JP6714555B2 - 光導波路部品、コアの調芯方法、および光素子の実装方法 - Google Patents
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Description
図3は第1の実施形態の光導波路部品の接続を説明する図であり、図4は第1の実施形態の光導波路部品の部分拡大図である。図4(a)は調芯用入出力導波路および信号用導波路を示し、図4(b)は光導波路部品の端面を示している。
図6は第2の実施形態の光導波路部品の部分拡大図である。図6(a)は調芯用入出力導波路および信号用導波路を示す部分であり、図6(b)は光導波路部品端面を示す部分である。本実施形態では、調心用入力導波路11a’を図6に示すようにテーパー型にしているが、その他の構成は第1の実施形態と同様である。
図7は第3の実施形態の光導波路部品の部分拡大図を示す図である。図7(a)は調芯用の入出力導波路および信号用導波路を示す部分であり、図7(b)は光導波路部品端面を示す部分である。本実施形態では、図7のように、折り返し導波路11cから光信号用導波路10へ光結合する光カプラを折り返し導波路11cに設ける構成としているが、その他の構成は第1の実施形態と同様である。この構成によれば、PD2の実装の際にPLC1の位置基準とすることができる調心用出力導波路11bを光信号用導波路10が兼ねることにより実現できる。
図8は第4の実施形態の光導波路部品の構成例を示す図であり、図9は図8の光導波路部品の部分拡大図である。図9(a)は調芯用入出力導波路および信号用導波路を示す部分であり、図9(b)は光導波路部品端部における光導波路の配置関係であり、図9(c)は光導波路端部における表面を示す部分であり、図9(d)は導波路端部の断面を示す部分である。
1a 傾斜面
11 調心用出力導波路
10 光信号用導波路
11a 調心用入力導波路
11b 調心用出力導波路
11c 折り返し導波路
2 光素子(PD)
21 出力ポート(受光部)
22 調心用基準マーカー
3 同軸落射型顕微鏡
4 基板
101 PLC
111a 調芯用入力導波路
111b 調芯用出力導波路
103 顕微鏡
104 ファイバブロック
105 照明光
Claims (6)
- 基板上に、アンダークラッドと、コアと、オーバークラッドとが積層されて形成された光導波路を備え、前記コアを調芯した状態で光素子との間で信号光の入出力を行う光導波路部品であって、
前記光導波路は、光信号用導波路と、調芯用の光を入力する調芯用入力導波路と、調芯用の光を出力する調芯用出力導波路と、調芯用入力導波路に入力された光を調芯用出力導波路へ伝搬する折り返し導波路とを含み、
前記光信号用導波路の一端部と、前記調芯用入力導波路と、前記調芯用出力導波路とが前記光導波路部品の光導波路端部の同じ面内に形成されており、
前記折り返し導波路は、前記調芯用入力導波路から入力された光を、前記光信号用導波路に光結合する光カプラ回路が形成され、該光カプラ回路が形成された光信号用導波路は前記調芯用出力導波路を兼ねていることを特徴とする光導波路部品。 - 調芯用の光を入力する調芯用入力導波路は、前記光導波路端部に向けて幅広となるテーパー構造であることを特徴とする請求項1に記載の光導波路部品。
- 前記調芯用入力導波路と、前記調芯用出力導波路と、該調芯用入力導波路および調芯用出力導波路に対応した折り返し導波路との組み合わせが2つ以上設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の光導波路部品。
- 基板上に、アンダークラッドと、コアと、オーバークラッドとが積層されて形成された光導波路を備え、前記コアを調芯した状態で光素子との間で信号光の入出力を行う光導波路部品であって、
前記光導波路は、光信号用導波路と、調芯用の光を入力する調芯用入力導波路と、調芯用の光を出力する調芯用出力導波路と、調芯用入力導波路に入力された光を調芯用出力導波路へ伝搬する折り返し導波路とを含み、
前記光信号用導波路の一端部と、前記調芯用入力導波路と、前記調芯用出力導波路とが前記光導波路部品の光導波路端部の同じ面内に形成されており、
前記光導波路部品の光導波路端部は、ミラーを有する傾斜面に形成されていることを特徴とする光導波路部品。 - 基板上に、アンダークラッドと、コアと、オーバークラッドとが積層されて形成された光導波路を備え、前記コアを調芯した状態で光素子との間で信号光の入出力を行う光導波路部品であって、
前記光導波路は、光信号用導波路と、調芯用の光を入力する調芯用入力導波路と、調芯用の光を出力する調芯用出力導波路と、調芯用入力導波路に入力された光を調芯用出力導波路へ伝搬する折り返し導波路とを含み、
前記光信号用導波路の一端部と、前記調芯用入力導波路と、前記調芯用出力導波路とが前記光導波路部品の光導波路端部の同じ面内に形成されており、
前記調芯用入力導波路と、前記調芯用出力導波路と、該調芯用入力導波路および調芯用出力導波路に対応した前記折り返し導波路との組み合わせが2つ以上設けられている光導波路部品におけるコアの調芯方法であって、
同軸落射型顕微鏡からの照射光を、前記光導波路部品の端面に向けて照射するステップと、
前記同軸落射型顕微鏡の視野を、前記調芯用入力導波路と前記調芯用出力導波路との両方が入るように調整しながら前記同軸落射型顕微鏡の対物レンズのフォーカスを前記光導波路部品の端面に合わせるステップと、
前記同軸落射型顕微鏡の対物レンズを介して前記光導波路部品の端面の画像を取得しながら、前記対物レンズに対する前記前記光導波路部品の回転角度を調整するステップと、
2つの調芯用出力導波路のコアの明るさが最も明るくなった位置に、前記対物レンズに対する前記光導波路部品の回転角度を固定するステップと、を含むことを特徴とするコアの調芯方法。 - 基板上に、アンダークラッドと、コアと、オーバークラッドとが積層されて形成された光導波路を備え、前記コアを調芯した状態で光素子との間で信号光の入出力を行う光導波路部品であって、
前記光導波路は、光信号用導波路と、調芯用の光を入力する調芯用入力導波路と、調芯用の光を出力する調芯用出力導波路と、調芯用入力導波路に入力された光を調芯用出力導波路へ伝搬する折り返し導波路とを含み、
前記光信号用導波路の一端部と、前記調芯用入力導波路と、前記調芯用出力導波路とが前記光導波路部品の光導波路端部の同じ面内に形成されており、
前記調芯用入力導波路と、前記調芯用出力導波路と、該調芯用入力導波路および調芯用出力導波路に対応した前記折り返し導波路との組み合わせが2つ以上設けられており、
ミラーを有する傾斜面に形成された光導波路端部を有する光導波路部品においてコアを調芯して光素子を固定する光素子の実装方法であって、
同軸落射型顕微鏡からの照射光を、前記光導波路部品の前記基板と反対側の表面である第1の面に向けて照射するステップと、
前記同軸落射型顕微鏡の視野を、前記調芯用入力導波路と前記調芯用出力導波路との両方が入るように調整しながら前記同軸落射型顕微鏡の対物レンズのフォーカスを前記光導波路部品の前記第1の面に合わせるステップと、
前記同軸落射型顕微鏡の対物レンズを介して前記光導波路部品の前記表面の画像を取得しながら、前記対物レンズに対する前記前記光導波路部品の前記第1の面の回転角度を調整するステップと、
2つの調芯用出力導波路のコアの明るさが最も明るくなった位置に、前記対物レンズに対する前記光導波路部品の第1の面の回転角度を固定し、かつ前記対物レンズに対する前記光導波路部品の第1の面の回転角度を特定するステップと、
前記特定した回転角度と、コア、クラッド、空気のそれぞれの屈折率とをスネルの法則に当てはめることで、実際のミラーの角度を算出するステップと、
前記算出したミラー角度に基づいて、設計値のミラー角度に対するミラーの角度誤差を算出するステップと、
前記調芯用出力導波路のコア中心を前記光導波路部品の基準位置に設定して、ミラーの角度誤差調整後の設計位置に光素子を配置することにより、光素子をアライメントするステップと、
前記光素子をアライメントした位置で前記光導波路部品を固定するステップと、を含むことを特徴とする光素子の実装方法。
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JP2017172212A JP6714555B2 (ja) | 2017-09-07 | 2017-09-07 | 光導波路部品、コアの調芯方法、および光素子の実装方法 |
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JP2017172212A JP6714555B2 (ja) | 2017-09-07 | 2017-09-07 | 光導波路部品、コアの調芯方法、および光素子の実装方法 |
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