JP2016509343A - 極端紫外線光源用熱監視装置 - Google Patents
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- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 title description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 129
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 18
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 3
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 20
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 12
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 11
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 10
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 10
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229910000807 Ga alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- -1 for example Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000036278 prepulse Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000009420 retrofitting Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
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- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
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- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
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Abstract
Description
Claims (25)
- 極端紫外線(EUV)光源内の第1の光学素子に対する増幅光ビームの位置を調整する方法であって、
前記増幅光ビームを受光する位置にある第1の光学素子に隣接し、これとは別個の素子の温度を表す第1の温度分布にアクセスすることと、
前記アクセスされた第1の温度分布を分析して前記素子に関連する温度メトリックを判定することと、
前記判定された温度メトリックをベースライン温度メトリックと比較することと、
前記比較に基づいて前記第1の光学素子に対する前記増幅光ビームの位置の調整を決定することと、
を含む、方法。 - 前記増幅光ビームの決定された位置調整を表す表示を生成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記表示が、第2の光学素子に機械的に結合されたアクチュエータ用の入力を含み、
前記第2の光学素子が、前記増幅光ビームを受光する位置にある能動領域を含み、
前記アクチュエータへの前記入力が、前記アクチュエータが前記能動領域を少なくとも一方向に移動させるのに十分である、請求項2に記載の方法。 - 前記アクチュエータに前記入力を提供することをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 前記アクチュエータに前記入力を提供した後、前記第1の光学素子に隣接する前記素子の第2の温度分布にアクセスすることと、
前記第2の温度分布を分析して前記温度メトリックを判定することと、
前記温度メトリックを、前記第1の温度分布、及び、前記ベースライン温度メトリック、の1つ以上と比較することと、
をさらに含む、請求項4に記載の方法。 - 前記第2の光学素子の前記能動領域が、前記増幅光ビームを受光する反射部を有するミラーを備え、移動すると、前記第1の光学素子に対する前記増幅光ビームの前記位置を変更させる、請求項3に記載の方法。
- 前記インジケータが、前記EUV光源内の第3の光学素子に結合された第2のアクチュエータ用の入力をさらに含み、
前記第2のアクチュエータへの前記入力は、前記第2のアクチュエータが前記第3の光学素子を少なくとも一方向に移動させるのに十分である、請求項3に記載の方法。 - 前記第1の温度分布が、前記第1の光学素子に隣接する前記素子の部分の温度を含み、前記部分の前記温度は2つの異なる時間に測定される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の温度分布が、前記第1の光学素子に隣接する前記素子の複数部分の温度を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記複数部分の各々の前記温度が、少なくとも2つの異なる時間に測定される、請求項9に記載の方法。
- 前記第1の温度分布が、前記第1の光学素子に隣接する前記素子に機械的に結合された熱センサから受信した温度測定値を表すデータを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記第1の光学素子が、前記増幅光ビームが通過する収束レンズを備え、
前記収束レンズに隣接する前記素子が、レンズシールドを備える、請求項1に記載の方法。 - 前記第1の温度分布が、異なる時間に測定される前記素子の複数の温度を含み、
温度メトリックが、前記複数の温度の変動、前記複数の温度の平均、及び、前記複数の温度のうちの少なくとも2つの間の変化率、のうち1つ以上を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1の温度分布が、特定の時間での前記素子上の異なる位置で測定される複数の温度を含み、
前記温度メトリックが、前記複数の温度の空間変動を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1の温度分布が、前記第1の光学素子に隣接する前記素子上の異なる位置で測定される前記素子の複数の温度をさらに含む、請求項13に記載の方法。
- 前記温度メトリックが、前記第1の光学素子に隣接する前記素子上の異なる位置で測定される前記複数の温度の空間変動をさらに含む、請求項15に記載の方法。
- 前記温度メトリックが、前記第1の光学素子に隣接する前記素子の測定温度の時間的変化を表す値を含み、
前記温度メトリックをベースライン温度メトリックと比較することが、前記値を閾値と比較することを含む、請求項1に記載の方法。 - 極端紫外線(EUV)光源の増幅光ビームを受光する第1の光学素子に隣接する素子に機械的に結合され、前記素子の温度を測定し、前記測定温度の表示を生成する熱センサと、
1つ以上の電子プロセッサにより実行可能な命令を含むソフトウェアを記憶する非一時的コンピュータ読み取り可能媒体に結合された1つ以上の電子プロセッサを備えるコントローラであって、前記命令は、実行されると、前記1つ以上の電子プロセッサに、
前記生成された前記測定温度の表示を受信させ、
前記測定温度の前記生成された表示に基づいて出力信号を生成させ、前記出力信号が、アクチュエータに前記増幅光ビームを受光する第2の光学素子を移動させ、前記第1の光学素子に対する前記増幅光ビームの位置を調整させるのに十分である、コントローラと、
を備える、システム。 - 前記命令が、前記出力信号を前記アクチュエータに提供する命令をさらに含み、
前記アクチュエータが、前記第2の光学素子に結合する、請求項18に記載のシステム。 - 前記第1の光学素子が、前記増幅光ビームが通過するレンズであり、
前記レンズに隣接する前記素子が、前記レンズに隣接するレンズシールドであり、
前記熱センサが、前記レンズシールドに取り付けられる、請求項18に記載のシステム。 - 前記熱センサが、熱電対、サーミスタ、及び、ファイバベースの熱センサ、のうちの1つ以上を備える、請求項18に記載のシステム。
- 前記命令は、実行されると、前記コントローラが、
前記熱センサからの前記素子の前記測定温度の表示に基づく第1の温度分布にアクセスし、
前記アクセスされた温度分布を分析して、前記素子に関連する温度メトリックを判定し、
前記判定された温度メトリックをベースライン温度分布と比較し、
前記比較に基づいて前記増幅光ビームのパラメータの調整を決定する、
ようにさせる命令をさらに含む、請求項18に記載のシステム。 - 前記第1の光学素子が、出力増幅器の出力ウィンドウ、最終合焦変向ミラー、及び、空間フィルタアパーチャ、のうちの1つ以上を備える、請求項18に記載のシステム。
- 前記熱センサが、複数の熱センサを含み、
前記第1の光学素子が、前記増幅光ビームを合焦するレンズの下流側にあり、
1つ以上の光学素子の各々が、熱センサに結合される、請求項18に記載のシステム。 - 極端紫外線(EUV)光源の増幅光ビームを受光する第1の光学素子と、
前記第1の光学素子に隣接し、これとは別個の素子と、
前記第1の光学素子に隣接する前記素子に結合された熱システムであって、
各々が前記素子の異なる部分に関連し、前記素子の関連部分の測定温度の表示を生成する1つ以上の温度センサと、
第2の光学素子に結合され、移動すると、前記増幅光ビームの対応する移動を引き起こす作動システムと、
を備える、熱システムと、
前記熱システムの出力に及び前記作動システムの1つ以上の入力に接続され、前記測定温度の前記生成された表示に基づいて前記作動システム用の出力信号を生成する制御システムであって、前記出力信号はアクチュエータに前記第2の光学素子を移動させ、前記第1の光学素子に対する前記増幅光ビームの位置を調整させるのに十分である制御システムと、
を備える、システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/747,263 | 2013-01-22 | ||
US13/747,263 US9148941B2 (en) | 2013-01-22 | 2013-01-22 | Thermal monitor for an extreme ultraviolet light source |
PCT/US2013/075871 WO2014116371A1 (en) | 2013-01-22 | 2013-12-17 | Thermal monitor for an extreme ultraviolet light source |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016509343A true JP2016509343A (ja) | 2016-03-24 |
JP2016509343A5 JP2016509343A5 (ja) | 2016-12-22 |
JP6250067B2 JP6250067B2 (ja) | 2017-12-20 |
Family
ID=51207012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015553734A Active JP6250067B2 (ja) | 2013-01-22 | 2013-12-17 | 極端紫外線光源内の光学素子に対する増幅光ビームの位置調整方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9148941B2 (ja) |
JP (1) | JP6250067B2 (ja) |
KR (2) | KR102100789B1 (ja) |
TW (1) | TWI611427B (ja) |
WO (1) | WO2014116371A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019186754A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成システム及び電子デバイスの製造方法 |
JP2020519924A (ja) * | 2017-05-12 | 2020-07-02 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | Euv光源においてデブリを制御するための装置及び方法 |
KR20200120923A (ko) * | 2018-02-20 | 2020-10-22 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 센서 시스템 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3142823B1 (de) * | 2014-05-13 | 2020-07-29 | Trumpf Laser- und Systemtechnik GmbH | Einrichtung zur überwachung der ausrichtung eines laserstrahls und euv-strahlungserzeugungsvorrichtung damit |
US9927292B2 (en) | 2015-04-23 | 2018-03-27 | Asml Netherlands B.V. | Beam position sensor |
US10109451B2 (en) * | 2017-02-13 | 2018-10-23 | Applied Materials, Inc. | Apparatus configured for enhanced vacuum ultraviolet (VUV) spectral radiant flux and system having the apparatus |
US10824083B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-11-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Light source, EUV lithography system, and method for generating EUV radiation |
US20200057376A1 (en) * | 2018-08-14 | 2020-02-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Lithography system and lithography method |
NL2024323A (en) | 2018-12-18 | 2020-07-07 | Asml Netherlands Bv | Sacrifical device for protecting an optical element in a path of a high-power laser beam |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61123492A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-11 | Toshiba Corp | レ−ザ加工装置 |
WO2002067390A1 (en) * | 2001-02-22 | 2002-08-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser apparatus |
US20070278194A1 (en) * | 2004-08-05 | 2007-12-06 | Kuka Schweissanlagen Gmbh | Laser Device And Operating Method |
JP2010161092A (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-22 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置 |
JP2010161318A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4749122A (en) * | 1986-05-19 | 1988-06-07 | The Foxboro Company | Combustion control system |
JPS6348509A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-03-01 | Komatsu Ltd | レ−ザスキヤナ装置 |
DE19622671A1 (de) * | 1995-06-30 | 1997-01-02 | Basf Magnetics Gmbh | Temperatur-Indikator für gekühlte Produkte oder ähnliches |
US6559424B2 (en) * | 2001-01-02 | 2003-05-06 | Mattson Technology, Inc. | Windows used in thermal processing chambers |
US7598509B2 (en) * | 2004-11-01 | 2009-10-06 | Cymer, Inc. | Laser produced plasma EUV light source |
US7554662B1 (en) * | 2002-06-24 | 2009-06-30 | J.A. Woollam Co., Inc. | Spatial filter means comprising an aperture with a non-unity aspect ratio in a system for investigating samples with electromagnetic radiation |
US6825681B2 (en) * | 2002-07-19 | 2004-11-30 | Delta Design, Inc. | Thermal control of a DUT using a thermal control substrate |
US6992306B2 (en) * | 2003-04-15 | 2006-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Temperature adjustment apparatus, exposure apparatus having the same, and device fabricating method |
US7164144B2 (en) * | 2004-03-10 | 2007-01-16 | Cymer Inc. | EUV light source |
US7891075B2 (en) * | 2005-01-19 | 2011-02-22 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Reconfigurable fixture device and method for controlling |
JP4710406B2 (ja) * | 2005-04-28 | 2011-06-29 | ウシオ電機株式会社 | 極端紫外光露光装置および極端紫外光光源装置 |
US7333904B2 (en) * | 2005-08-26 | 2008-02-19 | Delphi Technologies, Inc. | Method of determining FET junction temperature |
US8290753B2 (en) * | 2006-01-24 | 2012-10-16 | Vextec Corporation | Materials-based failure analysis in design of electronic devices, and prediction of operating life |
US8766212B2 (en) * | 2006-07-19 | 2014-07-01 | Asml Netherlands B.V. | Correction of spatial instability of an EUV source by laser beam steering |
JP5076087B2 (ja) * | 2006-10-19 | 2012-11-21 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置及びノズル保護装置 |
KR100841478B1 (ko) * | 2007-08-28 | 2008-06-25 | 주식회사 브이엠티 | 다중 모세관의 장착이 가능한 액체 타겟 공급 장치 및 이를구비한 x선 및 극자외선 광원 발생 장치 |
US8115900B2 (en) * | 2007-09-17 | 2012-02-14 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
KR20160127160A (ko) * | 2007-10-09 | 2016-11-02 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 | 광학 소자의 온도 제어 장치 |
JP2009099390A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Tokyo Institute Of Technology | 極端紫外光光源装置および極端紫外光発生方法 |
US20090275815A1 (en) * | 2008-03-21 | 2009-11-05 | Nova Biomedical Corporation | Temperature-compensated in-vivo sensor |
JP5833806B2 (ja) * | 2008-09-19 | 2015-12-16 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置用レーザ光源装置及び極端紫外光源装置用レーザ光源の調整方法 |
US7641349B1 (en) * | 2008-09-22 | 2010-01-05 | Cymer, Inc. | Systems and methods for collector mirror temperature control using direct contact heat transfer |
JP5587578B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2014-09-10 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置およびパルスレーザ装置 |
JP5559562B2 (ja) * | 2009-02-12 | 2014-07-23 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光光源装置 |
US8306774B2 (en) * | 2009-11-02 | 2012-11-06 | Quinn David E | Thermometer for determining the temperature of an animal's ear drum and method of using same |
US8373758B2 (en) * | 2009-11-11 | 2013-02-12 | International Business Machines Corporation | Techniques for analyzing performance of solar panels and solar cells using infrared diagnostics |
US8173985B2 (en) | 2009-12-15 | 2012-05-08 | Cymer, Inc. | Beam transport system for extreme ultraviolet light source |
US8000212B2 (en) * | 2009-12-15 | 2011-08-16 | Cymer, Inc. | Metrology for extreme ultraviolet light source |
JP5705592B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2015-04-22 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
JP5726546B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2015-06-03 | ギガフォトン株式会社 | チャンバ装置 |
US8686381B2 (en) * | 2010-06-28 | 2014-04-01 | Media Lario S.R.L. | Source-collector module with GIC mirror and tin vapor LPP target system |
JP2012129345A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法、露光方法および露光装置 |
US20120210999A1 (en) * | 2011-02-21 | 2012-08-23 | Straeter James E | Solar heating system for a hot water heater |
US8993976B2 (en) * | 2011-08-19 | 2015-03-31 | Asml Netherlands B.V. | Energy sensors for light beam alignment |
-
2013
- 2013-01-22 US US13/747,263 patent/US9148941B2/en active Active
- 2013-12-17 KR KR1020197038651A patent/KR102100789B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-17 KR KR1020157017347A patent/KR102062296B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-17 JP JP2015553734A patent/JP6250067B2/ja active Active
- 2013-12-17 WO PCT/US2013/075871 patent/WO2014116371A1/en active Application Filing
-
2014
- 2014-01-10 TW TW103100977A patent/TWI611427B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61123492A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-11 | Toshiba Corp | レ−ザ加工装置 |
WO2002067390A1 (en) * | 2001-02-22 | 2002-08-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser apparatus |
US20070278194A1 (en) * | 2004-08-05 | 2007-12-06 | Kuka Schweissanlagen Gmbh | Laser Device And Operating Method |
JP2010161092A (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-22 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置 |
JP2010161318A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020519924A (ja) * | 2017-05-12 | 2020-07-02 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | Euv光源においてデブリを制御するための装置及び方法 |
JP7104718B2 (ja) | 2017-05-12 | 2022-07-21 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | Euv光源においてデブリを制御するための装置及び方法 |
KR20200120923A (ko) * | 2018-02-20 | 2020-10-22 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 센서 시스템 |
JP2021515261A (ja) * | 2018-02-20 | 2021-06-17 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | センサシステム |
JP7334165B2 (ja) | 2018-02-20 | 2023-08-28 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | センサシステム |
KR102628236B1 (ko) * | 2018-02-20 | 2024-01-23 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 센서 시스템 |
WO2019186754A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成システム及び電子デバイスの製造方法 |
US11226565B2 (en) | 2018-03-28 | 2022-01-18 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultraviolet light generating system and electronic device manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102100789B1 (ko) | 2020-04-16 |
WO2014116371A1 (en) | 2014-07-31 |
TWI611427B (zh) | 2018-01-11 |
US9148941B2 (en) | 2015-09-29 |
TW201435912A (zh) | 2014-09-16 |
KR102062296B1 (ko) | 2020-01-03 |
KR20200003271A (ko) | 2020-01-08 |
US20140203195A1 (en) | 2014-07-24 |
JP6250067B2 (ja) | 2017-12-20 |
KR20150108820A (ko) | 2015-09-30 |
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