JP6110797B2 - 受光デバイス - Google Patents
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Description
図2は、本願発明の一実施形態にかかる受光デバイスの概略構成を示す図であり、(a)は上面図、(b)はB−B線における断面図、(c)はC−C線における断面図である。
102 クラッド
103 Si基板
104 ミラー
106 PD構造
107 PD受光部
108 PD電極
110 接着層
201a,201b コア
202 クラッド
203 Si基板
204 ミラー
206 PD構造
208 遮光膜
210 ピンホール
301a,301b コア
304 ミラー部
306 PD構造
308 遮光膜
310 ピンホール
320 光導波路入力部
330 方向性結合器
Claims (6)
- アンダークラッド、第1のコア、第2のコア及びオーバークラッドからなる導波路層が基板に作製された光平面回路であり、前記導波路層が入力された光を前記第1のコアおよび前記第2のコアに分岐する分岐手段を含む、光平面回路と、
前記オーバークラッドの表面の前記第1のコアの上方の位置に集積された受光手段と、
前記オーバークラッドの表面の前記第2のコアの上方の位置に形成された遮光手段であり、開口領域を有する遮光手段と、
前記第1のコア及び前記第2のコアから出射する光を前記受光手段の受光面の方向及び前記遮光手段の前記開口領域の方向へそれぞれ反射する反射手段と
を備えた受光デバイスであって、
前記光平面回路が、前記第1のコア及び前記第2のコアの光の出射方向と交わり、前記基板の垂直方向に対して傾斜した傾斜面を有し、
前記反射手段が、前記傾斜面に設けられ、
前記オーバークラッドから見たときの前記遮光手段の開口領域の形状と前記受光手段の受光面の形状とが等しく、
前記第1のコア及び前記第2のコアは、光の導波方向に垂直な断面の形状が等しく且つ互いに平行であり、
前記第2のコアと前記遮光手段の開口領域との相対的な位置の関係は、前記第1のコアと前記受光手段の受光面との相対的な位置の関係と等しく、
前記反射手段は、前記第1のコアからの光と前記第2のコアからの光を等しい角度で反射することを特徴とする受光デバイス。 - 前記反射手段が、前記傾斜面に被着された
反射膜、
金属薄膜、および
多層膜
のいずれかからなるミラーであることを特徴とする請求項1に記載の受光デバイス。 - 前記遮光手段は、前記オーバークラッドの表面の前記第2のコアの上方の位置に被着した遮光膜であり、前記第2のコアから出射した光が前記反射手段により反射され前記開口領域を通過することを特徴とする請求項1または2に記載の受光デバイス。
- 前記受光手段は、前記オーバークラッドの表面の前記第1のコアの上方の位置に接合された光半導体エピタキシャル層より形成され、前記光半導体エピタキシャル層の成長基板を含まないことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の受光デバイス。
- 前記第2のコアから出射し前記反射手段により反射され前記受光手段の受光面に光学的に結合された光の光結合距離は、
前記第2のコアから出射し前記反射手段により反射され前記受光手段の受光面に光学的に結合された光の径が前記受光面と等しくなる径となる光結合距離よりも小さいことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の受光デバイス。 - 前記傾斜面と前記基板とのなす角度は、30度以上60度以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の受光デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014002682A JP6110797B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 受光デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014002682A JP6110797B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 受光デバイス |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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JP2014002682A Active JP6110797B2 (ja) | 2014-01-09 | 2014-01-09 | 受光デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6110797B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111476A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | 光電変換率測定装置 |
WO2002073256A1 (fr) * | 2001-02-28 | 2002-09-19 | Nec Corporation | Circuit optique et son procede de production, circuit optique en reseau, et dispositif a circuit optique l'utilisant |
JP4343737B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2009-10-14 | 日本電信電話株式会社 | 集積型受光回路及びその作製方法並びにアレイ受光部品 |
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2014
- 2014-01-09 JP JP2014002682A patent/JP6110797B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2015132653A (ja) | 2015-07-23 |
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