금속과 금속 산화물의 복합체에 의하여 형성할 수도 있다. 이 경우에는, 예를 들면, Cr와 SiO₂의 복합체 소결 타겟트를 스퍼터링하여 형성한다. 이와 같은 보호막(31)은 유리(17)의 용융 충전시에 하프 코아블럭(11)의 재료인 페라이트 등의 산화물 자성체나, 금속 자성막(14)의 재료인 샌더스트 등이 유리(16)에 의하여 침식되는 것을 방지함과 동시에, 금속 자성막(14)의 권선홈 측으로의 끝부의 노출을 방지하고 노출에 의한 기포의 발생을 억제하게 되는 것으로서 본 발명의 특징이 있는 것이다.

다음에 맞닿음편(11a)쪽으로부터 깊이 규제홈(30)과 평행으로 코일 권선홈(32)을 형성한다. 이 코일 권선홈(32)은 보호막(31)이 부착 형성된 깊이 규제홈(30)의 일부를 깊이 규제면(30a)를 남기고 절결하도록 형성된다[제1f도].

그리고 다음 공정에서 맞닿음면(11a)을 금속 자성막(14)의 접합면이 소정량 노출될때까지 숫돌에 의하여 랩 연마하고 자기 갭(12)의 갭폭을 결정한다[제1g도].

이것으로 깊이 규제홈(30)의 깊이 규제면(30a)에는 코일 권선홈(32)의 연삭폭에 따른 유리(17)가 남겨진다.

최후의 공정에서 접합면의 연마가 종료된 한쌍의 하프 코아블럭(11)을 자기 갭(12)이 될 접합면의 위치를 결정하여 맞대고 접합유리에 의하여 접합시켜 접합 코아블럭을 형성한다[제1h도]. 그리고 섭접면(19)을 소정의 폭으로 볼록한 형태(凸형태)로 선단 가공한 후, 접합 코아블럭을 절단선 X-Y에 따라 소정의 폭으로 절단하므로서 제2도에 나타낸 바와 같은 자기 헤드 코아가 얻어진다.

상기 공정에서 얻어진 자기 헤드 코아는 보호막(31)이 깊이 규제홈(30)의 깊이 규제면(30a)에도 형성되고, 이 깊이 규제면(30a)상에는 유리(17)도 부착 형성되어 있다. 즉, 보호막(31)은 맞대어져 자기 갭(12)을 형성하는 금속 자성막(14)의 한쪽에서 아펙스 부근의 끝부에도 형성되어 있다. 따라서, 이 보호막(31)에 의하여 금속 자성막(14)의 단부가 보호되고 기포의 발생, 또는 기포의 자기 갭내에 침입을 억제할 수 있다. 그리고 코일 권선홈(32)은 코일 권선용으로만 형성되고 갭깊이의 규제는 깊이 규제홈(30)에 의하여 이루어지므로 코일 권선홈(32)의 형성정도에 따라 깊이 규제면(30a)에 유리(17)가 남는 양을 자유로이 조정할 수가 있다. 그리고 코일 권선홈(32)은 그 형성공정에 있어서 갭 깊이측의 면을 연삭할때에 유리(17)만을 연삭하고 하프 코아블럭(11)에는 미치지 않는다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 자기 헤드코아의 제조방법은 갭 깊이를 규제하기 위한 깊이 규제홈과 코일 권선홈을 분할하고 양 홈의 형성을 별도의 공정으로 행하고 보호막을 그 형성공정에서 깊이 규제홈에도 형성하므로서 아펙스 근방에 있어서의 금속 자성막의 단부를 덮도록 하였으므로, 금속 자성막 단부로부터의 기포의 발생을 저감할 수 있음과 동시에 금속 자성막과 접하는 하프 코아의 칩핑도 저감될 수 있고, 깊이 규제홈에 남겨지는 유리를 코일 권선홈의 형성정도에 따라 필요한 양만큼 남길수가 있게 된다.

Claims (4)

1. 한쌍의 하프 코아블럭의 맞닿음면에 박막 부착홈을 형성하고, 상기 박막 부착홈에 자기 갭을 형성하는 금속 자성막을 부착한 후, 상기 박막 부착홈과 직교시켜 갭 깊이를 규제하는 깊이 규제홈을 형성하고, 상기 깊이 규제홈에 걸쳐지고 동시에 박막 부착홈에 인접시켜 트랙폭 규제홈을 형성하고, 다음에 상기 깊이 규제홈과 상기 박막 부착홈 및 상기 트랙폭 규제홈의 전면을 덮도록 보호막을 형성하고, 다음에 상기 보호막을 형성한 상기 깊이 규제홈과 상기 박막 부착홈 및 상기 트랙폭 규제홈내에 유리를 용융 충전하고, 다음에 보호막을 부착시킨 깊이 규제홈의 깊이 규제면에 상기 유리를 남기고 상기 깊이 규제홈에 중첩시켜 코일 권선홈을 형성하고, 그 후에 맞닿음면을 연마하여 자기 갭이 되는 금속 자성막의 단면을 노출시킨 후 상기 금속 자성막의 단면을 맞대어서 하프 코아블럭을 접합하고, 그후에 상기 접합 코아블럭을 자기 갭마다 절단하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 코아의 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 보호막은 활성화 금속 또는 금속 산화물의 단층막으로 되어 있는 자기 헤드 코아의 제조방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 보호막은 활성화 금속과 금속 산화물의 적층막으로 되어 있는 자기 헤드 코아의 제조방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 보호막은 활성화 금속, 금속 산화물의 복합체로 되어 있는 자기 헤드 코아의 제조방법.

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