KR890015040A - 기판지지 도파관과 정렬된 콤포넌트를 구비한 소자 - Google Patents

기판지지 도파관과 정렬된 콤포넌트를 구비한 소자 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

기판지지 도파관과 정렬된 콤포넌트를 구비한 소자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 박막 도파관과 정렬된 4가지 경우의 파이버를 보유하고 있고, 본 발명의 양호한 실시예로서의 광학 결합기의 상부도.
제2도는 제1도의 광학 결합기의 횡단면도.
제3도는 제1도의 광학 결합기에 4개의 파이버 접속중 하나의 접속을 도시한 단면도.

Claims (11)

  1. 본래의 단결정 기판(11)상의 광 도파관(12)과, 상기 광 도판관(12)과 축방향으로 정렬된 광 파이버(14)플 포함하고 있으며, 상기 기판(11)내의 차별적으로 에칭된 홈에서의 광 파이버(14)의 배치에 따라 정렬이 이루어지는 소자에 있어서, 상기 홈(31)은 상기 도파관(12)과 상기 파이버(14)사이의 광학 부트 결합을 허용하기에 충분한 거리에 걸쳐 상기 도판관을 언더커트(undercut)하며, 상기 도판관(12)과 상기 파이퍼(14)사이의물리적 접촉이나, 상기 파이버(14)의 모드 직경보다 작은, 상기 파이버와 상기 도판관(12)사이의 거리가 되도록 부트 결합이 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 도판관 및 광 파이버를 구비한 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광 파이버(14)가 최소한 상기 파이버(14)의 코어부분(141)을 통해 근본적으로 파이버 축에 직각인 표면에서 종단되는 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광 파이버를 구비하는 소자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 파이버(14)테이퍼에서 종단되는 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광 파이버를 구비한 소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 기판(11)이(100)-실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 파이버를 구비하는 소자.
  5. 제1항에 있어서, 상기 홈(31)이 V홈인 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광 파이버를 구비하는 소자.
  6. 본래의 단결정 기판(11)상의 광 도파관(64)과, 광학 결합 관계로 상기 도파관(64)과 정렬된 광학 콤포넌트(61)를 포함하며, 상기 기판(11)내의 차별적으로 에칭된 홈(31)에서의 상기 광학 콤포넌트(61)의 배치에 따라 정렬이 이루어지는 소자에 있어서, 상기 홈(31)의 지향성이 상기 광 도파관(64)에서 광 전파의 방향에 직각인 성분을 갖는 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광학 콤포넌트를 구비한 소자.
  7. 제6항에 있어서, 상기 콤포넌트(61)가 광 검출기인 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광학 콤포넌트를 구비하는 소자.
  8. 제6항에 있어서, 상기 홈(31)이 V홈인 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광학 콤포넌트를 구비한 소자.
  9. 제6항에 있어서, 상기 홈(31)이 수직 홈인 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광학 콤포넌트를 구비한 소자.
  10. 제6항에 있어서, 상기 콤포넌트(61)가 상기 도파관(64)과 부트 결합관계에 있는 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광학 콤포넌트를 구비한 소자.
  11. 제6항에 있어서, 상기 도파관(64)과 상기 콤포넌트(61)사이의 광학 결합이 뚜렷한 거리를 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 도파관 및 광학 콤포넌트를 구비한 소자.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890002382A 1988-03-03 1989-02-28 기판 지지 도파관과 정렬된 콤포넌트를 구비한 소자 KR910005948B1 (ko)

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