JPH04111208A - 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、メタルテープや蒸着テープの如き高抗力の磁
気記録媒体へ、信号記録するために好適な磁気ヘッドに
関するものである。

（従来の技術） 斯種磁気ヘットとして、第１５図に示す如き複合型磁気
ヘッドが提案されている（特開昭６３−１８１１０５　
［Ｇ１１Ｂ５／１２７）　）。該磁気ヘッドは、一対の
磁気コア半体（９）（９１）の突合せ部に、磁気ギヤツ
ブ部（９４）と該磁気ギャップ部を挟んで対向する一対
の強磁性金属薄膜（９２０９３）を形成し、磁気ギャソ
フ部（９４）及び両弾磁性金属薄膜（９２）　（９３）
のトラック幅方向の両側には、ガラス製のトラック幅規
制部（９５）　（９６）を設け、一方の磁気コア半体（
９）にはコイル窓（９７）を開設したものである。

又、該磁気ヘッドにおいては、磁気ギャップ部（９４）
の両側に断差部（８２）（８３）を凹設している。

（解決しようとする課題） ところが第１５図の複合型磁気ヘッドにおいては、磁気
テープとの対接面（９０）に断差部（８２）（８３）を
凹設しているから、対接面（９０）の幅Ｗが狭くなり、
この為、磁気ヘッドの使用に伴う対接面（９０）の摩耗
が激しく、ヘッド寿命が短い問題があった。

一方、対接面幅を広げる為に、断差部（８２）（８３）
を省略すると、第１４図に示す如く対接面（９０）に、
強磁性金属薄膜（９２）（９３）の屈曲部Ｒが現われ、
該屈曲部Ｒが疑似ギャップとして作動する問題を生じる
。

本発明の目的は、対接面幅を広げた場合にも対接面に強
磁性金属薄膜の屈曲部が現われることのない複合型磁気
ヘッド及びその製造方法を提供することである。

（課題を解決する為の手段） 本発明に係る複合型磁気ヘッドは、第１図及び第２図の
如く、一対の磁気コア半体（１）（１１）の突合せ部に
、磁気ギャップ部（３）と該磁気ギャップ部（３）を挟
んで対向する一対の強磁性金属薄膜（２）（２１）を形
成し、磁気ギャップ部（３）及び両弾磁性金属薄膜（２
）（２１）のトラック幅方向の両側には非磁性のトラッ
ク幅規制部（４）（４１）を設けて構成され、記録媒体
との対接面（１０）及び該対接面と沿う方向の断面での
各強磁性金属薄膜（２）（２１）の形状が、磁気コア半
体（１ン（１２）、磁気ギャップ部（３）及びトラック
幅規制部（４）（４１）によって全周が包囲された多角
形であって、夫々磁気コア半体（１）（１１）側へ向っ
て突出する鋭角の角部Ａを有しいている。

又、本発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法は、 磁気コア半体となるウニ／１（１２）上の表面に、第１
の角度θ、で傾斜する斜面（１４）ををする第１ｖ字溝
（１３）を繰り返し凹設する工程（第３図）と、前記ウ
ェハ（１２）の溝形成面に、強磁性金属薄膜（２２）を
形成した後、該強磁性金属薄膜（２２）上にガラス（４
２）を充填する工程（第４図、第５図）と、上記ガラス
充填面に対し、前記第１角度よりも犬なる第２の角度θ
２で傾斜する斜面（１６）を有する第２Ｖ字溝（１５）
を、第１Ｖ字溝（１３）に重ねて繰り返し凹設して、第
１Ｖ字溝（１３）の底部を切除する工程（第６図）と、 上記ガラス充填面に対し、前記第２ｖ字溝（１５）の斜
面（１６）とは反対側の溝面に重ねて、トラ・ツク幅規
制溝（１７）を繰り返し凹設する工程（第７図）と、上
記ガラス充填面に研磨を施して、該研磨面に強磁性金属
薄膜（２２）及びガラス（４２）を露出せしめる工程（
第８図）と、 上記工程を経て得られた一対の積層体（６）（６１）の
内、少なくとも一方の積層体（６１）に、トラック幅規
制溝（１７）とは交差する方向へ伸びるコイル溝（５１
）を凹設する工程（第９図）と、上記両積層体（６）（
６１）をギャップスペーサ（３１）を介して互いに接合
し、一体の積層ブロック（７）を作製した後、該積層ブ
ロック（７）に機械加工を施して、複数のヘッドチップ
を得る工程（第１０図乃至第１２図） とを有している。

（作用及び効果） 上記複合型磁気ヘッドの製造方法においては、第５図に
示す強磁性金属薄膜（２２）は、第１ｖ字溝（１３）の
底部に形成された部分が屈曲しており、該屈曲部が従来
の磁気ヘッドにおける対接面上の屈曲部となっていたが
、本発明においては、第６図に示す第２Ｖ字溝（１５）
の形成によって、前記強磁性金属薄膜（２２）の屈曲部
が取り除かれる。

従って、上記工程を経て第１図及び第２図の如く最終的
に得られた本発明に係る複合型磁気ヘッドにおいては、
対接面幅を広げた場合でも、対接面或いは対接面と沿う
方向の断面に、従来の如き強磁性金属薄膜の屈曲部は現
われない。

（実施例） 実施例は本発明を説明するためのものであって、特許請
求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲を減縮する様
に解すべきではない。

第１図は本発明に係る複合型磁気ヘツ、ドの一例を示し
ている。

該磁気ヘッドは、一対の磁気コア半体（１）（１１）の
突合せ部に、磁気ギャップ部（３）と、該磁気ギャップ
部（３）を挟んで対向する一対の強磁性金属薄膜（２）
（２１）とを形成し、磁気ギャップ部（３）及び両弾磁
性金属薄膜（２）（２１）のトラック幅方向の両側には
ガラス製のトラック幅規制部（４）（４１）を設けて構
成されている。又、一方の磁気コア半体（１１）にはコ
イル窓（５）が開設されている。

第２図の如く、記録媒体との対接面（ｌＯ）に沿う方向
の断面での各強磁性金属薄膜（２）（２１）の形状は、
該断面の中央部で閉じた多角形であって、夫々磁気コア
半体（１）（１１）側へ向って突出する鋭角の角部Ａを
有しいている。

強磁性金属薄膜（２）と磁気コア半体（１）との境界面
は、磁気ギャップ部（３）の形成面との為す角度θ、が
略４０度乃至４５度に形成されと共に、強磁性金属薄膜
（２）とトラック幅規制部（４１）との境界面は、磁気
ギャップ部（３）の形成面との為す角度θ２が略５０度
乃至６０度に形成され、画境界面の交差によって前記鋭
角の角部Ａが形成されている。

又、テープ対接面（１０）の幅Ｗは、例えば１６０乃至
１７５μｍに形成される。

以下、上記複合型磁気ヘッドの製造方法について説明す
る。

第３図の如（、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト等の強磁性酸化
物からなるウェハ（１２）を作製し、該ウェハ（１２）
の表面に、前記角度θ１（略４０度乃至４５度）で傾斜
する斜面（１４）を有する第１Ｖ字溝（１３）を一定ピ
ツチで凹設する。

第４図の如く、前記ウェハ（１２）の溝形成面に、スパ
ッタリング、真空蒸着等の薄膜形成技術を用いて、Ｆｅ
−Ａｌ−８Ｌ系合金、非晶質合金等からなる強磁性金属
薄膜（２２）を形成する。そして、必要に応じて、該強
磁性金属薄膜（２２）の表面に、例えばＣｒ。

Ｔａ及びＳｉＯ□の積層薄膜からなる非磁性高硬度保護
膜を形成する。該保護膜は、強磁性金属薄膜（２２）と
後記ガラース層との反応を防止する効果を発揮する。

その後、強磁性金属薄膜（２２）或いは非磁性高硬度保
護膜の上に、第５図の如く低融点ガラス（４２）を充填
し、該ガラス充填面を研磨する。この際、ガラス層を通
して第１Ｖ字溝（１３）の位置が確認出来る程度の深さ
まで、例えばガラス層の厚さが数μｍとなるまで研磨を
施す。

次に、第６図の如く上記ガラス充填面に対し、第１Ｖ字
溝（１３）と重なる位置へ、前記角度θ２（略５０度乃
至６０度）で傾斜する斜面（１６）を有する第２Ｖ字溝
（１５）を一定ピツチで形成する。これによって、第１
Ｖ字溝（１３）の底部に設けられた強磁性金属薄膜（２
２）の屈曲部が切除される。この際、ガラス（４２）は
強磁性金属薄膜（２２）の剥離、ウエハ（１２）の欠は
等を防止する効果を発揮する。

更に、第７図の如く上記ガラス充填面に対し、前記第２
ｖ字溝（１５）の斜面（１６）とは反対側の溝面と重な
る位置へ、７字状のトラック幅規制溝（１７）を一定ピ
ツチで凹設して、ウェハ（１２）の第１斜面（１４）以
外の領域に形成された強磁性金属薄膜（２２）を切除し
、第１斜面（１４）上の強磁性金属薄膜（２２）のみを
残す。

上記ガラス充填面に更に研磨を施して、該研磨面に第８
図の如く強磁性金属薄膜（２２）及びガラス（４２）を
露出せしめ、強磁性金属薄膜（２２）の幅がトラック幅
Ｔに一致した積層体（６）を作製する。

上記工程を経て得られた一対の積層体（６）（６１）の
内、一方の積層体（６１）に、第９図の如くトラック幅
規制溝（１７）とは交差する方向へコイル溝（５１）及
びガラス溝（５２）を研削加工する。

上記両積層体（６）（６１）の少なくとも一方の接合面
にギャップスペーサ（３１）を形成した後、第１０図の
如く両積層体（６）（６１）を接合する。この際、両積
層体（６）（６１）の強磁性金属薄膜（２２）の端面が
トラック幅方向に合致する様、接合位置を設定する。

この状態でガラス溝（５２）にガラス棒を挿入し、加熱
炉内でガラス棒を溶融せしめることにより、溶融ガラス
を前記第２ｖ字溝（１５）及びトラック幅規制溝（１７
）内へ流入せしめ、ガラス部（４３）を形成する。これ
によって両積層体（６）（６１）が一体化される。

上記接合工程により積層ブロック（７）を第１０図の鎖
線に沿って切断し、第１１図のブロック片（７１）を得
る。そして、該ブロック片（７１）に対し、第１２図の
如く所定の曲率を有する対接面（７３）を研磨加工して
、ヘッドブロック（７２）を作製する。

該ヘッドブロック（７２）を第１２図の鎖線に沿って切
断することにより、第１図に示すヘッドチップが完成す
る。

上記複合型磁気ヘッドによれば、対接面（ｌＯ）の幅Ｗ
を広げた場合でも、対接面（１０）に従来の如き強磁性
金属薄膜の屈曲部は現われないから、ヘッド寿命が伸び
ると同時に、疑似ギャップによるノイズが防止される。

又、上記複合型磁気ヘッドの製造方法によれば、第５図
に示すガラス層の形成により、高い歩留りが実現される
。

上記実施例の説明は、本発明を説明するためのものであ
って、特許請求の範囲に記載の発明を限定し１或は範囲
を減縮する様に解すべきではない。

又、本発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である
ことは勿論である。

例えば、必要に応じて、第１３図の如く磁気ギャップ部
（３）の両側に段差部（８）（８１）を凹設して、対接
面幅を規制することも可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る複合型磁気ヘッドの斜視図、第２
図は第１図ｎ−ｎ線に沿う拡大断面図、第３図乃至第１
２図は本発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法を示す
一連の工程図、第１３図は対接面に段差部を有する複合
型磁気ヘッドの斜視図、第１４図は従来の複合型磁気ヘ
ッドの要部を示す平面図、第１５ｒＸＪは従来の複合型
磁気ヘッドの斜視図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］一対の磁気コア半体（１）（１１）の突合せ部に
   、磁気ギャップ部（３）と該磁気ギャップ部（３）を挟
   んで対向する一対の強磁性金属薄膜（２）（２１）を形
   成し、磁気ギャップ部（３）及び両強磁性金属薄膜（２
   ）（２１）のトラック幅方向の両側には非磁性のトラッ
   ク幅規制部（４）（４１）を設けた複合型磁気ヘッドに
   於て、記録媒体との対接面（１０）及び該対接面と沿う
   方向の断面での各強磁性金属薄膜（２）（２１）の形状
   が、磁気コア半体（１）（１１）、磁気ギャップ部（３
   ）及びトラック幅規制部（４）（４１）によって全周が
   包囲された多角形であって、磁気コア半体（１）（１１
   ）側へ向って突出する鋭角の角部Ａを有していることを
   特徴とする複合型磁気ヘッド。 ［２］一対の磁気コア半体（１）（１１）の突合せ部に
   、磁気ギャップ部（３）と該磁気ギャップ部（３）を挟
   んで対向する一対の強磁性金属薄膜（２）（２１）を形
   成し、磁気ギャップ部（３）及び両強磁性金属薄膜（２
   ）（２１）のトラック幅方向の両側には非磁性のトラッ
   ク幅規制部（４）（４１）を設けた複合型磁気ヘッドの
   製造方法に於て、 磁気コア半体となるウェハ（１２）上の表面に、第１の
   角度θ＿１で傾斜する斜面（１４）を有する第１Ｖ字溝
   （１３）を繰り返し凹設する工程と、前記ウェハ（１２
   ）の溝形成面に、強磁性金属薄膜（２２）を形成した後
   、該強磁性金属薄膜（２２）上にガラス（４２）を充填
   する工程と、 上記ガラス充填面に対し、前記第１角度よりも大なる第
   ２の角度θ＿２で傾斜する斜面（１６）を有する第２Ｖ
   字溝（１５）を、第１Ｖ字溝（１３）に重ねて繰り返し
   凹設して、第１Ｖ字溝（１３）の底部を切除する工程と
   、 上記ガラス充填面に対し、第２Ｖ字溝（１５）の斜面（
   １６）とは反対側の溝面に重ねて、トラック幅規制溝（
   １７）を繰り返し凹設する工程と、上記ガラス充填面に
   研磨を施して、該研磨面に強磁性金属薄膜（２２）及び
   ガラス（４２）を露出せしめる工程と、 上記工程を経て得られた一対の積層体（６）（６１）の
   内、少なくとも一方の積層体（６１）に、トラック幅規
   制溝（１７）とは交差する方向へ伸びるコイル溝（５１
   ）を凹設する工程と、 上記両積層体（６）（６１）をギャップスペーサ（３１
   ）を介して互いに接合し、一体の積層ブロック（７）を
   作製した後、該積層ブロック（７）に機械加工を施して
   、複数のヘッドチップを得る工程 とを有することを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方
   法。