KR870000237A - 질소의 초정제 장치 및 정제 방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4, 6, 7도는 각각 본 발명의 장치의 실시 상태의 종 단면도임.
Claims (14)
- 외용기에 정제되어야 할 질소 가스의 입구, 정제된 질소 가스의 출구, 상기 가스의 입구와 출구를 연결하는 가스 유로, 상기 가스 유로의 중간에 배치된 15 내지 30% 중량비의 철과 85-70% 중량비의 지르코늄으로된 합금 게터로 충전된 적어도 하나의 게터실, 및 게터의 작용 온도를 유지하기 위한 가열 장치가 제공되어 구성되는 질소 초정제 장치.
- 청구범위 제1항에 있어서, 상기 게터실에 사용될 게터 합금이 철-지르코늄 합금 분말을 압축 가공해서 만든 펠릿 상인 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 청구범위 제1항에 있어서, 게터로서 사용될 합금의 조성이, 22 내지 25% 중량비의 철과 75-78% 중량비의 지르코늄인 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 청구범위 제1항에 있어서, 게터로서 사용될 합금이 철-지르코늄 금속간 화합물인 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 청구범위 제1항에 있어서, 상기 게터실이, 게터를 충전한 적어도 하나의 카아트리지로 구성되고, 상기 카아트리지가 새것으로 용이하게 교환 가능하도록 의용기내에 착탈 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 청구범위 제5항에 있어서, 각각의 카아트리지가 게터로 충전된 유공 금속 용기인 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 청구범위 제1항에 있어서, 질소 가스가 접촉하게 될 장치재료는, 질소 가스가 접촉하는 내표면의 측정전구간의 진폭 평균에 의해서 주어지는 중심선 평균의 표면 거칠기(Ra)가 0.5μm 이하로 연마되어 있는 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 청구범위 제1항에 있어서, 탄화수소를 제거하기 위한 전(前) 처리 장치가 부가되어 있는 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 청구범위 제8항에 있어서, 탄화수소를 제거하기 위해서 사용될 전처리 장치가, 질소 가스를 통과시키도록 금속 산화물 게산화 촉매층이 배치된 산화 장치와, 산화반응에 의해서 생성된 수분, 일산화탄소, 이산화탄소 등의 불순물을 함유하는 질소 가스를 통하도록 제올라이트 게분자체 등의 흡착제층을 설치한 흡착장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 정제하고저 하는 질소 가스를, 금속 산화 촉매층을 산화 온도에서 통과시킨 후, 제올라이트 게분자체 등의 흡착제층을 통과시키는 재래식 가스 정제법에 의해 정제하고, 그후 얻어진 불순물 함량이 낮은 질소가스를 또 다시 20°내지 500℃의 온도에 유지된 15 내지 30% 중량비의 철과 85-70% 중량비의 지르코늄으로된 합금 게터로 충전된 게터층을 통과시켜 질소중에 함유된 불순물을 흡착 제거하는 것을 특징으로 하는 초정제 장치.
- 청구범위 제10항에 있어서, 350°내지 450℃의 온도에 유지된 15 내지 30% 중량비의 철과 85-70% 중량비의 지르코늄으로된 합금 게터로 충전된 게터 층을 사용하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 가) 불순물 함유 질소 가스가 초정제 장치에 들어가는 가스 입구와, 정제된 질소 가스가 초정제 장치로부터 나오는 가스 출구를 갖는 외용기와, 나) 가스 입구와 가스 출구를 연결하여 가스 입구와 가스 출구사이에 가스가 유통되게 하는 외용기내에 마련된 가스유로와, 다) 가스 유로의 가스 입구와 가스 출구 사이에 배치된 게터 실라, 라) 15 내지 30% 중량비의 철과 85 내지 70% 중량비의 지르코늄 합금으로된, 게터실내에 충전된 게터 물질과, 마) 게터 물질을 가열하고, 게터 물질이 질소를 흡착함이 없이 불순물 함유질소 가스로부터 불순물을 선택적으로 흡착할 수 있는 온도에 게터 물질을 유지하기 위한 수단으로 구성되는 불순물 함유 질소 가스를 정제하기 위한 초정제 장치.
- 가) 가스 입구와 가스 출구를 갖는 외용기와,나) 가스 입구와 가스 출구를 연결하여 가스 입구와 가스 출구 사이에 가스가 유통되게 하는 외용기 내에 마련된 가스 유로와다) 22 내지 25% 중량비의 철과 75 내지 78% 중량비의 지르코늄 합금으로되고, 대략 3mm의 직경과 4mm의 높이를 갖는 원주형 펠릿 상으로 되어 있는 게터 물질로 충전된 유공 금속 용기로 구성되는, 외용기의 가스 유로 내에 설치된 착탈 가능한 카아트리지와라) 게터 물질을 350°내지 450℃의 온도로 유지하기 위한 가열 수단으로 구성되는 불순물 함유 질소 가스를 정제하기 위한 초정제 장치.
- 가) a) 불순물 함유 질소 가스가 초정제 장치에 들어가는 가스 입구와, 정제된 질소 가스가 초정제장치로부터 나오는 가스 출구를 갖는 외용기와, b) 가스 입구와 가스 출구를 연결하여 가스 입구와 가스 출구 사이에 가스가 유통되게 하는 외용기 내에 마련된 가스 유로와, c) 가스 유로의 가스입구와 가스 출구 사이에 배치된 게터실과, d) 15 내지 30% 중량비의 철과 85 내지 70% 중량비의 지르코늄 함금으로된, 게터실내에 충전된 게터 물질과, e) 게터 물질을 가열하고, 게터 물질이 질소를 흡착함이 없이 불순물 함유 질소 가스로부터 불순물을 선택적으로 흡착할 수 있는 온도에 게터 물질을 유지하기 위한 수단으로 구성되는 초정제 장치를 제공하고나) 게터 물질을 350°내지 450℃의 온도로 가열하고다) 가스 입구로부터 불순물 함유 질소 가스를 초정제 장치내로 도입하며라) 불순물 함유 질소 가스를 게터실을 통과시켜, 불순물 함유 질소 가스를 게터 재료와 접촉시키고, 정제된 질소 가스를 생산하기 위하여 불순물 함유 질소 가스로부터 불순물을 흡착시키며마) 가스 출구를 통하여 초정제 장치를 나오는 정제된 질소 가스를 수집하는, 단계들로 구성되는 불순물 함유 질소 가스 정제방법.※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60-140628 | 1985-06-28 | ||
JP60140628A JPS623006A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 窒素の超精製装置、並びに精製方法 |
JP140628 | 1986-06-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR870000237A true KR870000237A (ko) | 1987-02-17 |
KR930006690B1 KR930006690B1 (ko) | 1993-07-22 |
Family
ID=15273115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019860005146A KR930006690B1 (ko) | 1985-06-28 | 1986-06-26 | 질소 가스의 초정제 장치 및 정제방법 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS623006A (ko) |
KR (1) | KR930006690B1 (ko) |
BE (1) | BE904998A (ko) |
CA (1) | CA1300346C (ko) |
DE (1) | DE3621013C2 (ko) |
FR (1) | FR2584062B1 (ko) |
GB (1) | GB2177080B (ko) |
IT (1) | IT1204420B (ko) |
NL (1) | NL192104C (ko) |
SE (1) | SE463149B (ko) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1227219B (it) * | 1988-09-26 | 1991-03-27 | Getters Spa | Apparecchiatura e metodo relativo per asportare impurezze gassose da gas inerti ed assicurare livelli estremamente bassi di idrogeno |
DE3835825C1 (ko) * | 1988-10-21 | 1990-03-08 | Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich, De | |
FR2642678A1 (fr) * | 1989-02-07 | 1990-08-10 | Air Liquide | Procede d'elaboration d'une atmosphere gazeuse en contact avec un metal a haute temperature |
DE3926015A1 (de) * | 1989-08-05 | 1991-02-07 | Messer Griesheim Gmbh | Verfahren zur feinreinigung von gasen |
IT1237944B (it) * | 1990-01-05 | 1993-06-19 | Getters Spa | Metodo per determinare la fine della vita utile di un purificatore di gas inerte e relativa apparecchiatura |
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KR100356611B1 (ko) * | 2000-08-10 | 2002-10-18 | 주식회사 아토 | 질소 정제 방법 및 정제 장치 |
ITMI20010930A1 (it) | 2001-05-07 | 2002-11-07 | Getters Spa | Metodo per la misura della concentrazione di idrogeno e metano in azoto mediante spetroscopia di mobilita' ionica |
ITMI20011193A1 (it) | 2001-06-06 | 2002-12-06 | Getters Spa | Metodo per la misura mediante spettroscopia di mobilita' ionica dellaconcentrazione di acqua in argon, idrogeno, azoto e elio |
JP4918255B2 (ja) * | 2005-12-22 | 2012-04-18 | ウチヤ・サーモスタット株式会社 | 窒素ガス発生装置 |
CN110759323A (zh) * | 2018-07-27 | 2020-02-07 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种气体纯化反应器及气体纯化方法 |
CN112978692B (zh) * | 2021-03-04 | 2022-08-05 | 北京高麦克仪器科技有限公司 | 780氦气纯化器 |
JP7210803B1 (ja) * | 2022-10-04 | 2023-01-23 | レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | ガス精製装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3535074A (en) * | 1965-10-29 | 1970-10-20 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for purifying crude inert gases |
BE792561A (en) * | 1972-12-11 | 1973-03-30 | Getters Spa | Gas purifier - esp for rare gases and hydrogen with regeneration system for absorber cartridges |
IT1115156B (it) * | 1979-04-06 | 1986-02-03 | Getters Spa | Leghe zr-fe per l'assorbimento di idrogeno a basse temperature |
DE3137569A1 (de) * | 1981-09-22 | 1983-04-21 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von hochreinem stickstoff |
JPS6020323A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-01 | Toshiba Corp | デイスク装置 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP60140628A patent/JPS623006A/ja active Granted
-
1986
- 1986-06-23 CA CA000512229A patent/CA1300346C/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-06-23 DE DE3621013A patent/DE3621013C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-23 FR FR8609026A patent/FR2584062B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-26 BE BE2/61004A patent/BE904998A/fr not_active IP Right Cessation
- 1986-06-26 KR KR1019860005146A patent/KR930006690B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-06-26 GB GB8615619A patent/GB2177080B/en not_active Expired
- 1986-06-27 SE SE8602870A patent/SE463149B/sv not_active IP Right Cessation
- 1986-06-27 IT IT20963/86A patent/IT1204420B/it active
- 1986-06-27 NL NL8601692A patent/NL192104C/nl not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1204420B (it) | 1989-03-01 |
GB2177080A (en) | 1987-01-14 |
NL8601692A (nl) | 1987-01-16 |
KR930006690B1 (ko) | 1993-07-22 |
DE3621013A1 (de) | 1987-01-08 |
JPS623006A (ja) | 1987-01-09 |
BE904998A (fr) | 1986-10-16 |
SE8602870L (sv) | 1986-12-29 |
FR2584062A1 (fr) | 1987-01-02 |
DE3621013C2 (de) | 1996-02-15 |
SE463149B (sv) | 1990-10-15 |
NL192104B (nl) | 1996-10-01 |
NL192104C (nl) | 1997-02-04 |
FR2584062B1 (fr) | 1990-12-21 |
SE8602870D0 (sv) | 1986-06-27 |
IT8620963A0 (it) | 1986-06-27 |
GB8615619D0 (en) | 1986-07-30 |
GB2177080B (en) | 1989-08-31 |
CA1300346C (en) | 1992-05-12 |
JPH0456763B2 (ko) | 1992-09-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
G160 | Decision to publish patent application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
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FPAY | Annual fee payment |
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