KR890013707A - 선택적 에피탁시를 이용한 표면반사 거울면의 제조방법 - Google Patents
선택적 에피탁시를 이용한 표면반사 거울면의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도의 (가) 및 (나)도는 마스크 패턴의 일예도,
제2도는 성장된 에피탁시의 단면도.
Claims (2)
- 길이(L1), 너비(W1)의 스트라입과 각(θi)을 갖고 길이(L2) 및 너비(W2)인 스트라입과 길이(L3), 너비(W2)인 스트라입을 갖는 마스크(1)를 사용하여 선택적 에피탁시 마스크 막(3)이 증착된 기판(2) 위에 포토리소그라피 공정에 의하여 패턴을 형성한 후 마스크 막(3)을 식각하고 마스크 창(10)을 하며, 이를 에피탁시 공정에 의한 선택적 에피탁시의 성장 면적에 따른 성장 속도차를 이용하여 에피탁시층(5)을 성장함으로써 거울면을 얻음을 특징으로 하는 선택적 에피탁시를 이용한 표면반사 거울면의 제조방법.
- 1항에 있어서 마스크(1)를 길이(L1), 너비(W1)의 스트라입과 길이(L2) 및 너비(W2)인 계단형 스트라입과 길이(L3), 너비(W3)인 스트라입을 갖는 마스크(1')로 사용함을 특징으로 한 선택적 에피탁시를 이용한 표면 반사 거울면의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019880001420A KR910004055B1 (ko) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | 선택적 에피탁시를 이용한 표면 반사거울면의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019880001420A KR910004055B1 (ko) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | 선택적 에피탁시를 이용한 표면 반사거울면의 제조방법 |
Publications (2)
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| KR890013707A true KR890013707A (ko) | 1989-09-25 |
| KR910004055B1 KR910004055B1 (ko) | 1991-06-22 |
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Country Status (1)
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| KR (1) | KR910004055B1 (ko) |
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1988
- 1988-02-13 KR KR1019880001420A patent/KR910004055B1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|
| KR910004055B1 (ko) | 1991-06-22 |
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