KR840003365A - 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물 - Google Patents
방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (19)
- a. 하기 구조식 I의 중합체 또는 하기 구조식 Ⅱ의 중합체.b방사선에 예민한 중합성 다관능 아크릴레이트 화합물.c.수소주개 개시제 및 방향족 비이미다졸로 구성된 광중합 개시제계로 구성된 방사선에 예민한 플리이미드 선구물질 조성물.상기 식에서, n은 중합체의 단위수에 해당하는 정수이며, 중기압 삼투에 의해 결정되는 것으로서 약 1500-15,000의 평균분자량을 갖는 중합체를 제공하기에 충분한 숫자이고, →은 이성질현상을 나타내고, R1은 2가 방향족, 지방족 또는 적어도 탄소원자 2개를 갖는 환지방족 라디칼이고, R2및 R3는 광중합성 올레핀 이중결합을 갖는 유기 바디칼과 수소라디칼로부터 선정되며, R2및 R3중 적어도 하나는 유기라디칼이며, R4및 R5는 탄소원자 1-8을 갖는 과플루오로 및 과할로플루오로 지방족 탄화수소로부터 선정되며, R6는 탄소수 6으로 구성된 적어도 하나의 환을 갖는 4가 방향족 유기 라디칼이며, 상기환은 벤젠형으로 불포화되어 있과, 4개의 카르보닐기는 R6 라디칼의 환중 별도의 탄소원자에 직접부착되어 있고, A와 A1는 H, Cl, Br 및 NO2로부터 선정된다.
- 제1항에 있어서, R4및 R5가 -CF3, -CCIF2및 -CBrF2로 부터 선정되는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물.
- 제2항에 있어서, R2및 R3가 수소라디칼, 하이드록시알킬 아크릴레이트 라디칼, 하이드록시 알킬 메타크릴레이트 라디칼, 알킬 아크릴레이트 라디칼과 알킬 메타크릴레이트 라디칼로분터 선정되는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물.
- 제3항에 있어서, a) 방사선에 예민한 중합성 다관능 아크릴레이트 화합물이 중합체중 5-30중량%로 존재하고, b)광중한 개시제계가 중합체중 0.5-30중량%로 존재하는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물.
- 제4항에 있어서, 상기 방사선에 예민한 중합성 다관능 아크릴레이트 화합물이 트리메틸을 프로판 트리메타크릴레이트, 트리메틸을 프로판 트리아크릴레이트, 트리에틸을 프로판 에톡실레이트 트리메타크릴레이트, 트리메틸을 표로판 에톡실레이트 트리아크릴레이트, 트리메틸을 프로판 폴리에톡실레이트 트리메타크릴레이트, 트리메틸을 프로판 폴리에톡실레이트 트리아크릴레이트, 펜바에리트리톨 트리아크릴레이트, 플리에틸렌 글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌 글리콜 디아크릴레이트, 폴리에틸렌 글리콜 디메타크릴레이트, 폴리메틸렌 디아크릴 레이트, 폴리메틸렌 디메타크릴레이트, 트리메틸렌 글리콜 디메타크릴레이트, 테트라에틸렌 글리콜 디아크릴레이트 및 이들의 혼합물로부터 선정되는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물.
- 제5항에 있어서, 상기 광중합 개시제의 방향족 비이미다졸이 비스(2-0-클로로페닐-4,5-디페널 및 이미다졸일)와 비스[2-0-클로로페닐-4,5-디(m-메톡시페놀)이미다졸일] 으로부터 선정되는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물.
- 제6항에 있어서, 조성물이 중합제기준으로 류코 염료 약 0.1-10중량%를 함유하는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물.
- 제7항에 있어서, 조성물이 중합체기준으로 감광제 염료 약 0.1-15중량%를 함유하는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물.
- a) 하기 구조식 Ⅳ의 테트라카복실산 이무수물을 75°C이하 및 적당한 용매중에서 하기 구조식 Ⅲ을 갖는 적어도 하나의 유기 디아민과 반응하여 카르복실기-함유 반응 생상물을 얻고, b)상기 반응 생상물을 실온 내지 약 100°C 및 유기 용매중에서 올레핀같이 불포화된 모노에폭사이드와 반응하여 부가생성물을 얻고, c) 상기 부가 생성물의 용액에 방사선에 예민한 중합성 다관능 아크릴레이트 화합물을 첨가하고, d) 상기 용액에 수소주개 개시제 및 방향족 비이미다졸로 구성된 광중합 개시제계를 첨가하는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물을 제조하는 방법.상기 식에서, R4및 R5는 탄소수 1-8을 갖는 과플루오로 및 과할로플루오로 지방족 탄화수소로부터 선정되고 ; R6는 탄소원자 6으로 구성된 적어도 하나의 환을 갖는 4가 방향족 비-할로겐 함유 유기라디칼이며, 상기 환은 벤젠형 불포화이고, 4개의 카르보닐기는 R6라디칼의 환중 별도의 탄소원자에 직접 부착되어 있고, A및 A1는 H,Cl,Br 및 NO2로부터 선정된다.
- a) 하기 구조식 Ⅳ의 테르라카르복실산 이무수물을 하이드록시 알킬 아크릴레이트 및 하이드록시알킬 아크릴레이트 및 하이드록시 알킬 메타크릴레이트로 부터 선정된 화합물과 반응하여 에스테르화 생성물을 얻고 ; b) 상기 에스테르화 생성물의 산염화물 유도체를 제조하고 ; c) 상기 산염화물 유도체를 하기 구조식 Ⅲ의 디아민과 반응하여 부가생성물을 얻는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구 물질의 제조방법.상기 식에서, R4,R5,R6,A, 및 A'는 청구범위 1항에 규정한 바와 같다.
- a) 하기 구조식을 갖는 폴리카르복실산 이무수물을 적어도 하나의 유기디아민 H2N-R'-NH2(R'은 적어도 2개의 탄소원자를 갖는 2가 라디칼이고, 각각의 2아미노기는 상기 2가 라디칼의 탄소원자에 각각 별도로 부착됨)와 약 75°C이하 및 적당한 용매중에서 반응하여 카르복실시-함유 반응 생성물을 얻고 ; b)상기 반반생성물을 약 실온 -100°C 및 유기용매중에서 올레핀같이 불포화된 모노에폭사이드와 반응하여 부가 생성물을 얻고, c) 상기 부가 생성물의 용액에 방사선에 예민한 중합성 다관능 아크릴레이트 화합물을 첨가하고 ; d) 상기 용액에 수소주개 개시제 및 방향족 비이미다졸로 구성된 광중합 개시제 계를 첨가하는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물의 제조방법.상기 식에서 , R4및 R5는 청구범위 1항에서 규정한 바와 같다.
- 제11항에 있어서, 상기 폴리카르복실산 이무수물이 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)-헥사플루오로프로판 이무수물인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제12항에 있어서, 상기 올레핀같이 불포화된 모노에폭사이드가 글리시밀 아크릴레이트 및 글리시딜 메타크릴레이트로분터 선정되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제13항에 있어서, 상기 유기 디아민 4,4'-디아미노-디페닐 에테르인 것을 특징으로 하는 방법.
- a) 하기 구조식의 폴리카르복실산 이무수물의 하이드록시 알킬 아크릴레이트 및 하이드록시 알킬 메타크릴레이트로부터 선정된 화합물과 반응하여 에스테르화 생성물을 얻고 ; b) 상기 에스테르화 생성물의 산염화물 유도체를 제조하고 ; c) 상기 산염화물 유도체를 디아민 H2N-R'-NH2(여기서,R'은 적어도 2개의 탄소원자를 갖는 2가 라디칼이고, 2개의 아미노기는 각각 상기 2가 라디칼의 탄소원자에 별도로 부착됨)와 반응하여 부가 생성물을 얻고 ; d) 상기 부가 생성물의 용액에 방사선에 예민한 중합성 다관능 아크릴레이트 화합물을 첨가하고 ; e) 상기 용액에 수소주개 개시제 및 방향족 비이미다졸로 구성된 광중합 개시제 계를 첨가하는 것을 특징으로 하는 방사선에 예민한 폴리이미드 선구물질 조성물의 제조방법.상기 식에서, R4및 R5는 청구범위 1항에서 규정한 바와같다.
- 제15항에 있어서, 상기 폴리카르복실 이무수물이 2,2-비스(3,4-디카르복실페닐)-헥사플루오로프로판 이수물인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 유기 디아민이 4.4'-디아미노-디페널 에테르인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제11항에 있어서, 이무수물과 디아민의 용액 생성물이 상기 올레핀같이 불포화된 모노에폭사이드와 용액되기 전에 하이드록시 에틸 아크릴레이트, 하이드록시에틸 메타크릴레이트 및 이들의 혼합물로부터 선정되는 화합물과 반응되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구범위 1항의 조성물로 부터 얻어진 중합된 폴리이미드 구조층으로 피복된 전자장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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