KR870008377A - 기상성장(氣相成長) 방법 - Google Patents
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본원 발명의 제 1 실시예에서 사용하는 성장모니터계를 구비한 MOCVD장치의 구성도.
제 2 도는 본원 발명의 기본원리를 설명하기 위한 단면도.
제 3 도는 박막의 두께(d)에 의한 반사강도변화의 일례를 나타낸 그래프.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
(1) : 기판 (2) : 박막 (4) : 빛
(5) : 석영반응관 (6) : 서셉터 (9) : 레이저광원
(16) : 광전자증 배관
Claims (1)
- 기상성장장치내에 있어서 기판상에 막을 기상성장시킬 때, 상기 막에 그 표면에 대해서 대략 수직인 방향에서 빛을 입사시키고, 그 반사광의 강도의 시간변화에 의거하여 상기 막의 성장조건을 제어하도록 한것을 특징으로 하는 기상성장방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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JP61031100A JPH0722132B2 (ja) | 1986-02-15 | 1986-02-15 | 気相成長方法 |
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