KR890011001A - X선 이미지관 및 그 제조방법 - Google Patents

X선 이미지관 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR890011001A
KR890011001A KR1019880017461A KR880017461A KR890011001A KR 890011001 A KR890011001 A KR 890011001A KR 1019880017461 A KR1019880017461 A KR 1019880017461A KR 880017461 A KR880017461 A KR 880017461A KR 890011001 A KR890011001 A KR 890011001A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fluorescent film
base material
output
vapor deposition
crystal
Prior art date
Application number
KR1019880017461A
Other languages
English (en)
Other versions
KR910009641B1 (ko
Inventor
가쯔히사 홈마
사께 기무라
마사루 니까이도
요시아끼 오우찌
요시하루 오바따
요시가쯔 우에무라
쇼조 사또
Original Assignee
아오이 죠이찌
가부시끼가이샤 도시바
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아오이 죠이찌, 가부시끼가이샤 도시바 filed Critical 아오이 죠이찌
Publication of KR890011001A publication Critical patent/KR890011001A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR910009641B1 publication Critical patent/KR910009641B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K4/00—Conversion screens for the conversion of the spatial distribution of X-rays or particle radiation into visible images, e.g. fluoroscopic screens
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/08—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
    • C09K11/58—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing copper, silver or gold
    • C09K11/582—Chalcogenides
    • C09K11/584—Chalcogenides with zinc or cadmium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/08—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
    • C09K11/61—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing fluorine, chlorine, bromine, iodine or unspecified halogen elements
    • C09K11/611—Chalcogenides
    • C09K11/612—Chalcogenides with zinc or cadmium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/08—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
    • C09K11/64—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing aluminium
    • C09K11/641—Chalcogenides
    • C09K11/642—Chalcogenides with zinc or cadmium

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Luminescent Compositions (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

X선 이미지관 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 본 발명에 따른 X선 이미지관에 결합된 출력면의 단면도.
제 4A도는 부르트짜이트 타입 (wurtzite type)결정의 (002)면을 나타내는 도면.
제 4B도는 부르트짜이트 타입 결정의 (111)축 (즉,C축)이 기판에 대해 어떻게 뻗어있는지를 나타내는 도면.
제 5A도는 스타러라이트 타입 (sphalerite type)결정의 (002)면을 나타내는 도면.
제 5B도는 스파러라이트 타입 결정의 (111)축이 기판에 대해 어떻게 뻗어있는지를 나타내는 도면.

Claims (17)

  1. 출력 형광막이 zns 및 (zn,cd)s로 구성된 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 모재와 Cu, Ag, Au, Al 및 Cl로 구성된 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 활성화제 원소를 포함하며, 출력형광막 (22)이 육방정형(브르트짜이트 타입)결정 및/또는 등축정형 (스파러라이트 타입)결정 구조를 가지고 있고 육방정형 결정 구조의 (002)면 (24) 및/또는 등축정형 결정구조의 (111)면 (25)이 페이스 플레이트에 실질적으로 평행한 것을 특징으로 하는 페이스 플레이트 (21) ; 및 페이스 플레이트(21)상에 형성된 출력형광막 (22)을 포함하는 출력면을 가진 X선 이미지관.
  2. 제 1 항에 있어서, 모재가 zns인 것을 특징으로 하는 X선 이미지관.
  3. 제 1 항에 있어서, 모재가 (zn,cd)s인 것을 특징으로 하는 X선 이미지관.
  4. 제 3 항에 있어서, zn에 대한 cd의 몰비가 4이하인 것을 특징으로 하는 X선 이미지관.
  5. 제 1 항에 있어서, 출력형광막 (22)이 3000Å-8㎛의 두께를 가진 것을 특징으로 하는 X선 이미지관.
  6. 제 1 항에 있어서, 출력면(3)이 출력형광막 (22)상에 형성된 금속 보강충인 알루미늄층 (23)을 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 이미지관.
  7. 제 1 항에 있어서, 활성화제 함량이 모재양을 기준으로 하여 0.001-5mol% 인것을 특징으로 하는 X선 이미지관.
  8. 출력 형광막 (22)이 zns 및 (zn,cd)s로 구성된 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 모재와 Cu, Ag, Au, Al 및 Cl로 구성된 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 활성화제 원소를 포함하는 형광체의 조밀하게 패킹된 원주모양의 결정을 포함하며, 상기 원주모양의 결정이 육방정형 (브르트짜이트 타입)결정이며, 육방정형 결정의 (002)면 (24) 및/또는 등축정형 결정의 (111)면 (25)이 페이스 플레이트에 실질적으로 평행한 것을 특징으로 하는 특정광에 투명한 페이스 플레이트 (21) ; 페이스 플레이트 (21)상에 형성된 출력형광막 (22) ; 및 출력형광막 (22)상에 형성된 알루미늄층 (23)과 같은 금속보강층을 포함하는 출력면 (3)을 가진 X선 이미지관.
  9. 1Pa 이상의 개스 압력을 가진 불활상 개스 분위기에서 화학적 증착법 또는 물리적 증착법에 의해 페이스 프레이트 상에 zns 및 (zn,cd)s로 구성된 그룹으로부터 선택된 하나이상의 모재와 Cu, Ag, Au, Al 및 Cl로 구성된 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 활성화제 원소를 포함하는 출력 형광막 (22)을 형성하고, 상기 출력형광막을 열처리 하는 것을 특징으로 하는 X선 이미지관의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 모재가 zns인 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제 9 항에 있어서, 모재가 (zn,cd)s인 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제 9 항에 있어서, 출력형광막 (22)이 물리적 증착법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 분리된 공급원의 모재와 분리된 공급원의 활성화제 요소가 물리적 증착법에서 사용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제12항에 있어서, 물리적 증착법이 내열성 증착법인 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제 9 항에 있어서, 출력형광막 (22)이 화학적 증착법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제 9 항에 있어서, 출력형광막 (22)이 500-1100℃에서 열처리되는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제 9 항에 있어서, 모재와 활성화제 원소가 서로 번갈아서 증착되는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880017461A 1987-12-25 1988-12-24 X선 이미지관 및 그 제조방법 KR910009641B1 (ko)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62-327512 1987-12-25
JP32751287 1987-12-25
JP?62-327512 1987-12-25
JP63-251932 1988-10-07
JP?63-251932 1988-10-07
JP63251932A JP2766275B2 (ja) 1987-12-25 1988-10-07 Ｘ線イメージ管

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR890011001A true KR890011001A (ko) 1989-08-12
KR910009641B1 KR910009641B1 (ko) 1991-11-23

Family

ID=26540443

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019880017461A KR910009641B1 (ko) 1987-12-25 1988-12-24 X선 이미지관 및 그 제조방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4906893A (ko)
EP (1) EP0322715B1 (ko)
JP (1) JP2766275B2 (ko)
KR (1) KR910009641B1 (ko)
DE (1) DE3888497T2 (ko)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0392776B1 (en) * 1989-04-10 1993-06-30 Sharp Kabushiki Kaisha Luminescent material
JPH02276996A (ja) * 1989-04-18 1990-11-13 Seiko Instr Inc Ｘ線イメージセンサー
JPH02277000A (ja) * 1989-04-18 1990-11-13 Seiko Instr Inc Ｘ線イメージセンサー
NL8901752A (nl) * 1989-07-10 1991-02-01 Philips Nv Projectietelevisiesysteem en kathodestraalbuis met interferentiefilter.
DE4124875A1 (de) * 1991-07-26 1993-01-28 Siemens Ag Strahlenwandlerschirm und verfahren zu dessen herstellung
US20060071587A1 (en) * 2002-09-30 2006-04-06 Kabuskhiki Kaisha Toshiba Fluorescent material for dispaly unit, process for producing the same and color display unit including the same
JP4415095B2 (ja) * 2004-04-15 2010-02-17 独立行政法人 日本原子力研究開発機構 ＺｎＳ蛍光体を用いた粒子線検出器及び中性子検出器
JP4321395B2 (ja) * 2004-07-22 2009-08-26 コニカミノルタエムジー株式会社 放射線画像変換パネル及びその製造方法
CN100423165C (zh) * 2006-08-08 2008-10-01 甘肃省分析测试中心 压光式x光荧光屏的制作方法
JP5339683B2 (ja) * 2007-03-02 2013-11-13 キヤノン株式会社 蛍光体膜の多元真空蒸着法を用いた製造方法
KR101129442B1 (ko) * 2009-04-07 2012-03-26 오충봉 황색 발광 형광체의 제조방법
JP6695461B1 (ja) 2019-02-20 2020-05-20 浜松ホトニクス株式会社 蛍光体パネルの製造方法、蛍光体パネル、イメージインテンシファイア、及び走査型電子顕微鏡

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2435436A (en) * 1943-12-18 1948-02-03 Gen Electric Cathode-ray tube screen
US3984587A (en) * 1973-07-23 1976-10-05 Rca Corporation Chemical vapor deposition of luminescent films
JPS5310958A (en) * 1976-07-19 1978-01-31 Toshiba Corp Evaporated fluorescent surface
JPS5311179A (en) * 1976-07-19 1978-02-01 Hitachi Ltd Fluorescent substance
JPS5323266A (en) * 1976-08-16 1978-03-03 Toshiba Corp Manufacture of fluorescent screen
SU794061A1 (ru) * 1978-06-02 1981-01-07 Научно-Исследовательский Институтэлектронной Интроскопии Притомском Ордена Октябрьскойреволюции И Ордена Трудовогокрасного Знамени Политехническом Институтеим. C.M.Кирова Способ получени вспышечного рентге-НОлюМиНОфОРА
JPS55143562A (en) * 1979-04-26 1980-11-08 Canon Inc Electrophotographic receptor
JPS55165553A (en) * 1979-06-11 1980-12-24 Shimadzu Corp Input surface for x-ray image intensifying tube

Also Published As

Publication number Publication date
DE3888497T2 (de) 1994-06-23
EP0322715B1 (en) 1994-03-16
KR910009641B1 (ko) 1991-11-23
US4906893A (en) 1990-03-06
JPH01243345A (ja) 1989-09-28
DE3888497D1 (de) 1994-04-21
EP0322715A3 (en) 1990-10-17
JP2766275B2 (ja) 1998-06-18
EP0322715A2 (en) 1989-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890011001A (ko) X선 이미지관 및 그 제조방법
KR950005387A (ko) 인광체를 형성시키는 방법
JPS63215987A (ja) 高解像シンチレ−シヨンフアイバ−プレ−ト
KR890006787A (ko) 발광조성물
KR870007578A (ko) 전기 발광체장치 및 그 제조방법
JP2000100562A (ja) 有機ｅｌ素子とその製造方法
US4855879A (en) High-luminance radioluminescent lamp
US4950952A (en) Photocathode and method of manufacturing the same
KR950005950A (ko) 형광체
EP0185534B1 (en) Radiation image storage panel
US4278913A (en) Phosphor and low-velocity electron excited fluorescent display device utilizing the same
KR900009045B1 (ko) 저속전자선 여기형광체, 발광조성물 및 형광표시관
US5444268A (en) Thin film el device
KR930005096A (ko) 청색 발광 형광체 및 그를 사용한 형광램프
US3353983A (en) Fluorescent screen for brightness amplifier tubes and method of making the same
JPH11111453A (ja) 有機ｅｌ素子とその製造方法
JPS5782940A (en) Input screen for radiant ray image intensifying tube
KR900701014A (ko) 광자극성 발광재료에 의한 형광체 및(phospmor of photost imulated luminescence material) 그의 제조방법과 그 형광체로 제조한 x선 화상변환 플레이트 및 그의 제조방법 (imaging plate)
JP2686170B2 (ja) 薄膜ｅｌ素子
JPH02230690A (ja) 薄膜ｅｌ素子
US3622381A (en) Method for the preparation of a zinc oxide film
KR20030082131A (ko) 다층박막 소자용 출발기판
US3460962A (en) Polychromatic luminescent devices and method of manufacture
RU97117737A (ru) Способ изготовления люминесцирующих экранов со столбчатой структурой
JPS6388787A (ja) 薄膜ｅｌ素子の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20031030

Year of fee payment: 13

LAPS Lapse due to unpaid annual fee