JPS61123492A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS61123492A JPS61123492A JP59242442A JP24244284A JPS61123492A JP S61123492 A JPS61123492 A JP S61123492A JP 59242442 A JP59242442 A JP 59242442A JP 24244284 A JP24244284 A JP 24244284A JP S61123492 A JPS61123492 A JP S61123492A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- mirror
- optical axis
- temperature sensors
- pieces
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
- B23K26/043—Automatically aligning the laser beam along the beam path, i.e. alignment of laser beam axis relative to laser beam apparatus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はレーザ加工機のレーザ伝送装置に関する。
一般；こレーザ加工機）こおいて、レーザビームをワー
クに効率よく高精度に照射するためｆこは伝送されたレ
ーザビームの集光部の所定の位置に所定の角度で伝送す
る必要がある。そのためレーザ伝送路中にあるミラー等
の位置の調整には高い精度が要求され、手間がかかって
いる。
クに効率よく高精度に照射するためｆこは伝送されたレ
ーザビームの集光部の所定の位置に所定の角度で伝送す
る必要がある。そのためレーザ伝送路中にあるミラー等
の位置の調整には高い精度が要求され、手間がかかって
いる。
また、レーザ伝送路内のミラーの位置を高い精度で調整
しても、伝送路の支持部材の熱変形、レーザ加工機の運
動部の機械的誤差、外部からの撮動等でレーザの光軸の
位置ずれや傾斜が生じ、レーザビームの照射位置の精度
が落ちると何度もミラー位置の再調整をしなければなら
ない。
しても、伝送路の支持部材の熱変形、レーザ加工機の運
動部の機械的誤差、外部からの撮動等でレーザの光軸の
位置ずれや傾斜が生じ、レーザビームの照射位置の精度
が落ちると何度もミラー位置の再調整をしなければなら
ない。
本発明の目的は、レーザの光軸が常に所定の位置にある
レーザ伝送装置を提供することである。
レーザ伝送装置を提供することである。
本発明は、レーザを屈折させる屈折手段と、レーザ伝送
路中の少なくとも１箇所においてレーザの光軸のずれを
検出するセンサと少なくとも１箇所の前記屈折手段の位
置を移動させる駆動手段とその制御装置とを備え、レー
ザの光軸が常に所定の位置になるように屈折手段の位置
を制御するレーザ伝送装置である。
路中の少なくとも１箇所においてレーザの光軸のずれを
検出するセンサと少なくとも１箇所の前記屈折手段の位
置を移動させる駆動手段とその制御装置とを備え、レー
ザの光軸が常に所定の位置になるように屈折手段の位置
を制御するレーザ伝送装置である。
以下、本発明の一実施例を図面１ζよって説明する。第
１図は本発明のレーザ伝送装置の一実施例を示し、１は
レーザ発振器、２はレーザの光軸で、光軸２はミラー３
〜５で同図紙面に平行に屈折し、ミラー６で紙面に垂直
に（下向きに）屈折する。
１図は本発明のレーザ伝送装置の一実施例を示し、１は
レーザ発振器、２はレーザの光軸で、光軸２はミラー３
〜５で同図紙面に平行に屈折し、ミラー６で紙面に垂直
に（下向きに）屈折する。
７．８はそれぞれミラー５１ ミラー６を図中のＸ方向
、Ｙ方向にスライド駆動する駆動装置であり、核駆動装
置を構成する図示しないモータには図示しをいブレーキ
が取付けられており、ミラー５゜ミラー６の位置は図示
しないアブソリュート型のセンナにより検出する。第２
図は第１図中の入・人の方向から見たもので、ミラー６
で屈折したレーザの光軸２は位置ずれを検出するセンサ
９を径て集光レンズ１０に至り、収束されワーク１２に
照射される。第３図は第２図中のＢ−８の方向から見た
センサ９で、レーザの光束１３が集光レンズ１０の所定
の位置にある時のレーザの光束１３に外接するように温
度センサ１４をｘ、ｙの２方向から対向させて４個設置
している。
、Ｙ方向にスライド駆動する駆動装置であり、核駆動装
置を構成する図示しないモータには図示しをいブレーキ
が取付けられており、ミラー５゜ミラー６の位置は図示
しないアブソリュート型のセンナにより検出する。第２
図は第１図中の入・人の方向から見たもので、ミラー６
で屈折したレーザの光軸２は位置ずれを検出するセンサ
９を径て集光レンズ１０に至り、収束されワーク１２に
照射される。第３図は第２図中のＢ−８の方向から見た
センサ９で、レーザの光束１３が集光レンズ１０の所定
の位置にある時のレーザの光束１３に外接するように温
度センサ１４をｘ、ｙの２方向から対向させて４個設置
している。
次；こ本発明のレーザ伝送装置の作用を説明する。
まず、本発明のレーザ伝送装置を設置した時に、レーザ
の光束１３がレンズ１０の所定の位置に所定の角度で当
たるようにミラー１〜６の角度や位置を調整する。この
とき４個の温度センサ１４はレーザの光束１３に均等ｆ
ζ外接しており、均等な出力状態となっている。その後
、レーザ伝送路やミラー１〜６の支持部材の熱変形や、
レーザ加工機等の運動部の機械的誤差等でレーザの光束
１３の位置が集光レンズ１０１ζ対してずれると、・４
個の温度センサ１４に対するレーザの当たり方は不均等
になり、４個の温度センサ１４の出力も不均等憂こなる
。すると温度センサ１４のＸ方向の不釣合い量齋こ応じ
た所定量だけミラー５を駆動装Ｒ７でＸ方向にスライド
させ、Ｘ方向の不釣合い量に応じた量だけミラー６を駆
動装置８でＹ方向Ｉこスライドさせ、レーザの光軸１３
のずれを修正するように図示しない制御装置で制御する
。
の光束１３がレンズ１０の所定の位置に所定の角度で当
たるようにミラー１〜６の角度や位置を調整する。この
とき４個の温度センサ１４はレーザの光束１３に均等ｆ
ζ外接しており、均等な出力状態となっている。その後
、レーザ伝送路やミラー１〜６の支持部材の熱変形や、
レーザ加工機等の運動部の機械的誤差等でレーザの光束
１３の位置が集光レンズ１０１ζ対してずれると、・４
個の温度センサ１４に対するレーザの当たり方は不均等
になり、４個の温度センサ１４の出力も不均等憂こなる
。すると温度センサ１４のＸ方向の不釣合い量齋こ応じ
た所定量だけミラー５を駆動装Ｒ７でＸ方向にスライド
させ、Ｘ方向の不釣合い量に応じた量だけミラー６を駆
動装置８でＹ方向Ｉこスライドさせ、レーザの光軸１３
のずれを修正するように図示しない制御装置で制御する
。
本発明は以上のように構成しているので次のような効果
がある。
がある。
（ａ） 温度センサで集光部奢こおけるレーザの光軸
の平面的なずれを検出し、制御装置でその検出量に応じ
てミラーをスライド駆動させ、ずれを修正できる構成と
したので１．レーザの光軸を集光レンズの所定の位ＩＩ
Ｉこ自動的に保持できる。
の平面的なずれを検出し、制御装置でその検出量に応じ
てミラーをスライド駆動させ、ずれを修正できる構成と
したので１．レーザの光軸を集光レンズの所定の位ＩＩ
Ｉこ自動的に保持できる。
（ｂ） ミラー駆動装置を構成するモータにブレーキ
を付け、ミラーの位置の検出にアブソリュート型のセン
サを備えた構成としたので、ミラーの駆動装置の電源を
切っても、電源を投入してもミラーを所定の位置に固定
できる。
を付け、ミラーの位置の検出にアブソリュート型のセン
サを備えた構成としたので、ミラーの駆動装置の電源を
切っても、電源を投入してもミラーを所定の位置に固定
できる。
なお、本実施例では集光部でのレーザのずれを４個の対
向する温度センサで検出したが、センサは３個を１２０
０間隔で配設してもよく、又５ヶ以上の等間隔としても
よい。また、センサとして感光素子等を使ってもよい。
向する温度センサで検出したが、センサは３個を１２０
０間隔で配設してもよく、又５ヶ以上の等間隔としても
よい。また、センサとして感光素子等を使ってもよい。
又、本実施例では集光部でのレーザの光軸の平面的なず
れを検出し、ミラーをスライド駆動してずれを修正した
が、センナを光軸方向に２段以上設けてレーザの光軸の
傾斜のずれも検出し、さらにミラーの駆動装置が光軸の
傾きも変動できる構造として、光軸の傾きも制御する構
成としてもよいＯ 〔発明の効果〕 本発明Ｓこよればレーザの光軸のずれを集光レンズの直
前で検出し、それに応じて屈折手段の位置を制御する構
成としたので、レーザの光軸を所定の位置Ｉこ保持でき
るレーザ伝送装置を得ることができる。
れを検出し、ミラーをスライド駆動してずれを修正した
が、センナを光軸方向に２段以上設けてレーザの光軸の
傾斜のずれも検出し、さらにミラーの駆動装置が光軸の
傾きも変動できる構造として、光軸の傾きも制御する構
成としてもよいＯ 〔発明の効果〕 本発明Ｓこよればレーザの光軸のずれを集光レンズの直
前で検出し、それに応じて屈折手段の位置を制御する構
成としたので、レーザの光軸を所定の位置Ｉこ保持でき
るレーザ伝送装置を得ることができる。
第１図は本発明のレーザ伝送・装置一実施例を示す構成
図、第２図は第１図のＡ−Ａ矢視図、第３図は第２図の
Ｂ−８矢視図である。
図、第２図は第１図のＡ−Ａ矢視図、第３図は第２図の
Ｂ−８矢視図である。
Claims (1)
- レーザ発振器から伝送されたレーザ光をミラーで屈折し
集光レンズで集光して被加工物に照射し加工するレーザ
加工装置において、前記集光レンズの直前の前記レーザ
光伝送方向と直角平面の前記レーザ光の光軸中心に等距
離・等間隔に配設され前記レーザ光軸のずれを検出する
少なくとも３個以上の温度センサと、この温度センサか
らの信号で前記集光レンズに前記レーザ光を伝送する前
記ミラーを駆動して前記集光レンズへ入射する前記レー
ザ光の入射位置を調整する駆動装置とを具備したことを
特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59242442A JPS61123492A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59242442A JPS61123492A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61123492A true JPS61123492A (ja) | 1986-06-11 |
Family
ID=17089147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59242442A Pending JPS61123492A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61123492A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4941082A (en) * | 1988-04-25 | 1990-07-10 | Electro Scientific Industries, Inc. | Light beam positioning system |
| JP2016509343A (ja) * | 2013-01-22 | 2016-03-24 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 極端紫外線光源用熱監視装置 |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP59242442A patent/JPS61123492A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4941082A (en) * | 1988-04-25 | 1990-07-10 | Electro Scientific Industries, Inc. | Light beam positioning system |
| JP2016509343A (ja) * | 2013-01-22 | 2016-03-24 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 極端紫外線光源用熱監視装置 |
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