KR890001743B1 - 질소가스 제조장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

질소가스 제조장치

제1도는 질소가스 제조장치의 종래예의 구성도를 나타낸 것이다.

제2도는 본 발명에 따른 질소가스 제조장치의 한 실시예의 구성도를 나타낸 것이다.

제3도는 본 발명에 따를 질소가스 제조장치의 다른 실시예의 구성도를 나타낸 것이다.

제4도는 본 발명에 따른 질소가스 제조장치의 또 다른 실시예의 구성도를 나타낸 것이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

9 : 공기압축기 12 : 흡착통

13, 14 : 열교환기 15 : 정류탑

16 : 분축기 18 : 체류 액체공기

23 : 액체질소 저장소 28 : 메인파이프

29 : 백업시스템라인 31 : 증발기

본 발명은 고순도의 질소가스 제조장치에 관한 것이다.

전자공업에서는 다량의 질소가스가 사용되고 있기때문에 저렴한 질소가스의 공급이 요망되고 있으며, 그 요망에 부응하기 위하여 종전까지는 PSA(pressure swing adsorption) 방식이 사용되어 그것에 의해서 질소가스가 제조 공급되어 왔다.

이 PSA 방식에 의한 질소가수 제조장치가 제1도에 나타나 있다.

제1도에서 "1"은 공기 주입구, "2"는 공기 압축기, "3"은 후냉각기, "3a"는 냉각수 공급로, "4"는 분리기이다. "5"는 제1의 흡착조, "6"은 제2의 흡착조이며 " V1" 및 "V2"는 공기 작동 밸브로서 공기 압축기(2)에 의해서 압축된 공기를 밸브 작용에 의하여 흡착조(6)로 보내는 역할을 한다.

"V3" 및 "V4" 진공밸브이며, 흡착조(6)내를 진공펌프(6a)의 작용에 의하여 진공 상태로 만든다.

"6b" 는 진공 펌프(6a)로 냉각수를 공급하는 파이프, "6c"는 소음제거기, "6d"는 그 배기파이프이다. "V5", "V6", "V7", 및 "V9"는 공기작동 밸브이다.

"7"은 제품 저장조이며 파이프(8)에 의해 흡착조(5)(6)에 접속되어 있다.

"7a"는 질소가스를 배출하는 파이프, "7b"는 불순물 분석계, "7c"는 유량계이다.

상기 질소가스 제조장치는 공기 압축기(2)에 의해서 공기를 압축하고, 이 공기 압축기(2)에 부수된 후냉각기(3)에 의해서 압축된 공기를 냉각하여 분리기(4)에 응축수를 제거하며 공기 작동밸브(V1) 또는 (V2)를 경유시켜서 흡착조(5) (6)로 보내어진다.

2기의 흡착조(5)(6)에는 각각 산소 흡착용의 탄소몰레큘라 시이브(carbon molecular sieve)가 내장되어 있으며, 이 흡착조(5)(6)에는 압력스윙(pressure swing)방식에 의하여 매분마다 교대로 압축 공기가 보내어진다.

이경우 압축 공기가 보내어 지지 않는 흡착조(5)(6)는 진공펌프(6a)의 작용에 의해서 내부가 진공상태로 된다. 즉, 공기 압축기(2)에 의하여 압축된 공기는 한쪽의 흡착조(5)내로 들어가서 탄소 몰레큘라 시이브에 의해서 그중의 산소성분의 흡착제거되고 질소만이 밸브(V5)(V7)(V9)를 경유하여 제품 저장조(7)내로 이송되어져서 파이프(7a)를 통해 다른곳으로 보내어진다.

이때 밸브(V2)가 닫혀지므로 다른쪽의 흡착조(6)는 공기 압축기(2)로부터 오는 공기가 차단되고 또한, 밸브(V4)가 열리므로서 내부가 진공펌프(6a)에 의해서 진공흡인된다.

그 결과, 탄소 몰레큘라 시이브에 흡착된 산소가 흡인제거되어 탄소 몰레큘라 시이브가 재생된다. 이와 같이 하여서 흡착조(5)(6)로 부터 서로 엇갈리게 질소가스가 제품조(7)로 보내어져서 질소가스가 연속적으로 얻어진다.

이와 같이 이 질소가스 제조장치는 탄소 몰레큘라 시이브가 산소를 선택적으로 흡착하는 특성을 이용하여서 질소가스를 제조하므로 저렴한 질소가스를 얻을 수 있다.

그러나, 전술한 바와 같이 2기의 흡착조(5) (6)에 매분마다 엇갈리게 압축공기를 보내며 그와 동시에 다른쪽의 흡착조내를 진공 흡인하므로서 밸브가 여러개 필요하게 되는 동시에 밸브조작도 번잡하게 되어 자주 고장이 발생하게 되는 문제점이 있었다.

그러므로, 2개로 구성된 1조의 흡착조(5)(6)를 2조 설치하고, 또한 1조를 예비로 설치하지 않으면 안되기 때문에 설비비가 더 소요된다는 문제점도 있다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 외부로 부터 주입된 공기를 압축하는 공기 압축장치와, 이 공기 압축장치에 의해서 압축된 압축 공기중의 탄산가스와 수분의 제거 장치와, 액체질소를 저장하는 액체 질소 저장장치와, 전술한 압축 공기를 초저온으로 냉각하는 열교환 장치와, 이 열교환 장치에 의해서 초저온으로 냉각된 압축 공기의 산소를 액화하여서 정류탑 내부에 저장하여 질소만을 기체로서 방출하는 정류탑을 구비한 질소가스 제조장치로서, 상술한 액체질소 저장장치내의 액체질소가 상술한 정류탑으로 주입되어 압축공기 액화용의 한냉원으로 되는 동시에, 한냉원으로서의 작용을 종료하고 기화된 액체질소가 상술한 정류탑에서 얻어지는 질소가스와 합쳐져 최종 생성 질소가스가 되도록 한 질소가스 제조장치를 본 발명의 제1의 요지로 하고, 외부로 부터 주입된 공기를 압축하는 공기의 압축장치와, 이 공기 압축장치에 의해서 압축된 공기중의 탄산가스와 수분을 제거하는 제거장치와, 액체질소를 저장하는 액체질소 저장장치와, 전술한 압축공기를 초저온으로 냉각하는 열교환 장치와, 이 열교환 장치에 의해서 초저온으로 냉각된 압축 공기의 일부를 액화하고 질소만을 기체로서 유지하는 정류탑을 구비한 질소가스 제조장치로서, 전술한 액체질소 저장장치내의 액체질소를 전술한 정류탑으로 유도하여 압축공기 액화용의 한냉원으로 작용되게 하는 액체질소의 주입장치와, 전술한 한냉원으로서의 작용을 끝내고 기화된 액체질소와 압축 공기로부터 얻어지는 질소가스를 합쳐서 전술한 정류탑으로 부터 송출하는 송출로와, 상기 송출된 질소가스를 내부로 유도하여 그 일부를 응축시키고 나머지 부분을 질소가스 상태로 송출하는 응축장치가 설치되고, 상술한 응축장치에 의하여 응축된 질소가스를 전술한 액체질소 저장장치로 부터 공급되는 액체질소와 합쳐서 정류탑의 압축공기액화용의 한냉원이 되도록한 질소가스 제조장치를 제2의 요지로 하는 것이다.

즉, 본 발명의 제1의 요지의 질소가스 제조장치는 액체질소의 증발열을 이용하여서 정류탑으로 주입되는 압축공기를 냉각하여 압축공기의 일부를 액화 분리해서 질소를 기체상태로 유지하며 이것을 정류탑에 있어서의 한냉원으로서 작용을 끝내고 기화된 액체질소와 합쳐서 질소가스로서 이끌어 내므로 질소가스를 저렴한 값으로 얻을 수 있게되는 이점을 가지고 있다.

더구나, 본 장치는 PSA방법과 같은 여러개의 밸브가 필요하지 않으므로 고장이 적다. 따라서 PSA방식과 같이 2개를 1조로 하는 흡착조를 예비로 1조를 더 설치해야 할 필요가 없게 되므로 설비비도 절감할수 있게 된다.

본 발명의 제2의 요지로 하는 질소가스 제조장치는 정류탑으로 부터 얻어지는 질소가스를 응축장치에 넣어 그 일부를 액화하고 이것을 액체질소 저장장치의 액체질소와 합쳐지도록 되어 있기 때문에 전술한 제1의 요지의 장치의 효과와 더불어 액체질소 저장 수단의 액체질소의 소비량을 절약할수 있다는 효과도 얻을 수 있다.

본 발명의 더욱 상세한 내용을 도면에 의거 설명하면 다음과 같다.

제2도는 본 발명의 한 실시예의 구성도이며 여기서 "9"는 공기 압축기, "10"은 드레인 분리기, "11"은 프레온 냉각기, "12"는 2개를 1조로 하는 흡착통이다.

흡착통(12)은 내부에 몰레큘라 시이브가 충전되어 있어서 공기 압축기(9)에 의해서 압축된 공기중의 H₂O 및 CO₂를 흡착 제거하는 작용을 한다.

"13"은 제1의 열교환기이며, 흡착통(12)에 의해서 H₂O 및 CO₂가 흡착제거된 압축 공기가 제1의 열교환기로 보내어진다.

"14"는 제2의 열교환기이며, 제1의 열교환기(13)를 경유한 압축공기가 제2의 열효관기로 보내어 진다.

"15"는 탑정상에 분축기(16)를 설비한 정류탑이며, 제1 및 제2의 열교환기(13) (14)에 의해서 초저온으로 냉각된 압축공기를 다시 냉각해서 그 일부를 액화하여 정류탑 저부에 저장하고, 질소만을 기체상태로 분리하여 내도록 되어 있다.

즉, 이 정류탑(15)은 제1 및 제2의 열교환기(13)(14)를 경유해서 약-170℃의 저온으로 냉각된 압축공기를 파이프(17)에 의하여 정류탑(15) 저부의 체류 액체공기(N₂: 50-70%, O₂: 30-50%)(18)속을 통과시켜 다시 냉각시키고 계속하여 팽창밸브(19)를 경유해서 정류탑 내부로 분사시켜 분축기(16)로 산소등을 액화하고 질소는 기체상태 그대로 남게되어 있다.

이 분축기(16)는 다수의 튜우브(tube) (20)가 설치되어 있는 칸막이판(21)에 의해서 탑부(22)와 구분되어 있어서 액체질소 저장조(23)로 부터 액체질소가 파이프(24)를 경유해서 칸막이판(21)위로 공급되며, 정류탑(15)내로 분사된 압축공기를 튜우브(20)내로 안내해서 냉각하고, 산소(비등점-183℃)는 액화하여 낙하시키고 질소(비등점-196℃)는 기체 상태로 상부 방향으로 이동 시키도록 되어 있다.

이 경우, 정류탑(15)내로 분사된 압축공기는 튜우부(20)로 부터 낙하되는 액체산소와 향류적으로 접촉되므로 산소의 액화분리가 한층 더 촉진된다.

"25"는 액면계이며 이것은 분축기(16)내의 액체질소의 액면에 따라서 밸브(26)를 제어하여 액체질소 저장조(23)로 부터 액체질소의 공급량을 조절한다.

"27"은 분축기(16)의 상부에 머물러 있는 질소가스를 빼내는 파이프로서 초저온의 질소가스를 제1, 제2의 열교환기(13)(14)내로 안내하며, 그곳에 보내어지는 압축공기와 열교환시켜서 상온으로 만들어 매인 파이프 (28)로 보내는 작용을 한다.

"29"는 정류탑(15)의 저부의 체류 액체공기(18)를 제1 및 제2의 열교환기(13)(14)로 보내는 파이프이며 "29a"는 압력 유지 밸브이다.

제1 및 제2의 열교환기(13)(14)에서 열교환 (열교환기(13) (14)내에서의 압축공기의 냉각)을 끝마친 액체공기는 기화해서 제1의 열교환기(13)로 부터 화살표 A와 같이 방출되도록 되어있다.

또한. "30"은 백업 시스템 라인이며, 공기 압축 시스템의 라인이 고장났을때에 액체질소 저장조(23)내의 액체질소를 증발기(31)에 의해서 증발시켜서 메인 파이프(28)로 보내며, 질소가스의 공급이 중단되는 일이 없도록 하는 역할을 한다.

"32"불순물 분석계이며, 메인 파이프(28)로 부터 보내지는 제품질소 가스의 순도를 분석하여 순도가 낮을때에는 밸브(34) (34a)를 작동시켜서 질소가스를 화살표(B)와 같이 외부로 내보내는 작용을 한다.

이 장치는 다음과 같이 하여서 질소가스를 제조한다.

즉, 공기압축기(9)에 의해서 공기를 압축하고, 드레인 분리기(10)에 의해서 압축된 공기중의 수분을 제거해서 프레온 냉각기(11)에 의해서 냉각하고, 그 상태로 몰레큘라 시이브가 충전되어 있는 흡착통(12)으로 보내서 공기중의 H₂O 및 CO₂를 츱착제거 한다.

계속해서 H₂O CO₂가 흡착제거된 압축 공기를 제1의 열교환기(13) 및 제2의 열교환기(14)로 보내서 초저온으로 냉각하며, 또한 정류탑(15)하부에 있는 체류 액체공기(18)로 더욱 냉각한 다음 정류탑(15)로 분사시킨다.

그리고 질소와 산소의 비등점차(산소의 비등점-183℃), 질소의 비등점-196℃)를 이용해서 공기중의 산소를 액화하고, 질소를 기체상태로 빼내어 제1 또는 제2의 열교환기(13) (14)로 보내어서 상온으로 만들어 메인파이프(28)로 부터 질소가스를 생성한다.

이 경우, 액체질소 저장조(23)내의 액체질소는 정류탑(15)의 분축기(16)의 한냉원으로서 작용하며, 그 자체는 기화해서 메인 파이프(28)내로 보내져서, 전술한 정류탑(15)으로부터 얻어지는 공기중의 질소가스와 합쳐져서 질소가스 생성물로 얻어진다.

이와 같이, 이 질소가스 제조장치에 의하면 액체질소의 증발열을 이용해서 압축공기를 냉각하고 그것을 정류탑(15)으로 보내서 산소등을 분리하여 질소만을 거두어 내며 이것을 한냉원으로 작용하는 액체질소(기체상으로 되어 있음)와 합쳐서 질소가스로 생성됨으로서 가격이 매우 저렴할뿐만 아니라 고순도의 질소가스를 얻을 수가 있다.

즉, 정류탑(15)을 고정밀도로 설치하므로서 순도 99.999%의 질소가스를 얻을 수 있게 된다.

이것에 대하여서 PSA방식의 질소가스 제조장치에서는 순도가 겨우 99.3%의 것밖에 얻을 수 없었다.

이와 같이 PSA방식의 질소가스 제조장치로서는 순도가 99.3%인 질소가스밖에 제조할수 없으므로 고순도의 질소가스가 요구되는 전자공업에서는 이상태로는 사용불가능하다.

전자공업용으로 사용하기 위해서는 별도로 정제기를 설치하고, 질소가스에 수소를 첨가하여 질고가스중의 산소(불순물)을 수소와 반응시켜 H₂O로써 제거할 필요가 있다.

그러나, 이와 같이 하므로서 이번에는 질소가스중에 수소가 불순물로 들어가게 되므로 정제기를 통하여서 순도는 결국 0.3%향상되는데 불과했다.

더구나, PSA방식의 질소가스 제조장치로부터 얻어지는 질소가스 중에는 5-10ppm의 탄산가스가 불순물로서 포함되어 있으므로 이 불순물을 제거하기 위해서 별도로 탄산가스 제거용의 흡착조가 필요하게 된다.

여기에 반하여 본 발명의 질소가스 제조장치에 의하면 고순도의 질소가스가 얻어지므로 이것을 그대로 전자 공업용으로 사용할수가 있다.

더구나 이 가스에는 탄산가스가 포함되어 있지 않으므로(제조 장치내에서 제거된다) 탄산가스용의 흡착조를 별도로 장치할 필요가 없게된다.

또한 소량의 액체질소를 공급하는 것만으로 대량의 질소가스를 얻도록 되어있다. 즉, 본 발명의 질소가스 제조장치에 의하면, 액체질소가스 저장조로 부터 100Nm³의 액체 질소가스를 분축기(16)로 보내므로서 1000Nm³의 질소가스를 얻을 수가 있다.

이와 같이 본 발명의 제조장치에 의하면 소량의 액체질소를 공급하여서 그양의 10배의 질소가스를 얻을 수가 있으므로 결국 매우 저렴한 값의 질소가스가 얻어지게 되는 것이다.

또한 PSA방식에 의한 질소가스 제조장치에 비해서, 장치가 간단하므로 전체의 장치를 설비하는 비용이 저렴하고 또한, 여러개의 밸브등도 불필요하므로 장치의 정밀도 및 실뢰도가 크다.

더구나, 백업 시스템 라인이 설치되어 있으므로 공기 압축 시스템 라인이 순조롭지 못할때에도 질소가스를 공급할수 있으며, 질소가스의 공급이 중단되는 일이 발생하지 않는다.

제3도는 다른 실시예의 구성도이다.

이 질소가스 제조장치는 정류탑(15)의 상방에 응축기(25)를 설치해서 연결된 파이프(36)에 의해서 분축기(16)의 상부와 연결시켜 분축기(16)의 상부에 모여있는 질소가스(분축기(16)에 의해서 산소가 액화분리된 질소가스 및 액체질소 저장조(23)로 부터 공급된 액체질소의 기화질소 가스를 응축기(35)내로 넣도록 구성되어 있다.

그리고 한쪽끝(35b)이 정류탑(15)의 저부와 연결되고 또 다른쪽끝(35c)이 제1 및 제2의 열교환기(14), (13)를 통과해서 공기중으로 개방되어 있는 냉각파이프(35a)에서 상기 질소가스는 냉각되어 (냉매는 정류탑(15)저부의 체류 액체공기)그 일부를 응축시켜서 생성된 액체질소 (37)를 수두차를 이용해서 환류 파이프(38)를 통하여 분축기(16)내로 되돌려 보내고, 미응축 질소가스를 제1 및 제2의 열교환기(13)(14)를 통과해서 메인파이프(28)로 보내도록 되어 있다.

상기 외의 부분은 전술한 실시예와 동일하며 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙였다.

즉, 이 질소가스 제조장치는 응축기(16)의 상부로 부터 얻어지는 질소가스를 응축기(35)로 유도하여 그 일부를 응축시켜서 분축기(16)내로 되돌려 보내고, 액체질소 저장조(23)로 부터 공급되는 액체질소에 합쳐지도록 되어 있기때문에 액체질소 저장조(23)로 부터 공급되는 액체질소의공급량을 줄일수 있게된다.

따라서 종래의 PSA방식의 장치에 비해서 본 발명의 장치는 얻어지는 질소가스의 생산가격을 낮게할 수 있다는 탁월한 효과를 가지고 있다.

제4도 또 다른 실시예의 구성도이다.

이 질소가스 제조장치는 환류파이프(38)가 설치되어 있어서 질소가스를 정류탑(15)의 상부로 되돌려 보내도록 되어 있다.

이 이외의 부분은 제3도의 실시예와 동일하며 동일부분에 대해서는 동일한 부호를 붙였다. 이 실시예의 의하면 액체질소 저장조(23)의 액체질소의소비량을 절약할수 있는 점외에 정류효과를 높이는 것도 실현할수 있다.

더구나, 전술한 실시예는 어느것이나 정류탑(15)에서 액화된 공기 및 정류탑(15)의 분축기(16) (또는 응축기(35))로 부터 나오는 질소가스를 제1 및 제2열교환기(13) (14)내로 도입해서 열교환시키고 있으나 열교환기(13) (14)는 이러한 것에 한정되는 것은 아니며 가령 열교환기 자체가 냉매를 가지고 있어서 그 냉매에 의하여 열교환작용을 하는 종류의 것을 사용하여도 무방하다.

또한, 정류탑(15)도 전술한 실시예의 것에 한정되는 것은 아니다.

가령 분축기(16)가 탑부(22)와 분리되어 있는 부류의 것이라도 괜찮으며, 분축기(16)없이 탑부(22)의 외주 전체를 액체질소를 냉각시키는 종류의 것을 사용하여도 무방하다.

또한, 전술한 제3도의 실시예의 장치는 응축기(35)로 응축시킨 액체질소를 분측기(16)로 되돌아가게 하고 있으나 압력을 가해서 액체질소 저장조(23)로 되돌아 가게 하여도 좋다.

또한, 응축기(35)는 정류기(15)의 액체산소를 한냉원으로 사용하는 것에만 국한되지 않으며 그 자체가 냉매를 가지고 있는 종류의 것을 사용하여도 무방하다.

본 발명의 질소가스 제조장치는 상술한 바와 같이 구성되어 있으므로 저렴한 값의 질소가스를 안전하게 공급할수 있다. 또한 구조가 간단하므로 설비비에 대한 가격이 저렴할뿐 아니라 매우 고순도의 가스를 얻을수 있게된다. 특히, 응축기를 설치하여 정류탑으로 부터 얻어지는 질소가스의 일부를 응축시켜 이것을 정류탑의 한냉원으로 사용되도록 되돌아 가게하면 액체질소 저장조의 액체질소의 소비량을 절감할수 있게되어 질소가스의 생산가격을 한층 절감할수 있다.

또한 본 발명의 질소가스 제조장치에는 백업 시스템 라인을 간단하게 설치할수 있으므로 PSA 제조방식과 같은 1조의 흡착조를 예비적으로 더 설치해야할 필요성도 없게되는 특징을 가지고 있다.

Claims (8)

1. 외부로 부터 주입된 공기의 압축장치와, 이 공기압축 장치에 의해서 압축된 압축공기중의 탄산가스와 수분의 제거장치와, 액체질소를 저장하는 액체질소 저장장치와, 상기 압축공기를 초저온으로 냉각하는 열교환 장치와, 이 열교환장치에 의해서 초저온으로 냉각된 압축공기의 일부를 액화해서 내부에 저장하며 질소만을 기체로서 방출하는 정류탑을 구비하고 있으며, 전술한 액체질소 저장장치내의 액체질소가 전술한 정류탑으로 주입되어 압축공기 액화용의 한냉원으로 작용하는 동시에, 한냉원으로서의 작용을 종료하고 기화된 액체질소가 전술한 장류탑으로 부터 얻어지는 질소가스와 합쳐서 최종 생성 질소가스가 되는 것을 특징으로 하는 질소 가스 제조장치.
2. 제1하에 있어서, 상기 정류탑이 분축기를 갖추고 있으며, 액체질소 저장조로 부터 나오는 액체질소가 상기 분축기로 주입되는 것을 특징으로 하는 질소가스 제조장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 정류탑에서 액화된 산소 및 정류탑으로 부터 방출되는 질소가스를 주입해서 상기 열교환장치의 한냉원으로 하는 것을 특지응로 하는 질소가스 제조장치.
4. 외부로 부터 주입된 공기의 압축장치와, 이 공기 압축장치에 의해서 압축된 압축공기중의 탄산가수와 수분의 제거장치와, 액체질소를 저장하는 액체질소 저장장치와, 상기 압축공기를 초저온으로 냉각하는 열교환 장치와, 이 열교환 장치에 의해서 초저온으로 냉각된 압축공기의 일부를 액화하여 질소만을 기체로서 유지하는 정류탑을 구비하고 있으며, 전술한 액체질소 저장장치내의 액체질소를 전술한 정류탑으로 주입하여 압축공기액화용의 한냉원으로 작용하게 하는 액체질소의 주입장치와, 전술한 한냉원으로서의 작용을 종료하고 기화된 액체질소와 압축공기로 부터 얻어지는 질소가스를 합쳐서 전술한 정류탑으로 부터 송출하는 송출로와, 상기 송출된 질소가스를 내부로 유도하여 그 일부를 응축시키고 잔여부분을 질소가스로서 송출하는 응축장치가 설치되고, 상기 응축장이에 의해서 응축된 질소가스를 상기 액체질소 저장장치로 부터 공급되는 액체질소와 합쳐서 정류탑의 압축공기 액화용의 한냉원이 되도록 한 것을 특징으로 하는 질소가스 제조장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 정류탑이 분축기를 갖추고 있으며, 액체질소 저장조로 부터 나오는 액체질소 및 응축장치에 의해서 질소가스가 상기 분축기로 유도되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 질소가스 제조장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 분축기에 액면계가 설치되어 있으며, 분축기내의 액면에 따라서 액체질소 저장창지로 부터 나오는 액체질소의 공급량이 조절되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 질소가스 제조장치.
7. 제4항에 있어서, 정류탑에서 액화분리된 액체공기를 상기 응축장치의 한냉원으로 하는 것을 특징으로 하는 질소가스 제조장치.
8. 제4항에 있어서 응축장치의 한냉원으로 사용된 액체공기 및 응축장치로 부터 송출되는 질소가스를 주입해서 상기 열교환장치의 한냉원으로 하는 것을 특징으로 하는 질소가스 제조장치.

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