JPH0328750A - 表面検査機 - Google Patents
表面検査機Info
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- JPH0328750A JPH0328750A JP16439989A JP16439989A JPH0328750A JP H0328750 A JPH0328750 A JP H0328750A JP 16439989 A JP16439989 A JP 16439989A JP 16439989 A JP16439989 A JP 16439989A JP H0328750 A JPH0328750 A JP H0328750A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 36
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はカラス基材表面や、銅張積層板表面などの被検
査物の表面の汚れ、凹凸、傷等の欠陥を検出する表面検
査機に関するものである。
査物の表面の汚れ、凹凸、傷等の欠陥を検出する表面検
査機に関するものである。
［従来の技術］
この種の表面検査機は第７図に示すように照明装置６に
より被検査物２の検査面を３，゛［め方向より照明し、
その照明による被検査物２の検査面の反射光を被検査物
２の移動方向〈矢印方向〉に直交する方向と並行する方
向に走査方向を持つラインセンサ〕によって受光走査検
知し、その受光量に応じたラインセンサ１の電圧出力を
信号処理回路３で２値化して基型値と比較し、汚れや、
傷、或は凹凸による欠陥を識別するものである。
より被検査物２の検査面を３，゛［め方向より照明し、
その照明による被検査物２の検査面の反射光を被検査物
２の移動方向〈矢印方向〉に直交する方向と並行する方
向に走査方向を持つラインセンサ〕によって受光走査検
知し、その受光量に応じたラインセンサ１の電圧出力を
信号処理回路３で２値化して基型値と比較し、汚れや、
傷、或は凹凸による欠陥を識別するものである。
ところで被検査物２が移動方向に波打ち、しかもライン
センサ１の受光走査方向が被検査物２の植方向の線に斜
め（ Ａ − Ｂ ）となるように設定されている場合
、ラインセンサ１の受光走査検知出力も第８図に示すよ
うに波打ち、欠陥検出が困難となるという問題があった
。
センサ１の受光走査方向が被検査物２の植方向の線に斜
め（ Ａ − Ｂ ）となるように設定されている場合
、ラインセンサ１の受光走査検知出力も第８図に示すよ
うに波打ち、欠陥検出が困難となるという問題があった
。
そこで木発明者は特願平１． − ９ ５ ５ ２ ０
号として出願した表面検査機において、上述の問題点を
解消するようにした。
号として出願した表面検査機において、上述の問題点を
解消するようにした。
つまり本表面検査機は第９図に示すようにラインセンサ
１の前方に被検査物２の検査面粗さの傾斜角θの２倍の
入射角２θとなる窓孔４ａを開口した遮光板４と、この
窓孔４ａより入射した反射光を集光してラインセンサ１
の受光面に集光する集光レンズ５とを設けてある。
１の前方に被検査物２の検査面粗さの傾斜角θの２倍の
入射角２θとなる窓孔４ａを開口した遮光板４と、この
窓孔４ａより入射した反射光を集光してラインセンサ１
の受光面に集光する集光レンズ５とを設けてある。
この表面検査機てはラインセンサ１の受光部の走査方向
が被検査物２の幅方向に対して第１０図に示すａ． −
ｂ−ｃ − ｄのように斜めとなり、しがも被検査物
２の表面に移動方向の波打ちがあっても、第１１図で破
線に示すラインセンサ１の視点に於６フる反則角は傾斜
面ａ，ｃて夫々最小、最大となりこの最小と最大の範囲
が丁度、傾斜角度θの約２倍となり、従ってこの角度２
θの範囲の反射光がラインセンサ１の受光面で受光され
れはラインセンサ１の受光走査検知帛カにばらつきが生
じず、受光走査検知出方の波打ちを減少させることがで
きるのてある。
が被検査物２の幅方向に対して第１０図に示すａ． −
ｂ−ｃ − ｄのように斜めとなり、しがも被検査物
２の表面に移動方向の波打ちがあっても、第１１図で破
線に示すラインセンサ１の視点に於６フる反則角は傾斜
面ａ，ｃて夫々最小、最大となりこの最小と最大の範囲
が丁度、傾斜角度θの約２倍となり、従ってこの角度２
θの範囲の反射光がラインセンサ１の受光面で受光され
れはラインセンサ１の受光走査検知帛カにばらつきが生
じず、受光走査検知出方の波打ちを減少させることがで
きるのてある。
［発明が解決しようとする課題コ
ところが第９図の表面検査機は最大傾斜角２θの検出及
び遮光板４の通過範囲の設定調整を手動によって行って
いたため、多品種切り替えの多い被検査物の場合には調
整回数が多くて手間かがかるという問題があった。
び遮光板４の通過範囲の設定調整を手動によって行って
いたため、多品種切り替えの多い被検査物の場合には調
整回数が多くて手間かがかるという問題があった。
本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その目
的とするところは被検査物が変わっても自動的に最大傾
斜角を求めてそれに対応した遮光板の通過範囲を設定す
ることができる表面検査機を提供するにある。
的とするところは被検査物が変わっても自動的に最大傾
斜角を求めてそれに対応した遮光板の通過範囲を設定す
ることができる表面検査機を提供するにある。
［課題を解決するための千段］
本発明は被検査物の移動方向に直交する方向に受光走査
方向を持つラインセンサとにより被検査物の検査面から
の反射光を受光走査検知し、受光量に応したラインセン
サがらの検知出カを信号処３ 理回路で２値化して被検査物の表面の欠陥を検知する表
面検査機において、移動する被検査物の検査面に対向さ
せて定位置に配置され、検査面との距離を測定する距離
センサと、被検査物の移動量と距離センサの測定距離の
変化量とから被検査物の検査面の粗さの移動方向の最大
傾斜角度を演算する演算手段と、被検査物の検査面がら
の反射光を通過させ且つ通過範囲を可変可能な遮光手段
と、演算手段で求めた上記最大傾斜角度の約２倍の角度
範囲の入射角の反射光を通過させるように上記遮光手段
の通過範囲を可変駆動する駆動手段と、遮光手段を通過
した反射光をラインセンサの受光面に集光する集光レン
ズとを備えたものである。
方向を持つラインセンサとにより被検査物の検査面から
の反射光を受光走査検知し、受光量に応したラインセン
サがらの検知出カを信号処３ 理回路で２値化して被検査物の表面の欠陥を検知する表
面検査機において、移動する被検査物の検査面に対向さ
せて定位置に配置され、検査面との距離を測定する距離
センサと、被検査物の移動量と距離センサの測定距離の
変化量とから被検査物の検査面の粗さの移動方向の最大
傾斜角度を演算する演算手段と、被検査物の検査面がら
の反射光を通過させ且つ通過範囲を可変可能な遮光手段
と、演算手段で求めた上記最大傾斜角度の約２倍の角度
範囲の入射角の反射光を通過させるように上記遮光手段
の通過範囲を可変駆動する駆動手段と、遮光手段を通過
した反射光をラインセンサの受光面に集光する集光レン
ズとを備えたものである。
［作用コ
而して本発明では距離センサによって被検査物の検査面
の」二下変動を検出し、この距離センサの検出した距離
の変化量と被検査物の移動量とから演算手段により最大
傾斜角度を演算し、この演算結果に基づいて駆動手段が
遮光手段を駆動して演算手段で求めた上記最大傾斜角度
の約２倍の角度４ 範囲の入射角の反射光を通過させることができるように
通過範囲を設定する。
の」二下変動を検出し、この距離センサの検出した距離
の変化量と被検査物の移動量とから演算手段により最大
傾斜角度を演算し、この演算結果に基づいて駆動手段が
遮光手段を駆動して演算手段で求めた上記最大傾斜角度
の約２倍の角度４ 範囲の入射角の反射光を通過させることができるように
通過範囲を設定する。
このように本発明によれば自動的に被検査物の検査面の
波打ちの具合に応して遮光手段の通過範囲を追従変化さ
せて通過範囲が最大傾斜角度の約２倍の角度となるよう
に設定することができ、人手による調整が不要となるの
である。
波打ちの具合に応して遮光手段の通過範囲を追従変化さ
せて通過範囲が最大傾斜角度の約２倍の角度となるよう
に設定することができ、人手による調整が不要となるの
である。
［実施例］
以下本発明を実施例により説明する。
第１図は本発明の実施例の構或を示しており、この実施
例では移動搬送される被検査物２の検査面の上方に光電
式（あるいは接触式）の距離センサ６を配置し、この距
離センサ６により検査面の上下変動量を電圧変換するよ
うになっている。
例では移動搬送される被検査物２の検査面の上方に光電
式（あるいは接触式）の距離センサ６を配置し、この距
離センサ６により検査面の上下変動量を電圧変換するよ
うになっている。
つまり第２図に市めうその距離センサ６と被検査物２の
検査面との間の距離ｙが上下変動すると、距離センサ６
の出力が変化するのである。距離センサ６は第３図に示
すように距離ｙと出力電圧Ｖとの関係を持つものであり
、出力電圧Ｖにより距Ｍｙが検出することができる。
検査面との間の距離ｙが上下変動すると、距離センサ６
の出力が変化するのである。距離センサ６は第３図に示
すように距離ｙと出力電圧Ｖとの関係を持つものであり
、出力電圧Ｖにより距Ｍｙが検出することができる。
従って第４図に示すように矢印方向に移動する被検査物
２の検査面に波打ちがあると、距離センサ６の出力も波
打ちに対応して変化する信号となり検出距離ｙは第５図
に示すように被検査物２の移動に対応して変化する。
２の検査面に波打ちがあると、距離センサ６の出力も波
打ちに対応して変化する信号となり検出距離ｙは第５図
に示すように被検査物２の移動に対応して変化する。
従って波打ちの傾斜角は移動量ΔＸと距離の変化量Δｙ
とから、Δｙ／ΔＸで求まることになる。
とから、Δｙ／ΔＸで求まることになる。
演算部７は距離センサ６からの距離検出出力に基づいて
最大傾斜角θを求め、更に第６図に示す遮光板４゛の窓
孔４ａ′の幅Ｄを決定するためのもので、上述のΔｙ／
ΔＸを求め、更にこの最大値をαとして最大傾斜角θを θ二ｊａｎ−’α で求めるのである。
最大傾斜角θを求め、更に第６図に示す遮光板４゛の窓
孔４ａ′の幅Ｄを決定するためのもので、上述のΔｙ／
ΔＸを求め、更にこの最大値をαとして最大傾斜角θを θ二ｊａｎ−’α で求めるのである。
尚傾斜角の精度を上げるために波打ちの１周期をＸ．と
してΔＸ ＜ Ｘゎという条件を設定している。
してΔＸ ＜ Ｘゎという条件を設定している。
即ち被検査物２の搬送速度を■、距離センサ６の検出信
号のサンプリング時間間隔をΔｔとすればΔｘ＝ｖＡｔ
より、Δｊ ＜ Ｘ ｃ ／ Ｖが必要な条件となる。
号のサンプリング時間間隔をΔｔとすればΔｘ＝ｖＡｔ
より、Δｊ ＜ Ｘ ｃ ／ Ｖが必要な条件となる。
さて上記最大傾斜角度θを求め、更にレンズ５への入射
角が２θとなるように遮光板４の窓孔４ａの幅Ｄを次式
により求めるのである。つまり第６図に示す被検査物２
の検査面上の視点Ｏがら遮光板４′までの距離をｌとす
ると、 Ｄ＝２１ｔａｎθ て求まることになる。
角が２θとなるように遮光板４の窓孔４ａの幅Ｄを次式
により求めるのである。つまり第６図に示す被検査物２
の検査面上の視点Ｏがら遮光板４′までの距離をｌとす
ると、 Ｄ＝２１ｔａｎθ て求まることになる。
遮光板４゛は上下２枚の分割板４ｂ’ ４ｃを移動さ
せることにより窓孔４ａ’の幅を変化させることができ
るもので、この変化は駆動部８により行われる。駆動部
８は演算部７で演算された幅Ｄに基づく制御信号が演算
部７より与えられて、この制御信号に基づいて電磁駆動
機構等の機ｔｔｎ＜図示せず）により、分割板４ｂ’
，４ｃ’ を駆動して窓孔４ａ’の幅を求めたＤに設定
する。
せることにより窓孔４ａ’の幅を変化させることができ
るもので、この変化は駆動部８により行われる。駆動部
８は演算部７で演算された幅Ｄに基づく制御信号が演算
部７より与えられて、この制御信号に基づいて電磁駆動
機構等の機ｔｔｎ＜図示せず）により、分割板４ｂ’
，４ｃ’ を駆動して窓孔４ａ’の幅を求めたＤに設定
する。
［発明の効果］
本発明は移動する被検査物の検査面に対向させて定位置
に配置され、検査面との距離を測定する距離センサと、
被検査物の移動量と距離センサの測定距離の変化量とか
ら被検査物の検査面の粗さ７ の移動方向の最大傾斜角度を演算する演算手段と、被検
査物の検査面からの反射光を通過させ且つ通過範囲を可
変可能な遮光手段と、演算千段て求めた上記最大傾斜角
度の約２倍の角度範囲の入射角の反射光を通過させるよ
うに上記遮光手段の通過範囲を可変駆動する駆動手段と
、遮光手段を通過した反射光をラインセンサの受光面に
集光する集光レンズとを備えてあるから、被検査物の表
面が波打ち、ラインセンサの受光走査方向が被検査物の
移動方向に直交する方向に対して斜めとなっていても、
被検査物からの反射光がラインセンサの受光走査方向の
各受光部位において受光量が殆どばらつくことなく受光
することができ、結果ラインセンサの受光走査検知出力
に波打ちが生じず、欠陥があれば明確に受光走査検知出
力の変化として捕えることができるものであって、しか
も自動的に被検査物の検査面の波打ちの具合に応じて遮
光手段の通過範囲を追従変化させて通過範囲が最大傾斜
角度の約２倍の角度となるように設定することができ、
人手による調整が不要となるという８ 効果を奏する。
に配置され、検査面との距離を測定する距離センサと、
被検査物の移動量と距離センサの測定距離の変化量とか
ら被検査物の検査面の粗さ７ の移動方向の最大傾斜角度を演算する演算手段と、被検
査物の検査面からの反射光を通過させ且つ通過範囲を可
変可能な遮光手段と、演算千段て求めた上記最大傾斜角
度の約２倍の角度範囲の入射角の反射光を通過させるよ
うに上記遮光手段の通過範囲を可変駆動する駆動手段と
、遮光手段を通過した反射光をラインセンサの受光面に
集光する集光レンズとを備えてあるから、被検査物の表
面が波打ち、ラインセンサの受光走査方向が被検査物の
移動方向に直交する方向に対して斜めとなっていても、
被検査物からの反射光がラインセンサの受光走査方向の
各受光部位において受光量が殆どばらつくことなく受光
することができ、結果ラインセンサの受光走査検知出力
に波打ちが生じず、欠陥があれば明確に受光走査検知出
力の変化として捕えることができるものであって、しか
も自動的に被検査物の検査面の波打ちの具合に応じて遮
光手段の通過範囲を追従変化させて通過範囲が最大傾斜
角度の約２倍の角度となるように設定することができ、
人手による調整が不要となるという８ 効果を奏する。
第１図は本発明の実施例の構成図、第２図〜第６図は同
上の動作説明図、第７図は従来例の横戒図、第８図は同
上の動作説明図、第９図は本発明の基本となる表面検査
機の構戒図、第］Ｏ図、第１１図は同上の動作説明図で
ある。 １はラインセンサ、２は被検査物、３は信号処理回路、
４′は遮光板、５は集光レンズ、６は距離センサ、７は
演算部、８は駆動部である。
上の動作説明図、第７図は従来例の横戒図、第８図は同
上の動作説明図、第９図は本発明の基本となる表面検査
機の構戒図、第］Ｏ図、第１１図は同上の動作説明図で
ある。 １はラインセンサ、２は被検査物、３は信号処理回路、
４′は遮光板、５は集光レンズ、６は距離センサ、７は
演算部、８は駆動部である。
Claims (1)
- （１）被検査物の移動方向に直交する方向に受光走査方
向を持つラインセンサとにより被検査物の検査面からの
反射光を受光走査検知し、受光量に応じたラインセンサ
からの検知出力を信号処理回路で２値化して被検査物の
表面の欠陥を検知する表面検査機において、移動する被
検査物の検査面に対向させて定位置に配置され、検査面
との距離を測定する距離センサと、被検査物の移動量と
距離センサの測定距離の変化量とから被検査物の検査面
の粗さの移動方向の最大傾斜角度を演算する演算手段と
、被検査物の検査面からの反射光を通過させ且つ通過範
囲を可変可能な遮光手段と、演算手段で求めた上記最大
傾斜角度の約２倍の角度範囲の入射角の反射光を通過さ
せるように上記遮光手段の通過範囲を可変駆動する駆動
手段と、遮光手段を通過した反射光をラインセンサの受
光面に集光する集光レンズとを備えて成ることを特徴と
する表面検査機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16439989A JPH0718815B2 (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | 表面検査機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16439989A JPH0718815B2 (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | 表面検査機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328750A true JPH0328750A (ja) | 1991-02-06 |
| JPH0718815B2 JPH0718815B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=15792392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16439989A Expired - Fee Related JPH0718815B2 (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | 表面検査機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718815B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010261965A (ja) * | 2010-07-09 | 2010-11-18 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品認識装置、表面実装機および部品検査装置 |
| JP2016505139A (ja) * | 2013-01-15 | 2016-02-18 | ノルデイシェル・マシーネンバウ・ルド・バアデル・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニ・カーゲーＮｏｒｄｉｓｃｈｅｒ Ｍａｓｃｈｉｎｅｎｂａｕ Ｒｕｄ．Ｂａａｄｅｒ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ＋Ｃｏｍｐａｇｎｉｅ Ｋｏｍｍａｎｄｉｔｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 赤身組織構造を非接触で識別する装置及び方法、及び赤身組織構造の条片を除去する組立体 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5297245B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2013-09-25 | パナソニック株式会社 | 物体表面検査装置 |
-
1989
- 1989-06-27 JP JP16439989A patent/JPH0718815B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010261965A (ja) * | 2010-07-09 | 2010-11-18 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品認識装置、表面実装機および部品検査装置 |
| JP2016505139A (ja) * | 2013-01-15 | 2016-02-18 | ノルデイシェル・マシーネンバウ・ルド・バアデル・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニ・カーゲーＮｏｒｄｉｓｃｈｅｒ Ｍａｓｃｈｉｎｅｎｂａｕ Ｒｕｄ．Ｂａａｄｅｒ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ＋Ｃｏｍｐａｇｎｉｅ Ｋｏｍｍａｎｄｉｔｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 赤身組織構造を非接触で識別する装置及び方法、及び赤身組織構造の条片を除去する組立体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0718815B2 (ja) | 1995-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |