KR950032728A - 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 기상합성법에 의한 다이아몬드 박막의 증착시, 30㎛이상 크기의 다이아몬드 분말로 기판을 전처리한 후 다이아몬드 박막을 증착시키므로써 다이아몬드 박막의 일방향 성장을 가능하게 하며, 결과적으로 고온 작동소자 및 고속 동작소자와 같은 반도체 분야에 응용할 수 있는 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 10㎛ 다이아몬드 분말로 전처리한 기판에서의 다이아몬드 박막의 형상을 나타낸 사진이고, 제2도는 30㎛ 다이아몬드 분말로 전처리한 기판에서의 다이아몬드 박막의 형상을 나타낸 사진이며, 제3도는 전처리 변화에 따른 다이아몬드 증착층의 라만(Raman) 분석의 결과를 나타낸 그래프이다.
Claims (3)
- 기상합성법에 의한 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법에 있어서, 30㎛ 이상 크기의 다이아몬드 분말로 기판을 전처리한 후 다이아몬드 박막을 증착시키는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법.
- 제1항에 있어서, 상기 전처리공정이 초음파 세척에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법.
- 제1항에 있어서, 상기 다이아몬드 분말의 크기가 30~70㎛인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940012106A KR950032728A (ko) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940012106A KR950032728A (ko) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950032728A true KR950032728A (ko) | 1995-12-22 |
Family
ID=66685637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940012106A KR950032728A (ko) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 다이아몬드 박막의 일방향 성장방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950032728A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100279051B1 (ko) * | 1997-09-23 | 2001-02-01 | 박호군 | 다이아몬드 전계방출 소자의 제조방법 |
| KR20180046548A (ko) * | 2016-10-28 | 2018-05-09 | 고려대학교 산학협력단 | 나노 다이아몬드를 계면 층으로 적용한 다이아몬드상 탄소막의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다이아몬드상 탄소막 |
-
1994
- 1994-05-31 KR KR1019940012106A patent/KR950032728A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100279051B1 (ko) * | 1997-09-23 | 2001-02-01 | 박호군 | 다이아몬드 전계방출 소자의 제조방법 |
| KR20180046548A (ko) * | 2016-10-28 | 2018-05-09 | 고려대학교 산학협력단 | 나노 다이아몬드를 계면 층으로 적용한 다이아몬드상 탄소막의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다이아몬드상 탄소막 |
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