KR890016408A - 광비임 위치 에러 교정 시스템 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

광비임 위치 에러 교정 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 본 발명에 따른 비임 위치 에러 교정을 가지는 컴퓨터 제어 광 비임 위치 시스템의 블럭 다이어그램. 제 4 도는 Xc 및 Yc신호로 표시되는 다항식 항의 필드 교정 계수를 얻기 위해 수행되는 보정 처리 단계의 흐름도. 제 5 도는 제 4 도의 흐름도에 따른 필드 교정 계수 유도에서 사용된 13개의 보정점의 위치를 도시하는 다이어그램. 제 7 도는 제 3 도의 시스템의 수단인 에러 교정 처리기의 단순화 블럭 다이어그램.

Claims (9)

  1. 비임 위치 명령 데이타에 응답한 광비임의 전파 통로를 조정하기 위한 복수이 광학 성분을 제공하는 광비임 위치 에러 교정 시스템에 있어서, 비임 통로에 따라 전파되는 광비임 발생을 위한 광소스 수단과 ; 타켓면상의 위치를 향해 전파 통로 조정을 위한 비임을 수광하는 비임 위치 수단과 ; 타켓면상에 미리 선택된 위치에 대응하여 위치 좌표 신호 발생을 위해 비임 위치 명령 데이타를 수광하는 위치 데이타 발생 수단과 ; 상기 비임 위치 수단을 유도하기 위한 보상된 위치 좌표 신호 개선을 위한 위치 좌표 신호를 수광하는 에러 교정 처리 수단을 구비하며, 상기 보상된 위치 좌표 신호는 상기 비임 위치 수간이 타켓면상에 미리 선택된 위치에 대해 광비임을 조정하기 위해 상기 시스템 광학 성분에 의해 안내된 광비임 위치 에러용 교정을 위한 위치 좌표 데이타 신호를 수정하는 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 보상된 위치 좌표 신호는 Xc 신호 및 Yc 신호를 구비하며 비임 위치 수단은 광비임을 수광하는 한쌍의 제1 및 제 2 의 독립적인 이동 가능한 광 반사면과, 미리 선택된 위치에서 광비임 위치에 대한 타켓면에 따라 각각의 제1 및 제 2 의 직교 방향에서 광비임 이동을 위해 Xc 및 Yc 신호를 수광하는 제1 및 제 2 광 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 비임 위치 수단은 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 렌즈는 F-Q형인 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 광소스 수단은 레이저를 구비하는 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 위치 좌표 신호는 광비임의 동시 명령된 위치를 지시하는 X신호 및 Y신호를 구비하며, 보상된 위치 좌표 신호는 Xc 신호 및 Yc신호를 구비하며, 상기 Xc신호는 다음 다항식의 함수이며, B1X+C1X2+D1X3+E1Y+F1Y2+G1XY+H1XY2Yc위치 신호는 다음 다항식의 함수이며 B2Y+C2Y2+D2Y3+E2X+F2X2+G2XY+H2YX2여기서 B1, C1, D1, E1, F1, G1, H1, B2, C2, D2, E2, F1, G2, 및 H2는 시스템 성분의 광조절 광학 설질에 대응된 일정값 또는 필드 교정 계수로 표시되는 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 항 A1은 함수 Xc의 다항식에 더해지며 항 A2는 함수 Yc의 다항식에 더해지며, 상기 A1및 A2항은 X-Y좌표 시스템에서 각각 X 및 Y축 오프셋으로 표시되는 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
  8. 제 6 항에 있어서, 특별한 시스템의 특별한 광조절 성질 특징인 필드 교정 계수 기억을 위해 선택적으로 에러 교정 처리 수단에 연결된 데이타에서 보정 데이타 파일 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 위치 좌표 신호는 광비임의 동시 명령된 위치를 지시하는 X신호 Y신호를 구비하며, 보상 위치 좌표 신호는 Xc신호 및 Yc신호를 구비하며, 상기 Xc 및 Yc신호는 포물 곡률 뒤틀림으로부터 위치 에러 결과용 교정을 위한 각각의 항 H2XY2및 H2X2Y와 각각의 웨지 뒤틀림으로부터 위치 에러 결과용 교정을 위해 각각 항 G1XY 및 G2YX를 구비하는 다항식 비인 것을 특징으로 하는 광비임 위치 에러 교정 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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