JPH04120364U - 欠陥検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 欠陥が表面・裏面・内部のどこに位置するか
を判別する。 【構成】 レーザスキャナ１から出たレーザ光はガラス
６の表面に欠陥があると、乱反射光となり検出器２で検
出される。レーザスキャナ３から出たレーザ光はガラス
６の裏面に欠陥があると、乱反射光となり検出器４で検
出される。検出器２，４は受光した乱反射光に応じた信
号をコントローラ５へ送る。コントローラ５は、信号を
比較することにより欠陥が表面・裏面・内部のどこにあ
るのかを判別する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は欠陥検出装置に関し、ガラスやフィルム等の透明体の欠陥を検出する のに用いて有用である。

【０００２】

【従来の技術】

図４及び図５にガラスの欠陥検出装置の従来例を示す。レーザスキャナ５１か らでたレーザ光はガラス５３で反射し、検出器５２に入る。ここで検出器５２に は図６の様にマスク５４が検出器５２の中央部に貼ってあり、正反射光をカット する。したがって、ガラス５３に欠陥がないと、乱反射が少い為、検出器５２で 検出される信号は小さい。ガラス５３に欠陥があると、乱反射が多い為、検出器 ５２で検出される信号は大きい。この様にして、ガラスの欠陥を検出している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、被検査物が液晶用ガラス基板などの場合、液晶面となる表面は検査 基準が厳しく、内部や裏面は検査基準がゆるい。したがって、欠陥がどこにある かによって、検査の良否レベルを変更する必要がある。しかるに、前記従来例で は図７に示すように、欠陥５５がガラス５３の表面（図７（ａ）），裏面（図７ （ｂ）），内部（図７（ｃ））のどこにあっても、欠陥による乱反射が検出器５ ２で検出され、欠陥がどこにあるのか区別がつかなかった。 本考案は、上記従来技術に鑑み、欠陥の深さ位置を判定することのできる欠陥 検出装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決する本考案の構成は、被検査物の表面にレーザ光をスキャンす る第１のレーザスキャナと、 被検査物の表面側で乱反射したレーザ光を受光し受光量に応じた値の信号を出 力する第１の検査器と、 被検査物の裏面にレーザ光をスキャンする第２のレーザスキャナと、 被検査物の裏面側で乱反射したレーザ光を受光し受光量に応じた値の信号を出 力する第２の検査器と、 第１の検出器の信号及び第２の検出器の信号を受けて両信号を比較・演算する ことにより、欠陥が被検査物の表面・裏面・内部のどことにあるのかを判別して 検出するコントローラと、で構成したことを特徴とする。

【０００５】

【作用】

表面に欠陥があるときは表面側の検出器の信号が大きくなり、裏面に欠陥があ るときは裏面側の検出器の信号が大きくなるので、検出器の信号の大きさを比較 することにより欠陥が表面・裏面・内部のどこにあるのかが判る。

【０００６】

【実施例】

以下に本考案の実施例を図面に基づき詳細に説明する。図１は本考案の実施例 を示す。同図に示すように、被検査物であるガラス６の表面側にはレーザスキャ ナ１及びマスク２ａを備えた検出器２が配置されており、ガラス６の裏面側には レーザスキャナ３及びマスク４ａを備えた検出器４が配置されている。ガラス６ の表面に欠陥があるときには、レーザスキャナ１から出たレーザ光はガラス６の 表面で乱反射し、乱反射した光が検出器２に入り、これにより欠陥が表面側にあ ることがわかる。検出器２は、受光した乱反射光に応じた信号をコントローラ５ へ送る。一方、ガラス６の裏面に欠陥があるときには、レーザスキャナ３から出 たレーザ光はガラス６の裏面で乱反射し、乱反射した光が検出器４に入り、これ により欠陥が裏面側にあることがわかる。検出器４は、受光した乱反射光に応じ た信号をコントローラ５に送る。

【０００７】 図１において、ガラス６は図示しない移動装置によって、左から右に移動する 。欠陥７が図２の位置にきた時の検出器２の信号をＳ１とする。同様に欠陥７が 図３の位置にきた時の検出器４の信号をＳ２とする。欠陥が表面にあれば欠陥に よる乱反射光を検出器２が検出器４に比べ多く検出する。欠陥が裏面にあれば欠 陥による乱反射光を検出器４が検出器２に比べ多く検出する。欠陥が内部にあれ ば、欠陥による乱反射光の検出量は検出器２も検出器４もあまり変わらない。し たがって次の関係式が成り立つ。 表面欠陥の時 Ｓ₁ ＞Ｋ・Ｓ₂ ・・・ イ 裏面欠陥の時 Ｓ₂ ＜Ｋ・Ｓ₁ ・・・ ロ 内部欠陥の時 上記イ・ロ以外 ここでＫは１以上の定数

【０００８】 これにより、コントローラ５は、表面・裏面・内部のどこに欠陥があるのか区 別ができる。また、各々の欠陥の時、別々の良否レベルのしきい値を与えること ができるので、欠陥場所により、検出基準を変えることができる。これらの演算 及び判別をコントローラ５で行う。以上述べた事をガラス６のすべての場所にわ たって行い、ガラス６の表・裏面の全面を検査する。

【０００９】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、欠陥が被検査物の表面・裏面・内部のど こにあるのか区別ができ、また、各々の時、別々の良否レベルのしきい値を与え ることができるので、検査精度を上げ、かつ、製品の歩留りを向上することがで きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係る欠陥検出装置を示す構成
図である。

【図２】実施例の欠陥検出装置を示す構成図である。

【図３】実施例の欠陥検出装置を示す構成図である。

【図４】従来の欠陥検出装置を示す構成図である。

【図５】従来の欠陥検出装置を示す構成図である。

【図６】従来の欠陥検出装置を示す構成図である。

【図７】従来装置の欠点を説明するための説明図であ
る。

【符号の説明】

１，３，５１ レーザスキャナ ２，４，５２ 検出器 ２ａ，４ａ，５４ マスク ５ コントローラ ６，５３ ガラス ７，５５ 欠陥

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査物の表面にレーザ光をスキャンす
   る第１のレーザスキャナと、被検査物の表面側で乱反射
   したレーザ光を受光し受光量に応じた値の信号を出力す
   る第１の検査器と、被検査物の裏面にレーザ光をスキャ
   ンする第２のレーザスキャナと、被検査物の裏面側で乱
   反射したレーザ光を受光し受光量に応じた値の信号を出
   力する第２の検査器と、第１の検出器の信号及び第２の
   検出器の信号を受けて両信号を比較・演算することによ
   り、欠陥が被検査物の表面・裏面・内部のどことにある
   のかを判別して検出するコントローラと、で構成したこ
   とを特徴とする欠陥検出装置。