KR870001326A - 박막 제조방법 - Google Patents

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KR870001326A
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마사시 가사야
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지이제루 기기 가부시기가이샤
모찌즈끼 가즈시게
지미제루 기기 가부시기가이샤
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Abstract

내용 없음.

Description

박막 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 절연막이 본 발명에 따라 형성된 미끄럼면의 밸브부재를 가진 연료분사밸브의 실시를 표시하는 부분적인 단면도.
제2도는 제1도에 표시된 밸브에 형성된 박막의 구성을 표시하는 그래프.
제3도는 제1도에 표시된 박막을 형성하기 위하여 사용되는 장치의 개략도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
8 : 니이들밸브 26 : 박막
31 : 벨당지 32 : 고전압 d.c전원
34 : 증발용기 35 : 전자총
36 : 진공펌프

Claims (13)

  1. 바라는 금속의 표면에 증착법에 의하여 절연성 박막을 형성하기 위한 박막 제조방법에 있어서, 피복되어야 하는 바라는 물질이 놓여져 있는 반응실에서, 소정의 금속의 이온화증기와 이 금속과 반응하여 소정의 절연성 화합물을 형성하는 소정의 반응가스와를 반응시키고, 상기 금속의 증발의 분압과 상기 반응가스의 분압과의 비가 그 반응동안에 점차적으로 변하게 되고, 반응실내의 이온화된 물질을 증착법에 의하여 상기 바라는물질에 피복되기 위하여 피복되어야 하는 바라는 물질에 인가하는 전압의 크기를 절연성 화합물의 형성이 진행됨에 따라 저하되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 박막 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 증착법은 이온플레이팅법인 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 소정의 반응가스의 분압은 0으로 점차적으로 증가하도록 제어되고, 그것에 의하여 박막의 가장 내부의 면이 소정의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 소정의 반응가스의 분압은 박막의 가장 외부의 면이 소정의 금속과 소정의 반응가스와가 반응하는 것에 의하여 얻어진 완전한 절연화합물로 형성되는 방법으로 제어되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 전압의 레벨은 완전한 절연화합물의 형성동안에 형성되는 절연화합물의 표면에 파괴가 생기지 않은 방법으로 박막의 형성이 진행되도록 소정의 높은 레벨부터 점차적으로 저하되는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제4항에 있어서, 그의 외부 및 내부면간의 박막의 중간부분은 소정의 금속과 소정의 반응가스의 비화학량적 화합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 금속은 Zr,Cr 및 Al으로 되어 있는 그 루우프부터 선택된 한 부재인 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 소정의 반응가스는 O2,N2및 C2H2으로 되어 있는 그 루우프부터 선택된 한 부재인 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제3항에 있어서, 변이영역의 전기저항은 두께의 방향에 점차적으로 변하고, 소정의 금속으로 형성되는 소정의 두께의 금속영역은 박막의 일부분으로서 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 증착법은 이온플레이팅법인 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 소정의 반응가스의 농도는 박막의 형성동안 제어되고, 그것에 의하여 반응가스의 부압이 제어되는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제9항에 있어서, 소정의 두께의 절연영역이 변이영역의 가장 외부의 면에 더욱 형성되고, 상기 절연 영역은 소정의 금속과 소정의 반응가스와를 반응시키는 것에 의하여 얻어진 완전한 절연화합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 증착법은 이온플레이팅법인 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019860005952A 1985-07-22 1986-07-22 박막 제조방법 KR920000590B1 (ko)

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GB2178064A (en) 1987-02-04
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JPH0467724B2 (ko) 1992-10-29
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JPS6222314A (ja) 1987-01-30
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