KR900000585A - 와이어링(wiring) 패턴 검출방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

와이어링(wiring) 패턴 검출방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2도는 기판위의 와이어링 패턴의 사시도,
제 3도는 삼각 측량을 사용하는 종래의 검출방법을 설명하는 사시도,
제 4도는 종래 방법의 문제점을 설명하는 사시도,
제 5도는 종래 방법의 문제점을 설명하는 그래프.

Claims (12)

  1. 광원으로부터 주사된 광 비임에 의하여 기판위에 있는 검출된 와이어링 패턴을 조명하는 단계와, 와이어링 패턴의 형태에 따른 위치에서 집광 렌즈를 통하여 와이어링 패턴과 기판으로부터 반사된 광을 블러-포커싱하는 단계와, 블러-포커스된 반사광이 들어가는 비임-스프리터를 통하여 비임-스프리터의 일부에 응답하는 비율로 각각 다른 방향을 갖는 반사광과 전도된 광으로 블러-포커스된 반사광을 운리하는 단계와, 광학센서를 사용하는 분리된 반사광과 전도된 광을 각각 검출하는 단계와, 반사광과 전도된 광의 양의 차를 측정하는 단계와, 측정된 차로부터 와이어링 패턴의 높이에 대한 상위 임계값과 하위 임계값을 결정하는 단계등으로 이루어지는, 그의 높이를 검출하기 위하여 삼각 측량법을 사용하는 와이어링 패턴의 검출방법.
  2. 제1항에 있어서, 블러-포커싱이 집광 렌즈 다음에 슬릿을 제공함으로써 이루어지는 와이어링 패턴의 검출방법.
  3. 제1항에 있어서, 블러-포커싱이 집광 렌즈의 집광점으로부터 비임-스프리터의 위치를 벗어나게 함으로써 이루어지는 와이어링 패턴의 검출방법.
  4. 제2항 또는 3항에 있어서, 기준에서 벗어난 부분으로 표시하기 위하여 소정의 고정된 상위 임계 레벨 및 하위 임계 레벨과 반사광 및 전도된 광 사이의 측정된 차를 비교하는 단계를 더 포함하는 와이어링 패턴의 검출방법.
  5. 제4항에 있어서, 상·하위 임계 레벨들 중의 하나가, 와이어링 패턴의 기판 높이가 높을때 임계 레벨을 높게 만들고 기판의 높이가 낮을때 임계 레벨을 낮게 만드는 수정계수에 의하여 보정되는 와이어링 패턴의 검출방법.
  6. 광원으로부터 광 비임을 회전 다면경과 주사 렌즈를 통하여 주사하는 단계와, 주사된 광 비임에 의하여 기판 위에 있는 검출될 와이어링 패턴을 조명하는 단계와, 와이어링 패턴의 형태에 대응하는 위치에서 집광 렌즈를 통하여 와이어링 패턴과 기판으로부터 반사된 광을 집광하는 단계와, 집광된 반사광이 들어가는 대체로 완전히 전도되는 부분, 중간 반사부 및 중간 전도된부 그리고 대체로 완전히 반사되는 부분을 가지는 비임- 스프티터를 통하여 비임-스프리터의 일부에 응답하는 비율로 각각 다른 방향을 갖는 반사광과 전도된 광으로 집광된 반사광을 분리하는 단계와, 광학센서를 사용하는 분리된 반사광과 전도된 광을 각각 검출하는 단계와, 반사광과 전도된 광의 양의 차를 측정하는 단계와, 비임-스프리터에서 중간 반사는 영역의 폭에 대응하는 값으로서 측정된 차로부터 와이어링 패턴의 높이에 대한 사우이 임계값과 하위 임계값을 결정하는 단계 등으로 이루어지는, 그의 높이를 검출하기 위하여 삼각 측량법을 사용하는 와이어링 패턴의 검출방법.
  7. 주사된 광 비임에 의하여 조명되는 그의 와이어링 패턴과 기판으로부터 반사된 광 비임을 수신하고 반사된 광 비임을 블러-포커싱하기 위한 집광 렌즈와, 집광 렌즈로부터 광 비임을 수신하고 반사광 비임과 전도된 광 비임 각각을 따로따로 출력하며 그의 양이 와이어링 패턴의 형태에 대응하는 입사광 비임 위치에 대응하는 비임-스프리터와, 비임-스프리터로부터 반사광 비임과 전도된 광 비임을 각각 수신하기 위한 두개의 광학센서와, 와이어링 패턴 높이의 상·하 허용한계에 대응하는 상·하위 임계값을 얻기 위하여 두개의 광학센서의 출력들 사이의 차를 결정하기 위한 차동증폭기 등으로 이루어지는, 그의 높이를 검출하기 위하여 삼각 측량법을 사용하는 와이러링 패턴의 검출장치.
  8. 제7항에 있어서, 집광 렌즈를 통하여 반사광 비임을 확장시키기 위하여 집광 렌즈 다음에 슬릿을 더 포함하는 와이어링 패턴의 검출장치.
  9. 제7항에 있어서, 비임-스프리터가 집광 렌즈의 집광점으로부터 벗어나게 놓여진 와이어링 패턴의 검출장치.
  10. 제8항 또는 9항에 있어서, 차동증폭기의 출력을 수신하고 소정의 고정된 상위 임계레벨과 차동증폭기의 출력을 비교하기 위한 첫번째 비교기와, 차동증폭기의 출력을 수신하고 소정의 고정된 하위 임계레벨과 차동증폭기의 출력을 비교하기 위한 두번째 비교기등을 더 포함하는 와이어링 패턴의 검출장치.
  11. 제10항에 있어서, 차동증폭기의 출력을 수신하고 기판레벨을 추출하는 추출부와, 추출부의 출력을 수신하고, 기판 레벨의 증가에 따라 증가하는 보정계수를 연산하기 위한 보정계수 연산부와, 추출부와 보정계수 연산부의 출력들을 수신하고, 첫번째와, 두번째 비교기중의 하나에 대한 슬라이스 레벨을 결정하기 우한 슬라이스 레벨 결정부등을 더 포함하는 와이어링 패턴의 검출장치.
  12. 광 비임을 발사하기 우한 광원과, 와이어링 패턴위의 광 비임을 주사하기 위한 회전 다면경 및 주사 렌즈와, 그의 와이어링 패턴과 기판으로부터 반사된 광 비임을 수신하고, 반사광 비임을 집광시키는 집광 렌즈와, 입사광 비임을 반사는 영역과 대체로 절반 반사하고 대체로 절반 전도하는 영역 및 입사광 비임을 전도하는 영역을 가지며, 집광 렌즈로부터 광 비임을 수신하고, 와이어링 패턴의 형태에 대응하는 입사광 비임 위치에 따른 양으로 반사광 비임과 전도된 광 비임 각각을 따로따로 출력하기 위한 비임-스프리터와, 비임-스프리터로부터 반사광 비임과 전도된 광 비임 각각을 수신하기 위한 두개의 광학센서와, 와이어링 패턴 높이의 허용상, 하한계에 대응하는 상·하위 임계값이 결정되도록 두개의 광학센서의 출력들 사이의 차를 연산하기 위한 차동증폭기와, 와이어링 패턴 높이의 상·하한계 사이의 크기에 대응하는 광 비임을 대체로 절반 반사하고 대체로 절반 전도하는 비임-스프리터의 영역의 폭으로 이루어지는, 그의 높이를 검출하기 위하여 삼각 측량법을 사용하는 와이어링 패턴의 검출장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890006595A 1988-05-20 1989-05-17 와이어링(wiring) 패턴 검출 방법 및 장치 KR920004087B1 (ko)

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