KR960005856A - 박막 형성 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 막 형성에 관여하는 기판(21)에 선정된 세기의 광을 조사하는 광조사 광학계(13), 기판(21)의 표면으로부터 반사 광의 세기를 검출하는 광 검출 광학계(14), 및 반사 광의 세기가 최대값에 도달할 때 물질 도입 시스템(11)을 제어함으로써 막의 형성을 중지하는 박막 형성 콘트롤러(15)를 갖고 있는 박막 형성 장치이다. 장치는 반사 광의 세기가 최대값에 도달할 때 박막 형성 동작이 중지될 수 있도록 배열됨으로써, 가장 평탄한 박막을 제공할 수 있다.

Description

박막 형성 장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예의 박막 형성 장치를 도시하는 개략도.

Claims (18)

  1. 기판 상에 박막을 형성하는 수단; 광을 상기 기판의 표면에 조사하는 수단; 상기 광이 상기 기판의 상기 표면 상에서 반사될 때 발생하는 반사 광의 세기를 검출하는 수단; 및 상기 반사 광 검출 수단이 상기 반사 광의 상기 세기의 최대값을 검출할 때 상기 박막 형성 수단에 의한 상기 박막의 형성을 중지시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 박막 형성 수단에 의해 형성된 상기 박막은 다결정막인 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 박막 형성 수단은 화학적 진공 증착법에 의해 박막 형성을 행하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 박막 형성 수단에 의해 형성된 상기 박막은 주로 알루미늄을 포함하는 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  5. 기판 상에 제1박막을 형성하는 수단; 상기 기판 상에 상기 제1박막을 형성하는 물질과는 다른 물질로 제조된 제2박막을 형성하는 수단; 광을 상기 기판의 표면에 조사하는 수단; 상기 광이 상기 기판의 상기 표면 상에서 반사될 때 발생하는 반사 광의 세기를 검출하는 수단; 및 상기 반사 광 검출 수단이 상기 반사 광의 상기 세기의 최대값을 검출할 때 상기 제1박막 형성 수단에 의한 상기 제1박막의 형성을 중지시킨 다음, 선정된 시간 동안 상기 제2박막 형성 수단에 의해 상기 제2박막을 형성한 후, 다시 상기 제1박막 형성 수단에 의한 상기 제1박막 형성을 개시하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1박막 형성 수단에 의해 형성된 상기 제1박막은 다결정막인 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제1박막 형성 수단은 화학적 진공 증착법에 의해 제1박막형성을 행하는 것을 특징으로 하는 박막 형성장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제1 박막 형성 수단과 형성된 상기 제1 박막은 주로 알루미늄을 포함하는 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  9. 제5항에 있어서, 상기 제1박막은 주로 알루미늄을 포함하는 물질로 제조되고, 상기 제2박막은 주로 티타늄을 포함하는 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  10. 기판 상에 박막을 형성하는 단계; 광을 상기 기판의 표면에 조사하는 단계; 상기 기판의 상기 표면에서 상기 광이 반사될 때 발생되는 반사된 광의 세기를 검출하는 단계; 및 상기 반사된 광의 세기가 최대값에 도달할 때 상기 박막의 형성을 중지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하느 박막 형성 방법,
  11. 제10항에 있어서, 상기 박막은 다결정막으로서 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 박막은 화학적 진공 증착법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
  13. 제10항에 있어서, 상기 박막은 주로 알루미늄을 포함하는 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
  14. 기판 상에 제1박막을 형성하는 단계; 광을 상기 기판의 표면에 조사하는 단계; 상기 기판의 표면에서 상기 광이 반사될 때 발생되는 반사광의 세기를 검출하는 단계; 상기 반사된 광의 상기 세기가 최대값에 도달할 때 상기 제1박막의 형성을 중지하는 단계; 상기 제1박막 상에 제1박막의 형성 물질과 다른 물질로 제조된 제2박막을 형성하는 단계; 및 소정의 시간 동안 상기 제2박막을 형성한 후에 상기 제2박막 상에 다시 상기 제1박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1박막은 다결정막으로서 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 제1박막은 화학적 진공 증착법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
  17. 제14항에 있어서, 상기 제1박막은 주로 알루미늄을 포함하는 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
  18. 제14항에 있어서, 상기 제1박막은 주로 알루미늄을 포함하는 물질로 제조되고, 상기 제2박막은 주로 티타늄을 포함하는 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는 박막 형성 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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