JP5727538B2 - 光導波路素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図4に、本実施形態に係る光導波路素子の構造を示す。図4(a)は斜視図であり、図4(b)は断面図である。断面を得るにあたっては、図4(a)で示すところの面30を用いている。
第1の実施形態に係る光導波路素子では、PDは受光した光を電気信号に変換する。PDにおいて光から変換された電気信号は微小であるため、一般的には、PDの後段に電気増幅器(Trans Impedance Amplifier:本明細書では「TIA」ともいう)を設置して、信号を増幅する。
図8に、本実施形態に係る光導波路素子の構造を示す。図8(a)は上面図であり、図8(b)は図8(a)の断面線A−A’における断面図である。
14 クラッド
14−1 下部クラッド
14−2 上部クラッド
16 コア
17 光導波路
18 ミラー
22 PD
24 フォトレジスト
29 ミラー面
30 面
32 溝
34 TIA
36 ワイヤ
38 エピタキシャル層
40 レチクル
42 UV光
44 チップコンデンサ
46 セラミック基板
48 高速配線
50 レンズ
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上の、クラッドおよびコアから構成された光導波路と、
フォトダイオードと
を備えた光導波路素子であって、
前記フォトダイオードは、前記光導波路に形成された溝の一方の側面に直接形成され、前記溝の他方の側面に露出した前記コアからの出射光を受光できる位置に設置されたことを特徴とする光導波路素子。 - 前記基板の前記光導波路が形成された面の法線方向をz軸方向とし、前記コアの伸長方向をx軸方向とし、前記x軸および前記z軸に対して垂直な方向をy軸方向としたとき、前記溝は、y軸方向に平行に伸長することを特徴とする請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記コアからの出射光の出射方向に関して前記フォトダイオードの後段で、前記光導波路表面に設置された電気増幅器をさらに備え、前記フォトダイオードと前記電気増幅器とは、ワイヤボンディング接続されたことを特徴とする請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記溝の底面に設置された電気増幅器をさらに備え、前記フォトダイオードと前記電気増幅器とは、ワイヤボンディング接続されたことを特徴とする請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記コアの出射端面にレンズを設置したことを特徴とする請求項1乃至4のうちの何れか1項に記載の光導波路素子。
- 基板上に、下部クラッドと、コアと、上部クラッドとを順次成膜して、光導波路を作製するステップと、
前記光導波路に溝を形成するステップと、
前記溝の側面に接着層を介してエピタキシャル層を形成するステップと、
前記光導波路の表面全体にわたって、フォトレジストを塗布するステップと、
斜めフォトリソグラフィーおよび斜めドライエッチングにより、前記エピタキシャル層を加工してフォトダイオードを作製するステップであって、前記フォトダイオードは、前記溝の一方の側面に直接形成され、前記溝の他方の側面に露出した前記コアからの出射光を受光できる位置に配置される、ステップと、
レジスト除去液により残存フォトレジストを除去するステップと
を備えたことを特徴とする光導波路素子の作製方法。
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