KR940014886A - 금속화합물 피막의 제조방법 - Google Patents
금속화합물 피막의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 내마모성이 요구되는 베어링과 같은 기계부품 및 장식용품에 응용될 수 있는 금속화합물 피막을 반응성 이온플레이팅법에 의해 제조하는 방법에 관한 것으로서, 반응개스의 유량과 방전전류를 적절히 조절하므로서, 간단하게 증발율을 제어할 수 있을 뿐만 아니라 재현성이 있는 피막을 형성할 수 있는 향상된 금속화합물 피막의 제조방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.
본 발명은 진공실내에 설치되는 기판홀더, 이 기판홀더와 대향되게 설치되어 증발물질을 증기화시키키는 증발원, 및 이 증발원에 인접하게 설치되어 증기를 이온화시키는 이온화전극을 구비하여 구성되는 이온플레이팅 장치의 진공조내에 반응개스를 도입시켜 반응성 이온플레이팅에 의해 금속화합물 피막을 제조하는 방법에 있어서, 반응개스 유량을 200SCCM 이하에서 일정하게 유지하고, 그리고 아아크 방전전류를 1-80A의 범위로 유지하여 피막의 화합물 성분비를 제어하는 금속화합물 피막의 제어방법을 그 요지로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 적용될 수 있는 이온플레이팅 장치의 일례를 나타내는 개략도.
제2도는 이온화전류에 따른 증착율 변화를 나타내는 그래프.
Claims (4)
- 진공실내에 설치되는 기판홀더, 이 기판홀더와 대항되게 설치되어 증발물질을 증기화시키는 증발원, 및 이 증발원에 인접하게 설치되어 증기를 이온화시키는 이온화전극을 구비하여 구성되는 이온플레이팅 장치의 진공조내에 반응개스를 도입시켜 반응성 이온플레이팅시킴으로써 금속화합물피막을 제조하는 방법에 있어서, 반응개스 유량을 200SCCM 이하에서 일정하게 유지하고, 그리고 아아크 방전전류를 1-80A의 범위로 유지하여 피막의 화합물 성분비를 제어하는 것을 특징으로 하는 금속화하물 피막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 아아크방전을 위해 이온화전극에 40-100V의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 금속화합물 피막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 기판의 가열온도가 200-300℃인 것을 특징으로 하는 금속화합물 피막의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 제3항중의 어느 한 항에 있어서, 금속화합물피막이 Ti 화합물피막 Cr 화합물피막 및 Al 화합물 피막으로 이루어진 그룹중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속화합물 피막의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019920025737A KR950004782B1 (ko) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 금속화합물 피막의 제조방법 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019920025737A KR950004782B1 (ko) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 금속화합물 피막의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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KR940014886A true KR940014886A (ko) | 1994-07-19 |
KR950004782B1 KR950004782B1 (ko) | 1995-05-10 |
Family
ID=19346857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019920025737A KR950004782B1 (ko) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 금속화합물 피막의 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR950004782B1 (ko) |
-
1992
- 1992-12-28 KR KR1019920025737A patent/KR950004782B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR950004782B1 (ko) | 1995-05-10 |
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