KR20240010028A - Ultrasonic inspection devices and inspection devices - Google Patents

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KR20240010028A
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후카 요시다
아키히로 나라
다카오 고야마
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야마하 파인 테크 가부시키가이샤
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Abstract

초음파 검사 장치는, 베이스와, 초음파를 조사하는 송신부 및 상기 송신부에 대하여 간격을 두고 위치하고, 상기 초음파를 수신하는 수신부를 갖는 검사 유닛과, 상기 베이스와 상기 검사 유닛 사이에 마련되고, 상기 검사 유닛을 상기 베이스에 대하여 상기 송신부 및 수신부의 배열 방향으로 이동 가능하게 하는 가동 유닛을 구비한다. 상기 검사 유닛은, 상기 송신부와 상기 수신부 사이를 통과하는 반송체에 접촉함으로써 상기 검사 유닛에 상기 배열 방향으로의 힘을 부여하는 접촉부를 더 갖는다.The ultrasonic inspection device includes a base, a transmitter that irradiates ultrasonic waves, and an inspection unit positioned at a distance from the transmitter and a receiver that receives the ultrasonic waves, provided between the base and the inspection unit, and comprising the inspection unit. and a movable unit capable of moving in an arrangement direction of the transmitting unit and the receiving unit with respect to the base. The inspection unit further has a contact portion that applies a force in the arrangement direction to the inspection unit by contacting a carrier passing between the transmitter and the receiver.

Description

초음파 검사 장치 및 검사 장치Ultrasonic inspection devices and inspection devices

본 개시는, 초음파 검사 장치 및 검사 장치에 관한 것이다.This disclosure relates to ultrasonic inspection devices and inspection devices.

이 출원은, 2021년 7월 20일에 출원된 일본 특허 출원 제2021-119754호 및 2021년 10월 7일에 출원된 일본 특허 출원 제2021-165471호를 기초로 하는 우선권을 주장하고, 그 개시의 전부를 참조로서 여기에 원용한다.This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2021-119754 filed on July 20, 2021 and Japanese Patent Application No. 2021-165471 filed on October 7, 2021, the disclosure thereof The entirety of this is incorporated herein by reference.

종래, 피검체를 향해 초음파를 송신하는 송신부, 및 피검체를 투과한 초음파를 수신하는 수신부를 갖고, 수신부에 대한 초음파의 수신 상황을 해석함으로써, 피검체 내부의 결함을 검출하는 초음파 검사 장치가 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조). 또한, 초음파 검사 장치에 한정되지 않고, 피검체가 검사부(예를 들어 화상 센서나 X선 센서 등)를 통과함으로써, 검사부에 의해 피검체의 외관이나 내부의 상태를 검사하는 검사 장치가 있다.Conventionally, there is an ultrasonic inspection device that has a transmitter that transmits ultrasonic waves toward the subject and a receiver that receives ultrasonic waves that have passed through the subject, and detects defects inside the subject by analyzing the reception status of the ultrasonic waves to the receiver. (For example, see Patent Document 1). In addition, there is an inspection device that is not limited to ultrasonic inspection devices, and inspects the external appearance or internal condition of the subject by the inspection unit when the subject passes through an inspection unit (for example, an image sensor or an X-ray sensor, etc.).

일본 특허 공개 제2020-027011호 공보Japanese Patent Publication No. 2020-027011

이러한 종류의 초음파 검사 장치에서는, 송신부와 수신부 사이에 있어서, 송신부 및 수신부가 늘어서는 방향(배열 방향)에 대하여 교차하는 방향으로 피검체를 반송하면서, 피검체 내부의 결함을 검출하는 경우가 있다. 또한, 피검체의 반송 방법에 따라서는, 송신부와 수신부 사이를 통과하는 피검체의 반송 궤적이, 직선형이 아니라 곡선형이 되거나, 송신부 및 수신부의 배열 방향에 대하여 직교하지 않고 경사지기도 한다. 이 때문에, 피검체가 송신부와 수신부 사이를 통과할 때에 송신부 및 수신부의 배열 방향에 있어서의 피검체의 위치가 변화해버린다.In this type of ultrasonic inspection device, defects inside the object may be detected while transporting the object between the transmitting unit and the receiving unit in a direction that intersects the direction in which the transmitting unit and the receiving unit are lined up (arrangement direction). In addition, depending on the method of transporting the object under test, the transport trace of the object passing between the transmitting unit and the receiving unit may be curved rather than straight, or may be inclined rather than perpendicular to the arrangement direction of the transmitting unit and the receiving unit. For this reason, when the subject passes between the transmitting unit and the receiving unit, the position of the subject in the arrangement direction of the transmitting unit and the receiving unit changes.

상기 배열 방향에 있어서의 피검체의 위치 변화를 허용하기 위해서는, 예를 들어 송신부와 수신부의 간격을 넓히는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 송신부와 수신부의 간격이 확대되면, 송신부로부터 송신된 초음파가 피검체의 에지부의 외측을 돌아 들어가 수신부에 도달하는 회절파가 발생하기 쉬워진다. 수신부가 피검체를 투과하지 않은 회절파를 수신하면, 피검체 내부의 결함을 올바르게 검출할 수 없는 경우가 있기 때문에, 회절파의 발생은 바람직하지 않다.In order to allow for a change in the position of the object under test in the array direction, it is conceivable to widen the gap between the transmitting unit and the receiving unit, for example. However, when the gap between the transmitter and the receiver expands, it becomes easy for ultrasonic waves transmitted from the transmitter to travel around the outside of the edge of the object to generate diffraction waves that reach the receiver. If the receiver receives a diffracted wave that does not pass through the object under test, defects inside the object under test may not be correctly detected, so generation of the diffraction wave is not desirable.

초음파 검사 장치에 한정되지 않고, 피검체가 검사부를 통과함으로써 검사부에 의해 피검체의 외관이나 내부 상태를 검사하는 검사 장치에서는, 검사부에 대한 피검체의 위치가 변화해버리면, 피검체를 올바르게 검사할 수 없는 경우가 있기 때문에, 바람직하지 않다.Not limited to ultrasonic inspection devices, in inspection devices that inspect the external appearance or internal condition of the subject by the inspection unit as the subject passes through the inspection unit, if the position of the subject relative to the inspection unit changes, the subject cannot be properly inspected. This is not desirable because there are cases where this is not possible.

본 개시는, 상술한 사정을 감안하여 이루어졌다. 본 개시의 목적의 일례는, 피검체(반송체)의 반송의 양태에 관계없이 검사부에 대한 피검체(반송체)의 위치 변화를 억제할 수 있는 초음파 검사 장치 및 검사 장치를 제공하는 것이다.This disclosure has been made in consideration of the above-mentioned circumstances. One example of the purpose of the present disclosure is to provide an ultrasonic inspection device and an inspection device that can suppress a change in the position of the subject (carrier) with respect to the inspection unit regardless of the mode of transport of the subject (carrier).

본 개시의 제1 양태는, 베이스와, 초음파를 조사하는 송신부 및 상기 송신부에 대하여 간격을 두고 위치하고, 상기 초음파를 수신하는 수신부를 갖는 검사 유닛과, 상기 베이스와 상기 검사 유닛 사이에 마련되고, 상기 검사 유닛을 상기 베이스에 대하여 상기 송신부 및 수신부의 배열 방향으로 이동 가능하게 하는 가동 유닛을 구비하고, 상기 검사 유닛은, 상기 송신부와 상기 수신부 사이를 통과하는 반송체에 접촉함으로써 상기 검사 유닛에 상기 배열 방향으로의 힘을 부여하는 접촉부를 더 갖는 초음파 검사 장치이다.A first aspect of the present disclosure includes an inspection unit having a base, a transmitter that irradiates ultrasonic waves, and a receiver that is positioned at a distance from the transmitter and receives the ultrasonic waves, and is provided between the base and the inspection unit, and a movable unit that allows an inspection unit to move relative to the base in an arrangement direction of the transmitting unit and the receiving unit, wherein the inspection unit is arranged in the inspection unit by contacting a carrier passing between the transmitting unit and the receiving unit. It is an ultrasonic inspection device that further has a contact part that applies force in the direction.

본 개시의 제2 양태는, 피검체가 통과함으로써 상기 피검체의 외관 및 내부 상태 중 적어도 한쪽을 검사하는 검사부와, 상기 검사부를 상기 피검체의 이동 궤적에 추종시키는 추종 기구를 구비하는 검사 장치이다.The second aspect of the present disclosure is an inspection device including an inspection unit that inspects at least one of the external appearance and internal state of the subject as the subject passes through, and a tracking mechanism that causes the inspection unit to follow the movement trajectory of the subject. .

본 개시에 의하면, 피검체(반송체)의 반송의 양태에 관계없이 검사부(검사 유닛)에 대한 피검체(반송체)의 위치 변화를 억제할 수 있다.According to the present disclosure, a change in the position of the object (carrier) under test with respect to the inspection unit (inspection unit) can be suppressed regardless of the mode of transport of the object (carrier).

도 1은 제1 실시 형태에 따른 초음파 검사 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 초음파 검사 장치에 있어서, 검사 유닛을 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1의 초음파 검사 장치에 있어서, 검사 유닛의 주요부를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 1의 초음파 검사 장치에 있어서, 검사 유닛 및 가동 유닛을 나타내는 단면도이다.
도 5는 송신부와 수신부 사이를 통과하는 피검체의 반송 궤적, 및 피검체의 반송에 따른 검사 유닛의 이동을 나타내는 도면이다.
도 6은 제2 실시 형태에 따른 초음파 검사 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 7은 제3 실시 형태에 따른 초음파 검사 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 8은 제4 실시 형태에 따른 초음파 검사 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 9는 제4 실시 형태의 제1 변형예를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 10은 제4 실시 형태의 제2 변형예를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 11은 제1 내지 제4 실시 형태에 따른 초음파 검사 장치의 검사 유닛의 변형예를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 12는 제5 실시 형태에 따른 초음파 검사 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 13은 도 12의 초음파 검사 장치 및 피검체를 반송하는 로터리 반송 장치를 상방에서 본 도면이다.
도 14는 도 12, 도 13의 초음파 검사 장치를 측방에서 본 피검체의 이동 궤적의 제1 예를 나타내는 도면이다.
도 15는 도 12, 도 13의 초음파 검사 장치를 측방에서 본 피검체의 이동 궤적의 제2 예를 나타내는 도면이다.
도 16은 제5 실시 형태의 초음파 검사 장치를 컨베이어형의 반송기에 적용한 모습을 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 17은 도 16의 XVII 방향에서 본 정면도이다.
도 18은 제5 실시 형태의 초음파 검사 장치를 필로포장기에 적용한 모습을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 19는 도 18의 필로포장기에 있어서 제조되는 피검체와 당해 피검체를 검사하는 제5 실시 형태의 초음파 검사 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.1 is a front view schematically showing an ultrasonic inspection device according to a first embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an inspection unit in the ultrasonic inspection device of FIG. 1.
FIG. 3 is a perspective view schematically showing main parts of an inspection unit in the ultrasonic inspection device of FIG. 1.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an inspection unit and a movable unit in the ultrasonic inspection device of FIG. 1.
Figure 5 is a diagram showing the transport trajectory of the object under test passing between the transmitting unit and the receiving unit, and the movement of the inspection unit according to the transport of the object under test.
Figure 6 is a front view schematically showing an ultrasonic inspection device according to the second embodiment.
Figure 7 is a front view schematically showing an ultrasonic inspection device according to the third embodiment.
Fig. 8 is a front view schematically showing an ultrasonic inspection device according to the fourth embodiment.
Fig. 9 is a front view schematically showing a first modification of the fourth embodiment.
Fig. 10 is a front view schematically showing a second modification of the fourth embodiment.
11 is a cross-sectional view schematically showing a modified example of the inspection unit of the ultrasonic inspection device according to the first to fourth embodiments.
Fig. 12 is a front view schematically showing an ultrasonic inspection device according to the fifth embodiment.
FIG. 13 is a diagram of the ultrasonic inspection device of FIG. 12 and the rotary transfer device for transporting the subject as viewed from above.
FIG. 14 is a diagram showing a first example of a movement trajectory of a subject viewed from the side of the ultrasonic inspection apparatus of FIGS. 12 and 13 .
FIG. 15 is a diagram showing a second example of a movement trajectory of a subject viewed from the side of the ultrasonic inspection apparatus of FIGS. 12 and 13.
Fig. 16 is a side view schematically showing the ultrasonic inspection device of the fifth embodiment applied to a conveyor type transporter.
FIG. 17 is a front view seen from direction XVII of FIG. 16.
Figure 18 is a perspective view schematically showing the ultrasonic inspection device of the fifth embodiment applied to a pillow packaging machine.
FIG. 19 is a cross-sectional view schematically showing a test object manufactured in the pillow packaging machine of FIG. 18 and an ultrasonic inspection device of the fifth embodiment for inspecting the test object.

〔제1 실시 형태〕[First Embodiment]

이하, 도 1 내지 5를 참조하여 본 개시의 제1 실시 형태에 대하여 설명한다.Hereinafter, a first embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 1 to 5.

도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 초음파 검사 장치(1)는, 초음파(W)를 사용하여 피검체(100)(반송체)에 있어서의 결함의 검사를 행한다. 본 실시 형태의 피검체(100)는 2개의 부재(101)를 겹쳐서 접합한 것이며, 예를 들어 포장 용기 등을 구성한다. 피검체(100)에 있어서의 결함은, 예를 들어 접합된 2개의 부재(101)의 박리 부분이다.As shown in FIGS. 1 and 2 , the ultrasonic inspection device 1 of this embodiment inspects defects in the subject 100 (carrier) using ultrasonic waves (W). The subject 100 of this embodiment is made by overlapping and joining two members 101, and constitutes, for example, a packaging container or the like. A defect in the subject 100 is, for example, a peeling portion of two joined members 101.

도 1에 도시한 바와 같이, 초음파 검사 장치(1)는 베이스(2)와, 검사 유닛(3)과, 가동 유닛(5)을 구비한다.As shown in FIG. 1, the ultrasonic inspection device 1 includes a base 2, an inspection unit 3, and a movable unit 5.

검사 유닛(3)은 피검체(100)가 통과함으로써 피검체(100)에 있어서의 내부의 결함(내부 상태)을 검사하는 검사부로서 기능한다. 검사 유닛(3)은 후술하는 가동 유닛(5)을 통해 베이스(2)에 설치된다. 검사 유닛(3)은 송신부(트랜스미터, 이미터)(11)와, 수신부(리시버)(12)를 구비한다. 송신부(11) 및 수신부(12)는 서로 간격을 두고 위치한다. 송신부(11) 및 수신부(12)는 동일한 고정부(13)에 고정되어 있다. 이에 의해, 송신부(11)와 수신부(12)의 간격이 보유 지지되고 있다.The inspection unit 3 functions as an inspection unit that inspects internal defects (internal conditions) in the subject 100 as the subject 100 passes through it. The inspection unit 3 is installed on the base 2 via a movable unit 5 described later. The inspection unit 3 includes a transmitting unit (transmitter, emitter) 11 and a receiving unit (receiver) 12. The transmitting unit 11 and the receiving unit 12 are positioned at intervals from each other. The transmitting unit 11 and the receiving unit 12 are fixed to the same fixing unit 13. As a result, the gap between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 is maintained.

도 2에 도시한 바와 같이, 송신부(11)는 수신부(12)를 향해 초음파(W)를 송신한다(조사한다). 초음파(W)는, 송신부(11)의 송신면(조사면)(11a)으로부터 송신된다. 본 실시 형태의 송신면(11a)은 그 주연으로부터 중심을 향해 우묵하게 들어가는 오목형으로 형성되어 있다. 이에 의해, 송신면(11a)으로부터 송신된 초음파(W)는 점 형상으로 수렴(포커스)된다. 본 실시 형태의 송신면(11a)은 도 3에 예시한 바와 같이 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향(X축 방향)에서 볼 때 직사각 형상으로 형성되어 있다. 그러나, 송신면(11a)의 형상은 이것으로 한정되지는 않는다.As shown in FIG. 2, the transmitter 11 transmits (irradiates) ultrasonic waves W toward the receiver 12. Ultrasound W is transmitted from the transmission surface (irradiation surface) 11a of the transmission unit 11. The transmission surface 11a of this embodiment is formed in a concave shape that is recessed from the periphery toward the center. As a result, the ultrasonic waves W transmitted from the transmission surface 11a are converged (focused) into a point shape. As illustrated in FIG. 3, the transmission surface 11a of this embodiment is formed in a rectangular shape when viewed from the direction in which the transmission unit 11 and the reception unit 12 are arranged (X-axis direction). However, the shape of the transmission surface 11a is not limited to this.

도 2에 도시한 바와 같이, 수신부(12)는 송신부(11)에 대하여 간격을 두고 위치하고, 송신부(11)로부터 송신된 초음파(W)를 수신한다. 수신부(12)는 송신부(11)의 송신면(11a)에 대향하고, 초음파(W)를 수신하는 수신면(12a)을 갖는다. 본 실시 형태의 수신면(12a)은 송신면(11a)과 마찬가지로, 수신면(12a)의 주연으로부터 중심을 향해 우묵하게 들어가는 오목형으로 형성되어 있다. 이에 의해, 송신면(11a)으로부터 송신되어 수렴한 후에 구면 형상으로 퍼진 초음파(W)를 수신할 수 있다. 또한, 수신면(12a)은 예를 들어 수렴한 초음파(W)를 수신하도록 형성되어도 된다. 도 3에 있어서, 수신면(12a)은 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향(X축 방향)에서 볼 때 직사각 형상으로 형성되어 있다. 그러나, 수신면(12a)의 형상은 이것으로 한정되지는 않는다.As shown in FIG. 2, the receiver 12 is positioned at a distance from the transmitter 11 and receives ultrasonic waves (W) transmitted from the transmitter 11. The reception unit 12 faces the transmission surface 11a of the transmission unit 11 and has a reception surface 12a for receiving ultrasonic waves (W). Like the transmission surface 11a, the receiving surface 12a of this embodiment is formed in a concave shape that is recessed from the periphery of the receiving surface 12a toward the center. As a result, it is possible to receive the ultrasonic waves W transmitted from the transmission surface 11a, converging, and then spreading out into a spherical shape. Additionally, the receiving surface 12a may be formed to receive converged ultrasonic waves W, for example. In Fig. 3, the receiving surface 12a is formed in a rectangular shape when viewed from the direction in which the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 are arranged (X-axis direction). However, the shape of the receiving surface 12a is not limited to this.

도면에서는, 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향을 X축 방향으로 나타내고 있다. X축 정방향은, 초음파(W)의 주된 송신 방향을 나타내고 있다. 또한, 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향에 직교하고, 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과하는 주된 방향을 Y축 정방향으로 나타내고, 그 역방향을 Y축 부방향으로 나타내고 있다. 또한, 이들 X축 방향 및 Y축 방향에 직교하는 방향을 Z축 방향으로 나타내고 있다.In the drawing, the arrangement direction of the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 is shown in the X-axis direction. The X-axis forward direction indicates the main transmission direction of ultrasonic waves (W). In addition, orthogonal to the arrangement direction of the transmitting unit 11 and the receiving unit 12, the main direction in which the object 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 is indicated as the Y-axis positive direction, and the reverse direction is indicated as the Y-axis. It is shown in the sub-axial direction. Additionally, the direction perpendicular to these X-axis directions and Y-axis directions is indicated as the Z-axis direction.

도 2에 도시한 바와 같이, 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과할 때, 피검체(100)를 구성하는 2개의 부재(101)는 주로 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향(X축 방향)으로 늘어선다. 이에 의해, 송신부(11)로부터 송신된 초음파(W)를, 2개의 부재(101)가 겹치는 방향에 있어서 피검체(100)에 투과시킨 후에, 수신부(12)에 있어서 수신시킬 수 있다.As shown in FIG. 2, when the object 100 passes between the transmitter 11 and the receiver 12, the two members 101 constituting the object 100 are mainly the transmitter 11 and the They are lined up in the arrangement direction (X-axis direction) of the receiving unit 12. As a result, the ultrasonic waves W transmitted from the transmitting unit 11 can be transmitted through the subject 100 in the direction in which the two members 101 overlap, and then received by the receiving unit 12.

도 1에 도시한 바와 같이, 가동 유닛(5)은 베이스(2)와 검사 유닛(3) 사이에 마련되어 있다. 가동 유닛(5)은 검사 유닛(3)을 베이스(2)에 대하여 X축 방향으로 이동 가능하게 한다. 구체적으로, 가동 유닛(5)은 레일(31)과, 레일(31)에 대하여 직선 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 설치된 블록(32)을 갖는다. 레일(31)은 직선형으로 연장되어 있고, 검사 유닛(3)에 고정되어 있다. 블록(32)은 베이스(2)에 고정되고, 소정의 범위 내에서 레일(31)에 대하여 그 길이 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 레일(31)이 베이스(2)에 고정되고, 블록(32)이 검사 유닛(3)에 고정되어도 된다.As shown in FIG. 1, the movable unit 5 is provided between the base 2 and the inspection unit 3. The movable unit 5 enables the inspection unit 3 to move in the X-axis direction with respect to the base 2. Specifically, the movable unit 5 has a rail 31 and a block 32 provided to slide in a straight direction with respect to the rail 31. The rail 31 extends in a straight line and is fixed to the inspection unit 3. The block 32 is fixed to the base 2 and is movable in the longitudinal direction with respect to the rail 31 within a predetermined range. Additionally, the rail 31 may be fixed to the base 2 and the block 32 may be fixed to the inspection unit 3.

상기와 같이 구성된 가동 유닛(5)에 의해, 검사 유닛(3)이 베이스(2)에 대하여 X축 방향으로 직선형으로 이동 가능하게 되어 있다. 가동 유닛(5)은 예를 들어 블록(32)이 레일(31)에 대하여 덜걱거리지 않고 직선 방향으로 매끄럽게 이동할 수 있는 리니어 가이드여도 된다. 또한, 가동 유닛(5)은 예를 들어 레일(31)에 대한 블록(32)의 덜걱거림을 허용하도록 구성되어도 된다.The movable unit 5 configured as described above allows the inspection unit 3 to move linearly in the X-axis direction with respect to the base 2. The movable unit 5 may be, for example, a linear guide that allows the block 32 to move smoothly in a straight direction without rattling against the rail 31 . Additionally, the movable unit 5 may be configured to allow for example the rattling of the block 32 against the rail 31 .

도 1 내지 4에 도시한 바와 같이, 검사 유닛(3)은 접촉부(접촉 부재)(15)를 더 구비한다. 접촉부(15)는 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과하는 피검체(100)에 접촉함으로써 검사 유닛(3)에 X축 방향(배열 방향)으로의 힘을 부여한다. 접촉부(15)에 피검체(100)가 접촉함으로써, 검사 유닛(3)에 X축 방향으로의 힘이 부여되고, 검사 유닛(3)이 베이스(2)에 대하여 X축 방향으로 이동한다.1 to 4, the inspection unit 3 further includes a contact portion (contact member) 15. The contact unit 15 applies a force in the X-axis direction (arrangement direction) to the inspection unit 3 by contacting the object 100 passing between the transmitter 11 and the receiver 12. When the subject 100 touches the contact portion 15, a force in the X-axis direction is applied to the inspection unit 3, and the inspection unit 3 moves in the X-axis direction with respect to the base 2.

본 실시 형태의 접촉부(15)는 송신부(11)와 수신부(12) 사이(의 공간)를 향해 피검체(100)를 안내하는 안내부(안내 부재)(21, 22)이다. 안내부(21, 22)는 적어도 송신부(11) 및 수신부(12) 중 적어도 한쪽에 마련되어도 된다. 본 실시 형태에서는, 안내부(21, 22)가 송신부(11) 및 수신부(12)의 양쪽에 마련되어 있다. 송신부(11) 및 수신부(12)에 마련된 2개의 안내부(21, 22)는 X축 방향에 있어서 서로 간격을 두고 위치한다. 본 실시 형태에 있어서, 2개의 안내부(21, 22)의 간격은 송신부(11)와 수신부(12)의 간격보다도 작다.The contact portion 15 of this embodiment is a guide portion (guiding member) 21, 22 that guides the subject 100 toward (the space between) the transmitter 11 and the receiver 12. The guide units 21 and 22 may be provided in at least one of the transmitting unit 11 and the receiving unit 12. In this embodiment, guide sections 21 and 22 are provided on both sides of the transmitting section 11 and the receiving section 12. The two guide units 21 and 22 provided in the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 are positioned at a distance from each other in the X-axis direction. In this embodiment, the spacing between the two guide units 21 and 22 is smaller than the spacing between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12.

도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 송신부(11)에 마련된 제1 안내부(21)는 Y축 부방향측에 위치하는 송신면(11a)의 에지에 마련되어 있다. 제1 안내부(21)는 Y축 부방향측을 향하는 안내면(21a)을 갖는다. 제1 안내부(21)의 안내면(21a)은 X축 정방향측(수신부(12)측)을 향함에 따라서 Y축 정방향을 향하도록 경사져 있다. 수신부(12)에 마련된 제2 안내부(22)는 Y축 부방향측에 위치하는 수신면(12a)의 에지에 마련되어 있다. 제2 안내부(22)는 Y축 부방향측을 향하는 안내면(22a)을 갖는다. 제2 안내부(22)의 안내면(22a)은 X축 부방향측(송신부(11)측)을 향함에 따라서 Y축 정방향을 향하도록 경사져 있다. 이에 의해, X축 방향에 있어서의 제1, 제2 안내부(21, 22)의 안내면(21a, 22a)의 간격은, Y축 정방향을 향함에 따라서 작아져 있다.2 to 4, the first guide portion 21 provided in the transmission unit 11 is provided at the edge of the transmission surface 11a located on the Y-axis negative direction side. The first guide portion 21 has a guide surface 21a facing toward the Y-axis negative direction. The guide surface 21a of the first guide portion 21 is inclined toward the positive Y-axis direction as it faces the X-axis positive direction (receiving portion 12 side). The second guide portion 22 provided in the receiving portion 12 is provided at the edge of the receiving surface 12a located on the Y-axis negative direction side. The second guide portion 22 has a guide surface 22a facing toward the Y-axis negative direction. The guide surface 22a of the second guide portion 22 is inclined toward the positive Y-axis direction as it faces the negative X-axis direction (transmitter 11 side). As a result, the gap between the guide surfaces 21a and 22a of the first and second guide portions 21 and 22 in the X-axis direction becomes smaller as it moves toward the positive Y-axis direction.

상기와 같이 안내부(21, 22)가 구성되어 있음으로써, 송신부(11)와 수신부(12) 사이에 진입하는 피검체(100)가 2개의 안내부(21, 22) 사이의 간극에 대하여 X축 방향으로 어긋나게 위치하고 있더라도, 피검체(100)가 안내부(21, 22)의 안내면(21a, 22a)에 접촉함으로써, 안내부(21, 22)의 안내면(21a, 22a)에 의해 2개의 안내부(21, 22) 사이(송신부(11)와 수신부(12) 사이)로 안내할 수 있다.Since the guide units 21 and 22 are configured as described above, the subject 100 entering between the transmitter 11 and the receiver 12 has Even if the object 100 is positioned misaligned in the axial direction, the subject 100 contacts the guide surfaces 21a and 22a of the guide parts 21 and 22, so that two guides are guided by the guide surfaces 21a and 22a of the guide parts 21 and 22. It can be guided between the units 21 and 22 (between the transmitter 11 and the receiver 12).

여기서, 전술한 바와 같이 검사 유닛(3)은 가동 유닛(5)에 의해 베이스(2)에 대하여 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이 때문에, 피검체(100)가 안내부(21, 22)의 안내면(21a, 22a)에 접촉했을 때에는, 검사 유닛(3)에 X축 방향으로의 힘이 부여된다. 그리고, 검사 유닛(3)이 베이스(2) 및 피검체(100)에 대하여 X축 방향으로 이동함으로써, 피검체(100)가 2개의 안내부(21, 22) 사이로 안내된다.Here, as described above, the inspection unit 3 is capable of moving in the X-axis direction with respect to the base 2 by the movable unit 5. For this reason, when the subject 100 touches the guide surfaces 21a and 22a of the guide portions 21 and 22, a force in the X-axis direction is applied to the inspection unit 3. Then, as the inspection unit 3 moves in the X-axis direction with respect to the base 2 and the object 100, the object 100 is guided between the two guide portions 21 and 22.

본 실시 형태의 안내부(21, 22)는 규제부(차폐부)(25, 26)를 겸용한다. 규제부(25, 26)는 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과할 때에, 도 4에 도시한 바와 같이, 송신부(11)로부터 송신된 초음파(W)가 피검체(100)를 투과하지 않고 수신부(12)에 도달하는 것을 규제한다(방해한다). 송신부(11)로부터 피검체(100)를 투과하지 않고 수신부(12)에 도달하려고 하는 초음파(W)에는, 도 4에 예시한 바와 같이, 피검체(100)의 에지부(103)의 외측을 돌아 들어가려고 하는 초음파(W2)(즉 회절파)가 있다. 규제부(25, 26)는 송신부(11)로부터 피검체(100)를 투과한 초음파(W1)(즉 투과파)가 수신부(12)에 도달하는 것을 규제하지 않는다.The guide portions 21 and 22 of this embodiment also serve as the regulating portions (shielding portions) 25 and 26. The regulating units 25 and 26 prevent the ultrasonic waves W transmitted from the transmitting unit 11 from being avoided when the subject 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12, as shown in FIG. 4 . It regulates (blocks) the sample 100 from reaching the receiver 12 without passing through it. As illustrated in FIG. 4 , the ultrasonic waves W trying to reach the receiver 12 without passing through the subject 100 from the transmitter 11 are directed to the outside of the edge portion 103 of the subject 100. There is an ultrasonic wave (W2) (i.e. a diffracted wave) trying to go around. The regulating units 25 and 26 do not restrict the ultrasonic wave W1 (i.e., transmitted wave) that has passed through the subject 100 from the transmitting unit 11 from reaching the receiving unit 12.

다시 말해, 규제부(25, 26)는 피검체(100)를 투과해서 수신부(12)에 도달하는 초음파(W1)의 제1 전반 경로와 다른 초음파(W2)의 제2 전반 경로를 규제한다. 초음파(W2)의 제2 전반 경로는, 도 4에 예시한 회절파(피검체(100)의 에지부(103)의 외측을 돌아 들어가려고 하는 초음파(W2))의 전반 경로이다.In other words, the regulation units 25 and 26 regulate the second propagation path of the ultrasonic waves W2, which is different from the first propagation path of the ultrasonic waves W1 that passes through the subject 100 and reaches the receiver 12. The second propagation path of the ultrasonic wave W2 is the propagation path of the diffracted wave (the ultrasonic wave W2 trying to enter around the outside of the edge portion 103 of the subject 100) illustrated in FIG. 4 .

규제부(25, 26)는 적어도 송신부(11) 및 수신부(12) 중 적어도 한쪽에 마련되어도 된다. 본 실시 형태에서는, 도 2 내지 4에 도시한 바와 같이 규제부(25, 26)가 송신부(11) 및 수신부(12)의 양쪽에 마련되어 있다.The regulating units 25 and 26 may be provided in at least one of the transmitting unit 11 and the receiving unit 12. In this embodiment, as shown in Figs. 2 to 4, regulation units 25 and 26 are provided on both sides of the transmitting unit 11 and the receiving unit 12.

송신부(11)에 마련된 제1 규제부(25)는 X축 방향(배열 방향)에 있어서 송신면(11a)에 대향하여 배치되고, 송신면(11a)의 일부를 덮는다. 제1 규제부(25)는 송신면(11a)으로부터 X축 정방향(수신부(12)측)을 향함에 따라서 내측의 단면적이 작아지는 통 형상으로 형성되어 있다. 제1 규제부(25)는 예를 들어 원추형의 통 형상으로 형성되어도 된다. 제1 규제부(25)는 본 실시 형태에서는 도 3에 도시한 바와 같이 사각뿔형의 통 형상으로 형성되어 있다. 통 형상의 제1 규제부(25)의 양단의 개구 중 내측의 단면적이 큰 측의 개구는, 송신면(11a)의 주연에 접속되어 있다. 송곳형으로 형성된 제1 규제부(25)의 외면 중 Y축 부방향측을 향하는 면이, 전술한 제1 안내부(21)의 안내면(21a)으로서 기능하고 있다.The first regulating portion 25 provided in the transmission unit 11 is disposed opposite to the transmission surface 11a in the X-axis direction (arrangement direction) and covers a part of the transmission surface 11a. The first regulating portion 25 is formed in a cylindrical shape whose inner cross-sectional area becomes smaller as it moves from the transmission surface 11a toward the positive X-axis direction (receiving portion 12 side). The first regulating portion 25 may be formed in a conical, cylindrical shape, for example. In this embodiment, the 1st regulating part 25 is formed in the shape of a square-pyramidal cylinder as shown in FIG. 3. Among the openings at both ends of the cylindrical first regulating portion 25, the opening on the side with the larger inner cross-sectional area is connected to the periphery of the transmission surface 11a. Among the outer surfaces of the first regulating portion 25 formed in an awl shape, the surface facing the Y-axis negative direction functions as the guide surface 21a of the above-described first guide portion 21.

도 2 내지 4에 도시한 바와 같이, 수신부(12)에 마련된 제2 규제부(26)는 X축 방향(배열 방향)에 있어서 수신면(12a)에 대향하여 배치되고, 수신면(12a)의 일부를 덮는다. 제2 규제부(26)는 수신면(12a)으로부터 X축 부방향(송신측)을 향함에 따라서 내측의 단면적이 작아지는 통 형상으로 형성되어 있다. 제2 규제부(26)는 예를 들어 원추형의 통 형상으로 형성되어도 된다. 제2 규제부(26)는 본 실시 형태에서는 도 3에 도시한 바와 같이 사각뿔형의 통 형상으로 형성되어 있다. 통 형상의 제2 규제부(26)의 양단의 개구 중 내측의 단면적이 큰 측의 개구는, 수신면(12a)의 주연에 접속되어 있다. 송곳형으로 형성된 제2 규제부(26)의 외면 중 Y축 부방향측을 향하는 면이, 전술한 제2 안내부(22)의 안내면(22a)으로서 기능하고 있다.As shown in FIGS. 2 to 4, the second regulating portion 26 provided in the receiving portion 12 is disposed opposite to the receiving surface 12a in the Cover. The second regulating portion 26 is formed in a cylindrical shape whose inner cross-sectional area becomes smaller as it moves from the receiving surface 12a toward the negative X-axis direction (transmitting side). The second regulating portion 26 may be formed in a conical, cylindrical shape, for example. In this embodiment, the 2nd regulating part 26 is formed in the shape of a square-pyramidal cylinder as shown in FIG. 3. Among the openings at both ends of the cylindrical second regulating portion 26, the opening on the side with the larger inner cross-sectional area is connected to the periphery of the receiving surface 12a. Among the outer surfaces of the second regulating portion 26 formed in an awl shape, the surface facing the Y-axis negative direction functions as the guide surface 22a of the above-described second guide portion 22.

도 2, 도 3에 도시한 바와 같이 송곳형의 통 형상으로 형성된 제1, 제2 규제부(25, 26)는 송신부(11)로부터 송신되어 점 형상으로 수렴한 후에 구면 형상으로 퍼진 다음에 수신부(12)에 도달하는 초음파(W)의 양태에 적합하다. 즉, 송신부(11)의 송신면(11a)으로부터 송신되어 수렴하면서 전반하는 초음파(W)는, 송곳형의 통 형상의 제1 규제부(25) 중 단면적이 작은 측의 개구(25a)(송신측 개구(25a))로부터, 제1 규제부(25)의 외측으로 나올 수 있다. 또한, 송신측 개구(25a)로부터 나온 초음파(W)는, 송곳형의 통 형상의 제2 규제부(26) 중 단면적이 작은 측의 개구(26a)(수신측 개구(26a))로부터 제2 규제부(26)의 내측으로 들어옴과 함께 구면 형상으로 퍼진 다음에 수신부(12)의 수신면(12a)에 도달할 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the first and second regulating parts 25 and 26 formed in the shape of an awl-shaped cylinder are transmitted from the transmitting unit 11, converge into a point shape, and then spread out into a spherical shape and then reach the receiving unit. (12) is suitable for the mode of ultrasonic wave (W) reaching. That is, the ultrasonic waves W transmitted from the transmission surface 11a of the transmission unit 11 and propagating while converging are transmitted through the opening 25a (transmission It can come out from the side opening 25a) to the outside of the first regulating portion 25. In addition, the ultrasonic wave W emitted from the transmitting-side opening 25a is transmitted from the second awl-shaped cylindrical second regulating portion 26 to the second opening 26a (receiving-side opening 26a) on the side with a smaller cross-sectional area. As it enters the inside of the regulating portion 26, it spreads into a spherical shape and then reaches the receiving surface 12a of the receiving portion 12.

본 실시 형태에서는, 제1, 제2 규제부(25, 26)의 송신측 개구(25a)와 수신측 개구(26a)의 간격(이하 2개의 규제부(25, 26)의 간격이라고 칭함)이 송신부(11)와 수신부(12)의 실질적인 간격에 대응하고 있다. 2개의 규제부(25, 26)의 간격은, 이들 사이에 피검체(100)를 통과시키는 것이 가능한 범위에서, 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 2개의 규제부(25, 26) 사이에 피검체(100)가 위치한 상태에서, 규제부(25, 26)와 피검체(100)의 간격이 초음파(W)의 파장 이하가 되는 것이 바람직하다. 이 경우, 송신부(11)로부터 피검체(100)를 투과하지 않고 수신부(12)에 도달하려고 하는 초음파(W2)(회절파)를 보다 효과적으로 규제할 수 있다.In this embodiment, the interval between the transmitting side opening 25a and the receiving side opening 26a of the first and second regulating portions 25 and 26 (hereinafter referred to as the interval between the two regulating portions 25 and 26) is It corresponds to the actual gap between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12. The gap between the two regulating portions 25 and 26 is preferably made as small as possible within the range of allowing the subject 100 to pass between them. For example, in a state where the subject 100 is located between two regulating parts 25 and 26, the distance between the regulating parts 25 and 26 and the subject 100 is less than or equal to the wavelength of ultrasonic waves (W). It is desirable. In this case, the ultrasonic waves W2 (diffracted waves) that attempt to reach the receiver 12 from the transmitter 11 without passing through the subject 100 can be more effectively regulated.

본 실시 형태의 가동 유닛(5) 및 접촉부(15)는 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 이동 궤적에 추종시키는 추종 기구로서 기능한다. 추종 기구를 이루는 가동 유닛(5) 및 접촉부(15)는 검사 유닛(3)을 피검체(100) 중 검사 유닛(3)에 의해 검사되는 검사 대상 부위의 이동 궤적에 추종시킨다. 피검체(100)의 검사 대상 부위는, 예를 들어 피검체(100)에 있어서 접합된 2개의 부재(101)의 접합 부분이다.The movable unit 5 and the contact portion 15 of this embodiment function as a tracking mechanism that causes the inspection unit 3 to follow the movement trajectory of the subject 100. The movable unit 5 and the contact portion 15 forming the tracking mechanism cause the inspection unit 3 to follow the movement trajectory of the inspection target portion inspected by the inspection unit 3 among the objects 100. The inspection target portion of the subject 100 is, for example, a joint portion of two members 101 joined in the subject 100.

이상 설명한 바와 같이, 제1 실시 형태의 초음파 검사 장치(1)에 의하면, 송신부(11) 및 수신부(12)를 포함하는 검사 유닛(3)이 가동 유닛(5)에 의해 베이스(2)에 대하여 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 검사 유닛(3)은 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과하는 피검체(100)에 접촉함으로써 검사 유닛(3)에 배열 방향으로의 힘을 부여하는 접촉부(15)를 갖는다.As explained above, according to the ultrasonic inspection device 1 of the first embodiment, the inspection unit 3 including the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 is relative to the base 2 by the movable unit 5. It is possible to move in the direction in which the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 are arranged (X-axis direction). Additionally, the inspection unit 3 has a contact portion 15 that applies force in the arrangement direction to the inspection unit 3 by contacting the object 100 passing between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12.

이 때문에, 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과할 때에, 배열 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치가 변화하면, 피검체(100)가 검사 유닛(3)의 접촉부(15)에 접촉함으로써 검사 유닛(3)을 배열 방향으로 누른다. 이에 의해, 검사 유닛(3)이 가동 유닛(5)에 의해 피검체(100)의 위치 변화에 추종하도록 배열 방향으로 이동한다. 그 결과로서, 송신부(11)와 수신부(12)의 간격을 실질적으로 좁게 하더라도, 배열 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치 변화를 허용하면서, 피검체(100)를 송신부(11)와 수신부(12) 사이에 통과시킬 수 있다. 즉, 송신부(11)와 수신부(12)의 간격을 실질적으로 좁게 하여 회절파의 발생을 억제할 수 있다. 따라서, 송신부(11)와 수신부(12) 사이에 있어서의 피검체(100)의 반송 양태에 관계없이, 회절파의 발생을 억제할 수 있다.For this reason, when the subject 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12, and the position of the subject 100 in the array direction changes, the subject 100 is transferred to the inspection unit 3. ) presses the inspection unit 3 in the arrangement direction by touching the contact portion 15 of ). Thereby, the inspection unit 3 moves by the movable unit 5 in the arrangement direction to follow the change in position of the subject 100. As a result, even if the distance between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 is substantially narrowed, the subject 100 is connected to the transmitting unit 11 and the receiving unit while allowing a change in the position of the inspected object 100 in the array direction. It can be passed between (12). That is, the generation of diffraction waves can be suppressed by substantially narrowing the gap between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12. Therefore, regardless of the transport mode of the object 100 between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12, the generation of diffraction waves can be suppressed.

여기서, 송신부(11)와 수신부(12) 사이에 있어서의 피검체(100)의 반송 양태의 예에 대하여, 도 5를 참조하여 설명한다.Here, an example of a transport mode of the object 100 between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 will be described with reference to FIG. 5 .

피검체(100)는, 예를 들어 도 5에 도시한 바와 같이, Z축 방향에서 볼 때, 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과하는 피검체(100)의 반송 궤적 T1이 원호형이 되도록 반송되는 경우가 있다. 예를 들어, 피검체(100)가 Z축 방향을 중심축으로 하여 회전하는 반송 장치(로터리 반송 장치)에 의해 반송되는 경우에, 피검체(100)의 반송 궤적 T1이 도 5에 도시한 바와 같은 원호형이 되는 경우가 있다. 이 경우에는, 피검체(100)가 검사 유닛(3)을 통과하는 과정에 있어서, 배열 방향(X축 방향)에 있어서의 피검체(100)(특히 피검체(100)의 검사 대상 부위)의 위치가 변화한다.For example, as shown in FIG. 5, the transfer trajectory T1 of the subject 100 passing between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 has an arc shape when viewed from the Z-axis direction. There are cases where it is returned. For example, when the subject 100 is transported by a transfer device (rotary transfer device) that rotates with the Z-axis direction as the central axis, the transfer trajectory T1 of the subject 100 is as shown in FIG. 5. There are cases where it has the same arc shape. In this case, in the process of the subject 100 passing through the inspection unit 3, the subject 100 (particularly the inspection target portion of the subject 100) in the array direction (X-axis direction) The location changes.

이에 반하여, 제1 실시 형태의 초음파 검사 장치(1)에서는, 가동 유닛(5)에 의해 피검체(100)의 위치 변화(즉 피검체(100)의 이동 궤적)에 추종하도록 검사 유닛(3)을 배열 방향으로 이동시킬 수 있다. 본 실시 형태에 있어서, 피검체(100)의 위치 변화에 대한 검사 유닛(3)의 추종은, 피검체(100)의 위치 변화에 따라서, 피검체(100)가 배열 방향에 있어서 안내부(21, 22)의 안내면(21a, 22a)에 압박되어 검사 유닛(3)에 배열 방향으로의 힘이 부여됨으로써 행해진다. 피검체(100)가 도 5에 도시한 궤적 T1과 같이 반송되어 피검체(100)의 위치가 X축 부방향으로 변화하는 경우에는, 이점쇄선으로 나타낸 검사 유닛(3)의 송신부(11) 및 수신부(12)의 위치가, 실선으로 나타낸 송신부(11) 및 수신부(12)의 위치가 되도록 X축 부방향으로 변화한다.In contrast, in the ultrasonic inspection apparatus 1 of the first embodiment, the inspection unit 3 is configured to follow the change in position of the subject 100 (i.e., the movement trajectory of the subject 100) by the movable unit 5. can be moved in the array direction. In this embodiment, the inspection unit 3 follows the change in position of the subject 100 according to the change in position of the subject 100, so that the subject 100 is arranged in the direction of the guide unit 21. , 22) is pressed against the guide surfaces 21a and 22a and a force in the arrangement direction is applied to the inspection unit 3. When the subject 100 is transported as shown in the trajectory T1 shown in FIG. 5 and the position of the subject 100 changes in the negative direction of the The position of the receiving unit 12 changes in the negative direction of the X-axis so that it becomes the position of the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 shown in solid lines.

또한, 제1 실시 형태의 초음파 검사 장치(1)에서는, 2개의 안내부(21, 22)의 간격이 송신부(11)와 수신부(12)의 간격보다도 작다. 이 때문에, 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향에 있어서 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과하는 피검체(100)의 위치에 변동이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 피검체(100)를 투과해서 수신부(12)가 수신하는 초음파(W)의 강도(수신 신호 강도)에 변동이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 피검체(100)를 높은 정밀도로 검사하는 것이 가능해진다.Additionally, in the ultrasonic inspection device 1 of the first embodiment, the gap between the two guide units 21 and 22 is smaller than the gap between the transmitter 11 and the receiver 12. For this reason, it is possible to suppress variation in the position of the object 100 passing between the transmitter 11 and the receiver 12 in the arrangement direction of the transmitter 11 and the receiver 12. As a result, it is possible to suppress fluctuations in the intensity (received signal intensity) of the ultrasonic waves (W) transmitted through the subject 100 and received by the receiver 12. Therefore, it becomes possible to inspect the subject 100 with high precision.

또한, 제1 실시 형태의 초음파 검사 장치(1)에서는, 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 향해 피검체(100)를 안내하는 안내부(21, 22)가, 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과할 때에, 송신부(11)로부터 송신된 초음파(W)가 피검체(100)를 투과하지 않고 수신부(12)에 도달하는 것을 규제하는 규제부(25, 26)를 겸용하고 있다. 이에 의해, 초음파 검사 장치(1)의 구성 부품 점수를 증가시키지 않고, 피검체(100)를 투과하지 않은, 초음파(W2)(예를 들어 회절파)가 수신부(12)에 도달하는 것을 억제하여, 피검체(100)의 결함을 보다 올바르게 검출할 수 있다.In addition, in the ultrasonic inspection device 1 of the first embodiment, the guide units 21 and 22 that guide the subject 100 between the transmitter 11 and the receiver 12 are provided. When passing between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12, a regulation unit 25 that regulates the ultrasonic wave W transmitted from the transmitting unit 11 to reach the receiving unit 12 without passing through the subject 100. , 26) are also used. As a result, the ultrasonic waves W2 (e.g., diffraction waves) that do not penetrate the object 100 are suppressed from reaching the receiver 12 without increasing the number of component parts of the ultrasonic inspection device 1. , defects in the subject 100 can be detected more accurately.

상기한 바와 같이, 제1 실시 형태의 초음파 검사 장치(1)에서는, 가동 유닛(5) 및 접촉부(15)로 이루어지는 추종 기구에 의해, 검사 유닛(3)(검사부)에 대하여 피검체(100)가 통과하는 방향(Y축 방향)에 직교하는 직교 방향(배열 방향, X축 방향)에 있어서의 피검체(100)의 위치 변화에 따라서, 검사 유닛(3)을 그 직교 방향으로 이동시킨다. 이에 의해, 검사 유닛(3)이 추종 기구에 의해 피검체(100)의 이동 궤적을 추종한다. 이 때문에, 피검체(100)가 검사 유닛(3)을 통과할 때에, 검사 유닛(3)에 대한 피검체(100)의 위치 변화를 억제할 수 있다. 따라서, 검사 유닛(3)에 의해 피검체(100)의 내부 상태를 올바르게 검사할 수 있다.As described above, in the ultrasonic inspection device 1 of the first embodiment, the subject 100 is connected to the inspection unit 3 (inspection section) by a tracking mechanism consisting of the movable unit 5 and the contact portion 15. According to a change in the position of the object 100 in the orthogonal direction (arrangement direction, X-axis direction) orthogonal to the passing direction (Y-axis direction), the inspection unit 3 is moved in the orthogonal direction. Thereby, the inspection unit 3 follows the movement trajectory of the subject 100 by the tracking mechanism. For this reason, when the subject 100 passes through the inspection unit 3, a change in the position of the subject 100 with respect to the inspection unit 3 can be suppressed. Therefore, the internal state of the subject 100 can be correctly inspected by the inspection unit 3.

〔제2 실시 형태〕[Second Embodiment]

다음으로, 도 6을 참조하여 본 개시의 제2 실시 형태에 대하여 설명한다. 제2 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태와 마찬가지의 구성 요소에 대하여 동일 부호를 붙이거나 하여, 그 설명을 생략한다.Next, a second embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIG. 6. In the second embodiment, the same components as those in the first embodiment are given the same reference numerals and their description is omitted.

도 6에 도시한 바와 같이, 제2 실시 형태의 초음파 검사 장치(1D)는 제1 실시 형태와 마찬가지로, 베이스(2)와, 검사 유닛(3)과, 가동 유닛(5)을 구비한다. 본 실시 형태의 초음파 검사 장치(1D)는 복귀부(6D)를 더 구비한다. 복귀부(6D)는 검사 유닛(3)을 X축 방향(배열 방향)에 있어서의 기준 위치(RP)로 복귀시킨다.As shown in Fig. 6, the ultrasonic inspection device 1D of the second embodiment includes a base 2, an inspection unit 3, and a movable unit 5, similar to the first embodiment. The ultrasonic inspection device 1D of this embodiment further includes a return portion 6D. The return portion 6D returns the inspection unit 3 to the reference position RP in the X-axis direction (arrangement direction).

본 실시 형태의 복귀부(6D)는 중력에 의해 검사 유닛(3)을 기준 위치(RP)로 복귀시킨다. 구체적으로, 복귀부(6D)는 긴 쪽 방향이 수평 방향에 대하여 경사지도록 배치된 가동 유닛(5)의 레일(31)이다. 도 6에 있어서는, X축 방향이 수평 방향을 나타내고 있다. 또한, Z축 방향이 연직 방향을 나타내고 있으며, Z축 정방향측이 연직 방향의 상측을 나타내고 있다.The return portion 6D of this embodiment returns the inspection unit 3 to the reference position RP by gravity. Specifically, the return portion 6D is a rail 31 of the movable unit 5 arranged so that the long direction is inclined with respect to the horizontal direction. In Figure 6, the X-axis direction represents the horizontal direction. Additionally, the Z-axis direction represents the vertical direction, and the positive Z-axis direction side represents the upper side of the vertical direction.

도 6에 있어서, 레일(31)은 X축 정방향을 향함에 따라서 Z축 부방향측(즉 연직 방향의 하측)을 향하도록 연장되어 있다. 이에 의해, 검사 유닛(3)에는, 자중에 의해 X축 정방향을 향하는 힘(중력)이 작용한다. 검사 유닛(3)에 작용하는 중력(복귀부(6D)의 힘)의 크기는, 피검체(100)가 그 중력에 저항하여 검사 유닛(3)을 X축 방향(도 6에서는 X축 부방향)으로 누르는 힘보다도 작은 것이 바람직하다.In Fig. 6, the rail 31 extends toward the positive direction of the X-axis and toward the negative direction of the Z-axis (i.e., downward in the vertical direction). As a result, a force (gravity) directed in the positive X-axis direction is applied to the inspection unit 3 due to its own weight. The magnitude of the gravity (force of the return unit 6D) acting on the inspection unit 3 is such that the subject 100 resists the gravity and moves the inspection unit 3 in the ) is preferable to be smaller than the pressing force.

도 6에 있어서의 검사 유닛(3)의 기준 위치(RP)는, 가동 유닛(5)에 의한 검사 유닛(3)의 이동 범위에 있어서의 단부의 위치이며, 검사 유닛(3)의 이동 범위에 있어서 가장 하방의 위치이다.The reference position RP of the inspection unit 3 in FIG. 6 is the position of the end in the movement range of the inspection unit 3 by the movable unit 5, and is located in the movement range of the inspection unit 3. It is the lowest position.

제2 실시 형태의 초음파 검사 장치(1D)에서는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 피검체(100)가 검사 유닛(3)의 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과할 때에, X축 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치 변화에 추종하도록 검사 유닛(3)이 베이스(2)에 대하여 X축 방향으로 이동한다. 그 후, 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 빠져나갔을 때에, 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)로부터 이격되어 위치하는 경우에는, 검사 유닛(3)이 자중에 의해 기준 위치(RP)로 복귀한다.In the ultrasonic inspection device 1D of the second embodiment, as in the first embodiment, when the object 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 of the inspection unit 3, the X-axis direction The inspection unit 3 moves in the X-axis direction with respect to the base 2 to follow the change in position of the subject 100 in . Thereafter, when the subject 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12, and the inspection unit 3 is located away from the reference position RP, the inspection unit 3 is moved by its own weight. It returns to the reference position (RP) by .

제2 실시 형태의 초음파 검사 장치(1D)에 의하면, 제1 실시 형태와 마찬가지의 효과를 발휘한다.According to the ultrasonic inspection device 1D of the second embodiment, the same effect as that of the first embodiment is achieved.

또한, 제2 실시 형태의 초음파 검사 장치(1D)는 검사 유닛(3)을 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향(X축 방향)에 있어서의 기준 위치(RP)로 복귀시키는 복귀부(6D)를 구비한다. 이 때문에, 소정의 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 빠져나갔을 때에, 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)로부터 이격되어 위치하더라도, 검사 유닛(3)을 복귀부(6D)에 의해 기준 위치(RP)로 복귀시킬 수 있다. 이에 의해, 후속의 피검체(100)를 기준 위치(RP)에 배치된 검사 유닛(3)의 송신부(11)와 수신부(12) 사이에 진입시킬 수 있다. 따라서, 피검체(100)가 빠져나갔을 때의 검사 유닛(3)의 위치가 기준 위치(RP)에서 어긋나 있더라도, 복수의 피검체(100)를 연속해서 검사 유닛(3)에 통과시킬 수 있다.In addition, the ultrasonic inspection device 1D of the second embodiment has a return unit that returns the inspection unit 3 to the reference position RP in the arrangement direction (X-axis direction) of the transmitter 11 and the receiver 12. (6D) is provided. For this reason, when the predetermined object 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12, the inspection unit 3 returns to its original state even if the inspection unit 3 is located away from the reference position RP. It can be returned to the reference position RP by the part 6D. As a result, the subsequent subject 100 can be allowed to enter between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 of the inspection unit 3 disposed at the reference position RP. Therefore, even if the position of the inspection unit 3 when the subject 100 escapes is shifted from the reference position RP, a plurality of subjects 100 can be passed through the inspection unit 3 in succession.

〔제3 실시 형태〕[Third Embodiment]

다음으로, 도 7을 참조하여 본 개시의 제3 실시 형태에 대하여 설명한다. 제3 실시 형태에 있어서는, 제1, 제2 실시 형태와 마찬가지의 구성 요소에 대하여 동일 부호를 붙이거나 하여, 그 설명을 생략한다.Next, a third embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIG. 7. In the third embodiment, the same components as those in the first and second embodiments are given the same reference numerals and their descriptions are omitted.

도 7에 도시한 바와 같이, 제3 실시 형태의 초음파 검사 장치(1E)는 제1 실시 형태와 마찬가지로, 베이스(2)와, 검사 유닛(3)과, 가동 유닛(5)을 구비한다. 또한, 제3 실시 형태의 초음파 검사 장치(1E)는 제2 실시 형태와 마찬가지로, 검사 유닛(3)을 X축 방향(배열 방향)에 있어서의 기준 위치(RP)로 복귀시키는 복귀부(6E)를 더 구비한다.As shown in Fig. 7, the ultrasonic inspection device 1E of the third embodiment includes a base 2, an inspection unit 3, and a movable unit 5, similar to the first embodiment. Additionally, like the second embodiment, the ultrasonic inspection device 1E of the third embodiment includes a return portion 6E that returns the inspection unit 3 to the reference position RP in the X-axis direction (arrangement direction). It is further provided with

단, 제3 실시 형태의 복귀부(6E)는 베이스(2)와 검사 유닛(3) 사이에 마련된 탄성체(41E)이다. 탄성체(41E)는 베이스(2)에 대한 검사 유닛(3)의 X축 방향으로의 이동에 따라서 탄성적으로 신축한다. 검사 유닛(3)에 작용하는 탄성체(41E)의 탄성력(복귀부(6E)의 힘)의 크기는, 피검체(100)가 그 탄성력에 저항하여 검사 유닛(3)을 X축 방향으로 누르는 힘보다도 작은 것이 바람직하다. 도 7에 예시하는 탄성체(41E)는 스프링이지만, 예를 들어 고무 등이어도 된다. 도 7에 예시한 바와 같이 복귀부(6E)를 구성하는 탄성체(41E)가 하나인 경우, 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)에 배치된 상태에서는, 검사 유닛(3)에는 탄성체(41E)의 탄성력이 작용하지 않는다. 도 7에 있어서의 검사 유닛(3)의 기준 위치(RP)는, 가동 유닛(5)에 의한 검사 유닛(3)의 이동 범위의 단부의 위치이다. 그러나, 기준 위치(RP)는, 도 7에 도시한 예에 한정되지 않고, 예를 들어 검사 유닛(3)의 이동 범위의 중간이어도 된다.However, the return portion 6E of the third embodiment is an elastic body 41E provided between the base 2 and the inspection unit 3. The elastic body 41E elastically expands and contracts according to the movement of the inspection unit 3 relative to the base 2 in the X-axis direction. The magnitude of the elastic force (force of the return portion 6E) of the elastic body 41E acting on the inspection unit 3 is the force with which the subject 100 resists the elastic force and presses the inspection unit 3 in the X-axis direction. A smaller one is preferable. The elastic body 41E illustrated in FIG. 7 is a spring, but may be, for example, rubber or the like. As illustrated in FIG. 7, when there is only one elastic body 41E constituting the return portion 6E, when the inspection unit 3 is disposed at the reference position RP, the inspection unit 3 includes the elastic body 41E. )'s elastic force does not act. The reference position RP of the inspection unit 3 in FIG. 7 is the position of the end of the range of movement of the inspection unit 3 by the movable unit 5. However, the reference position RP is not limited to the example shown in FIG. 7 and may be, for example, the middle of the movement range of the inspection unit 3.

제3 실시 형태의 초음파 검사 장치(1E)에서는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 피검체(100)가 검사 유닛(3)의 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과할 때에, X축 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치 변화에 추종하도록 검사 유닛(3)이 베이스(2)에 대하여 X축 방향으로 이동한다. 그 후, 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 빠져나갔을 때에, 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)로부터 이격되어 위치하는 경우에는, 검사 유닛(3)이 탄성체(41E)의 탄성력에 의해 기준 위치(RP)로 복귀한다.In the ultrasonic inspection device 1E of the third embodiment, as in the first embodiment, when the subject 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 of the inspection unit 3, the X-axis direction The inspection unit 3 moves in the X-axis direction with respect to the base 2 to follow the change in position of the subject 100 in . Thereafter, when the subject 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12, and the inspection unit 3 is positioned away from the reference position RP, the inspection unit 3 is made of an elastic body. It returns to the reference position (RP) by the elastic force of (41E).

제3 실시 형태의 초음파 검사 장치(1E)에 의하면, 제2 실시 형태와 마찬가지의 효과를 발휘한다.According to the ultrasonic inspection device 1E of the third embodiment, the same effect as that of the second embodiment is achieved.

〔제4 실시 형태〕[Fourth Embodiment]

다음으로, 도 8을 참조하여 본 개시의 제4 실시 형태에 대하여 설명한다. 제4 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태와 마찬가지의 구성 요소에 대하여 동일 부호를 붙이거나 하여, 그 설명을 생략한다.Next, a fourth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIG. 8. In the fourth embodiment, the same components as those in the first embodiment are given the same reference numerals and their description is omitted.

도 8에 도시한 바와 같이, 제4 실시 형태의 초음파 검사 장치(1F)는 제1 실시 형태와 마찬가지로, 베이스(2)와, 검사 유닛(3)과, 가동 유닛(5)을 구비한다. 제4 실시 형태의 초음파 검사 장치(1F)는 보유 지지부(7F)를 더 구비한다. 보유 지지부(7F)는 검사 유닛(3)을 X축 방향(배열 방향)에 있어서의 기준 위치(RP)에 보유 지지한다.As shown in Fig. 8, the ultrasonic inspection device 1F of the fourth embodiment includes a base 2, an inspection unit 3, and a movable unit 5, similar to the first embodiment. The ultrasonic inspection device 1F of the fourth embodiment further includes a holding portion 7F. The holding portion 7F holds the inspection unit 3 at the reference position RP in the X-axis direction (arrangement direction).

본 실시 형태의 보유 지지부(7F)는 베이스(2) 및 검사 유닛(3)에 마련된 한 쌍의 자석(51F, 52F)에 의해 구성되어 있다. 한 쌍의 자석(51F, 52F)에는, 베이스(2)에 고정된 베이스측 자석(51F)과, 검사 유닛(3)에 고정된 유닛측 자석(52F)이 있다.The holding portion 7F of this embodiment is comprised of a pair of magnets 51F and 52F provided on the base 2 and the inspection unit 3. The pair of magnets 51F and 52F includes a base side magnet 51F fixed to the base 2 and a unit side magnet 52F fixed to the inspection unit 3.

한 쌍의 자석(51F, 52F)은 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)에 배치된 상태에 있어서, 서로 가장 가까이에 위치하도록, 즉 한 쌍의 자석(51F, 52F) 사이에 작용하는 자력(인력)이 가장 커지도록 배치되어 있다. 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)에 배치되었을 때에 한 쌍의 자석(51F, 52F) 사이에 작용하는 자력(인력)의 크기는, 피검체(100)가 그 자력에 저항하여 검사 유닛(3)을 X축 방향으로 누르는 힘보다도 작은 것이 바람직하다.The pair of magnets 51F and 52F are positioned closest to each other when the inspection unit 3 is placed at the reference position RP, that is, the magnetic force acting between the pair of magnets 51F and 52F It is arranged so that (manpower) is maximized. When the inspection unit 3 is placed at the reference position RP, the magnitude of the magnetic force (attractive force) acting between the pair of magnets 51F and 52F is such that the subject 100 resists the magnetic force and the inspection unit ( It is preferable that the force pressing 3) in the X-axis direction is smaller.

한 쌍의 자석(51F, 52F)은 기준 위치(RP)에 배치된 검사 유닛(3)의 본체 부분(송신부(11) 및 수신부(12)를 포함하는 부분)에 대하여 X축 방향의 일방측에 배치되어 있다. 구체적으로, 베이스측 자석(51F)은 베이스(2) 중 기준 위치(RP)에 배치된 검사 유닛(3)의 본체 부분의 X축 정방향측(우측)에 위치하는 부분에 고정되어 있다. 유닛측 자석(52F)은 검사 유닛(3)의 고정부(13) 중 수신부(12)보다도 X축 정방향측으로 연장되는 부분에 고정되어 있다.A pair of magnets 51F and 52F is positioned on one side of the It is placed. Specifically, the base magnet 51F is fixed to a portion of the base 2 located on the positive X-axis direction side (right) of the main body portion of the inspection unit 3 disposed at the reference position RP. The unit side magnet 52F is fixed to a portion of the fixing portion 13 of the inspection unit 3 that extends in the positive X-axis direction rather than the receiving portion 12.

도 8에 있어서의 검사 유닛(3)의 기준 위치(RP)는, 가동 유닛(5)에 의한 검사 유닛(3)의 이동 범위의 단부의 위치이다.The reference position RP of the inspection unit 3 in FIG. 8 is the position of the end of the range of movement of the inspection unit 3 by the movable unit 5.

제4 실시 형태의 초음파 검사 장치(1F)에 있어서, 도 8에 도시한 바와 같이 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)에 배치된 상태에서는, 한 쌍의 자석(51F, 52F) 사이에 작용하는 자력에 의해 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)에 보유 지지된다. 단, 피검체(100)가 검사 유닛(3)의 송신부(11)와 수신부(12) 사이를 통과할 때에 X축 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치가 변화하면, 검사 유닛(3)은 피검체(100)에 의해 X축 방향으로 눌려서 피검체(100)의 위치 변화에 추종하도록 베이스(2)에 대하여 X축 방향으로 이동한다.In the ultrasonic inspection device 1F of the fourth embodiment, when the inspection unit 3 is disposed at the reference position RP as shown in FIG. 8, an action occurs between the pair of magnets 51F and 52F. The inspection unit 3 is held at the reference position RP by the magnetic force. However, when the subject 100 passes between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 of the inspection unit 3, if the position of the subject 100 in the X-axis direction changes, the inspection unit 3 is pressed in the X-axis direction by the subject 100 and moves in the X-axis direction with respect to the base 2 to follow the change in position of the subject 100.

제4 실시 형태의 초음파 검사 장치(1F)에 의하면, 제1 실시 형태와 마찬가지의 효과를 발휘한다.According to the ultrasonic inspection device 1F of the fourth embodiment, the same effect as that of the first embodiment is achieved.

또한, 제4 실시 형태의 초음파 검사 장치(1F)는 검사 유닛(3)을 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향(X축 방향)에 있어서의 기준 위치(RP)에 보유 지지하는 보유 지지부(7F)를 구비한다. 이에 의해, 예기치 못한 외력(예를 들어 진동)에 의해 검사 유닛(3)이 기준 위치(RP)로부터 어긋나버리는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 검사 유닛(3)의 의도치 않은 위치 어긋남에 기인하여 피검체(100)가 송신부(11)와 수신부(12) 사이에 진입할 수 없게 되는 것을 억제할 수 있다.In addition, the ultrasonic inspection device 1F of the fourth embodiment holds the inspection unit 3 at the reference position RP in the arrangement direction (X-axis direction) of the transmitter 11 and the receiver 12. It is provided with a support part (7F). Thereby, it is possible to prevent the inspection unit 3 from being displaced from the reference position RP due to unexpected external force (for example, vibration). As a result, it is possible to prevent the subject 100 from being unable to enter between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 due to unintentional displacement of the inspection unit 3.

제4 실시 형태에 있어서는, 예를 들어 보유 지지부가 복수의 기준 위치의 각각에 있어서 검사 유닛(3)을 보유 지지하도록 구성되어도 된다. 도 9에 예시하는, 초음파 검사 장치(1G)에 있어서, 보유 지지부(7G)는 X축 방향(배열 방향)에 있어서 서로 이격되어 위치하는 2개의 기준 위치에 있어서 검사 유닛(3)을 보유 지지하도록 구성되어 있다. 도 9에 예시하는 보유 지지부(7G)는 한 쌍의 자석(51F, 52F)으로 이루어지는 자석 유닛(50G1, 50G2)을 2조 구비하고 있다. 한 쌍의 자석 유닛(50G1, 50G2)은 제1 자석 유닛(50G1)과 제2 자석 유닛(50G2)이다. 2조의 자석 유닛(50G1, 50G2)은 X축 방향에 있어서 검사 유닛(3)의 양측에 마련되어 있다.In the fourth embodiment, for example, the holding portion may be configured to hold the inspection unit 3 at each of a plurality of reference positions. In the ultrasonic inspection device 1G illustrated in FIG. 9, the holding portion 7G is configured to hold the inspection unit 3 at two reference positions spaced apart from each other in the X-axis direction (arrangement direction). Consists of. The holding portion 7G illustrated in FIG. 9 is provided with two sets of magnet units 50G1 and 50G2 composed of a pair of magnets 51F and 52F. The pair of magnet units 50G1 and 50G2 is a first magnet unit 50G1 and a second magnet unit 50G2. Two sets of magnet units 50G1 and 50G2 are provided on both sides of the inspection unit 3 in the X-axis direction.

제1 자석 유닛(50G1)을 구성하는 한 쌍의 자석(51F, 52F)은 검사 유닛(3)이 2개의 기준 위치 중 제1 기준 위치(RP1)에 배치된 상태에서, 서로 가장 가까이에 위치한다. 이에 의해, 검사 유닛(3)이 제1 기준 위치(RP1)에 배치된 상태에서는, 제1 자석 유닛(50G1)의 한 쌍의 자석(51F, 52F) 사이에 작용하는 자력(인력)에 의해, 검사 유닛(3)이 제1 기준 위치(RP1)에 보유 지지된다. 검사 유닛(3)이 제1 기준 위치(RP1)에 배치된 상태에 있어서, 제2 자석 유닛(50G2)를 구성하는 한 쌍의 자석(51F, 52F)은 X축 방향에 있어서 서로 이격되어 위치한다. 이 때문에, 제2 자석 유닛(50G2)의 한 쌍의 자석(51F, 52F) 사이에 작용하는 자력(인력)에 의해, 검사 유닛(3)이 제1 기준 위치(RP1)로부터 움직이는 일은 없다.The pair of magnets 51F and 52F constituting the first magnet unit 50G1 are located closest to each other with the inspection unit 3 disposed at the first reference position RP1 among the two reference positions. . Accordingly, when the inspection unit 3 is disposed at the first reference position RP1, the magnetic force (attractive force) acting between the pair of magnets 51F and 52F of the first magnet unit 50G1, The inspection unit 3 is held at the first reference position RP1. With the inspection unit 3 disposed at the first reference position RP1, the pair of magnets 51F and 52F constituting the second magnet unit 50G2 are positioned spaced apart from each other in the X-axis direction. . For this reason, the inspection unit 3 does not move from the first reference position RP1 due to the magnetic force (attractive force) acting between the pair of magnets 51F and 52F of the second magnet unit 50G2.

검사 유닛(3)이 제2 기준 위치에 배치된 상태에서는, 제2 자석 유닛(50G2)의 한 쌍의 자석(51F, 52F)이 서로 가장 가까이에 위치한다. 이에 의해, 검사 유닛(3)이 제2 기준 위치에 배치된 상태에서는, 제2 자석 유닛(50G2)의 한 쌍의 자석(51F, 52F) 사이에 작용하는 자력(인력)에 의해, 검사 유닛(3)이 제2 기준 위치에 보유 지지된다. 검사 유닛(3)이 제2 기준 위치에 배치된 상태에서는, 제1 자석 유닛(50G1)의 한 쌍의 자석(51F, 52F) 사이에 작용하는 자력(인력)에 의해, 검사 유닛(3)이 제2 기준 위치로부터 움직이는 일은 없다.With the inspection unit 3 disposed at the second reference position, the pair of magnets 51F and 52F of the second magnet unit 50G2 are located closest to each other. Accordingly, when the inspection unit 3 is disposed at the second reference position, the inspection unit (attractive force) acts between the pair of magnets 51F and 52F of the second magnet unit 50G2. 3) It is held and supported in the second reference position. In a state where the inspection unit 3 is disposed at the second reference position, the inspection unit 3 is There is no movement from the second reference position.

제4 실시 형태의 초음파 검사 장치는, 예를 들어 제2, 제3 실시 형태와 마찬가지의 복귀부(6D, 6E)를 구비해도 된다. 이 경우, 복귀부(6D, 6E)에 의한 검사 유닛(3)의 기준 위치와, 보유 지지부(7F, 7G)에 의한 검사 유닛(3)의 기준 위치는, 예를 들어 서로 일치하고 있어도 되고, 도 10에 예시한 바와 같이 서로 다르게 되어 있어도 된다.The ultrasonic inspection device of the fourth embodiment may be provided with return portions 6D and 6E similar to those of the second and third embodiments, for example. In this case, the reference position of the inspection unit 3 by the return portions 6D and 6E and the reference position of the inspection unit 3 by the holding portions 7F and 7G may coincide with each other, for example, As illustrated in FIG. 10, they may be different from each other.

도 10에 예시하는, 초음파 검사 장치(1H)는 도 6에 예시한 제2 실시 형태의 복귀부(6D)(경사진 레일(31)) 및 도 8에 예시한 제4 실시 형태의 보유 지지부(7F)(한 쌍의 자석(51F, 52F))를 구비하고 있다. 복귀부(6D)에 의한 검사 유닛(3)의 기준 위치(RP1)(제1 기준 위치(RP1))는 검사 유닛(3)의 이동 범위에 있어서 가장 하방(Z축 부방향)의 위치이다. 보유 지지부(7F)에 의한 검사 유닛(3)의 기준 위치(제2 기준 위치)는 제1 기준 위치(RP1)보다도 상방(Z축 정방향)의 위치이다.The ultrasonic inspection device 1H illustrated in FIG. 10 includes a return portion 6D (inclined rail 31) of the second embodiment illustrated in FIG. 6 and a holding portion (slanted rail 31) of the fourth embodiment illustrated in FIG. 8. 7F) (equipped with a pair of magnets (51F, 52F)). The reference position RP1 (first reference position RP1) of the inspection unit 3 by the return portion 6D is the lowest position (in the negative Z-axis direction) in the movement range of the inspection unit 3. The reference position (second reference position) of the inspection unit 3 by the holding portion 7F is a position above (positive Z-axis direction) than the first reference position RP1.

제4 실시 형태에 있어서, 보유 지지부(7F, 7G)는 한 쌍의 자석(51F, 52F)으로 구성되는 것으로 한정되지는 않는다. 보유 지지부(7F, 7G)는 예를 들어 베이스(2) 및 검사 유닛(3)의 한쪽에 마련된 자석과, 다른 쪽에 마련된 자성체(예를 들어 철 등)에 의해 구성되어도 된다.In the fourth embodiment, the holding portions 7F and 7G are not limited to being comprised of a pair of magnets 51F and 52F. The holding portions 7F and 7G may be composed of, for example, a magnet provided on one side of the base 2 and the inspection unit 3, and a magnetic material (e.g., iron, etc.) provided on the other side.

제1 내지 제4 실시 형태에 있어서, 송신부(11)의 송신면(11a)은 예를 들어 송신면(11a)으로부터 송신된 초음파(W)가 Y축 방향에서만 수렴하도록, 즉 Z축 방향으로 연장되는 선 형상으로 수렴하도록 형성되어도 된다.In the first to fourth embodiments, the transmission surface 11a of the transmission unit 11 extends, for example, in the Z-axis direction so that the ultrasonic waves W transmitted from the transmission surface 11a converge only in the Y-axis direction. It may be formed to converge into a line shape.

또한, 송신부(11)의 송신면(11a)은 송신면(11a)으로부터 송신된 초음파(W)가 수렴하지 않도록 형성되어도 된다. 이 경우, 송신부(11)의 송신면(11a)이나 수신부(12)의 수신면(12a)은 예를 들어 도 11에 도시한 바와 같이 평탄면에 형성되어도 된다.Additionally, the transmission surface 11a of the transmission unit 11 may be formed so that the ultrasonic waves W transmitted from the transmission surface 11a do not converge. In this case, the transmission surface 11a of the transmission unit 11 and the reception surface 12a of the reception unit 12 may be formed on a flat surface, for example, as shown in FIG. 11.

제1 내지 제4 실시 형태에 있어서, 안내부(21, 22)는 예를 들어 규제부(25, 26)를 겸용하지 않아도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 도 11에 도시한 바와 같이, 안내부(21, 22)가 송신부(11)나 수신부(12)에 대하여 피검체(100)의 통과 방향의 후방측(Y축 부방향측)에 마련되어도 된다. 도 11에 예시하는 안내부(21, 22)는 송신부(11) 및 수신부(12)의 양쪽에 마련되어 있다. 이들 2개의 안내부(21, 22)는 Y축 부방향측을 향하는 안내면(21a, 22a)을 갖고 있다. 이들 2개의 안내면(21a, 22a)은 이들의 간격이 Y축 부방향측을 향함에 따라서 넓어지도록 형성되어 있다.In the first to fourth embodiments, the guide portions 21 and 22 do not need to serve as the regulating portions 25 and 26, for example. In this case, for example, as shown in FIG. 11, the guide units 21 and 22 are located on the rear side of the passage direction of the object 100 (in the Y-axis negative direction) with respect to the transmitter 11 or the receiver 12. side) may be provided. The guide units 21 and 22 illustrated in FIG. 11 are provided on both sides of the transmitter 11 and the receiver 12. These two guide portions 21 and 22 have guide surfaces 21a and 22a facing toward the negative Y-axis direction. These two guide surfaces 21a and 22a are formed so that the gap between them widens toward the negative Y-axis direction.

제1 내지 제4 실시 형태에 있어서, 검사 유닛(3)의 접촉부(15)는 예를 들어 송신부(11) 및 수신부(12)여도 된다. 즉, 피검체(100)가 접촉부(15)로서 기능하는 송신부(11)나 수신부(12)에 접촉함으로써, 검사 유닛(3)에 배열 방향으로의 힘이 부여되어도 된다.In the first to fourth embodiments, the contact portion 15 of the inspection unit 3 may be, for example, the transmitting portion 11 and the receiving portion 12. That is, when the subject 100 touches the transmitting unit 11 or the receiving unit 12 functioning as the contact unit 15, a force in the arrangement direction may be applied to the inspection unit 3.

제1 내지 제4 실시 형태에 있어서, 추종 기구로서 기능하는 가동 유닛(5) 및 접촉부(15)(추종 기구)는 검사 유닛(3)(검사부)에 대하여 피검체(100)가 통과하는 방향(예를 들어 Y축 방향)에 직교하는 직교 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치 변화에 따라서, 검사 유닛(3)을 그 직교 방향으로 이동시키도록 구성되어도 된다. 즉, 제1 내지 제4 실시 형태에 있어서, 가동 유닛(5) 및 접촉부(15)는, 예를 들어 상기한 피검체(100)의 위치 변화에 따라서, 피검체(100)가 통과하는 방향(예를 들어 Y축 방향) 및 송신부(11) 및 수신부(12)의 배열 방향(예를 들어 X축 방향)에 직교하는 방향(예를 들어 Z축 방향)으로, 검사 유닛(3)을 이동시키도록 구성되어도 된다.In the first to fourth embodiments, the movable unit 5 and the contact portion 15 (following mechanism) functioning as a tracking mechanism are directed to the direction in which the subject 100 passes with respect to the inspection unit 3 (inspection section) ( For example, the inspection unit 3 may be configured to move in the orthogonal direction in accordance with a change in the position of the subject 100 in the orthogonal direction (for example, the Y-axis direction). That is, in the first to fourth embodiments, the movable unit 5 and the contact portion 15 move in the direction through which the object 100 passes, for example, according to a change in the position of the object 100 described above ( For example, the inspection unit 3 is moved in a direction (for example, Z-axis direction) orthogonal to the arrangement direction (for example, X-axis direction) of the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 (Y-axis direction). It may be configured as follows.

제1 내지 제4 실시 형태에 있어서, 송신부(11)와 수신부(12) 사이(검사부)를 통과하는 반송체는, 피검체(100)에 한정되지 않고, 예를 들어 반송 장치에 의해 피검체(100)와 함께 반송되는 것이어도 된다. 피검체(100)와 함께 반송되는 것은, 예를 들어 피검체(100)를 보유 지지하는 기구, 피검체(100)를 반송하기 위한 기구의 구성 부품 등이어도 된다.In the first to fourth embodiments, the conveyed object passing between the transmitting unit 11 and the receiving unit 12 (inspection unit) is not limited to the subject 100, but is, for example, inspected by a conveying device ( 100) may also be returned. What is transported together with the subject 100 may be, for example, a mechanism for holding and supporting the subject 100, a component part of a mechanism for transporting the subject 100, etc.

〔과제〕〔assignment〕

본 개시는, 송신부와 수신부 사이에 있어서의 피검체 등의 반송체의 반송 양태에 관계없이, 회절파의 발생을 억제할 수 있는 초음파 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of the present disclosure is to provide an ultrasonic inspection device that can suppress the generation of diffraction waves regardless of the mode of transport of a carrier such as an object between a transmitter and a receiver.

〔효과〕〔effect〕

본 개시에 의하면, 송신부와 수신부 사이에 있어서의 반송체의 반송 양태에 관계없이, 회절파의 발생을 억제할 수 있다.According to the present disclosure, generation of diffraction waves can be suppressed regardless of the transport mode of the carrier between the transmitting unit and the receiving unit.

〔제5 실시 형태〕[Fifth Embodiment]

다음으로, 도 12 내지 15를 참조하여 본 개시의 제5 실시 형태에 대하여 설명한다. 제5 실시 형태에 있어서는, 제1 실시 형태와 마찬가지의 구성 요소에 대하여 동일 부호를 붙이거나 하여, 그 설명을 생략한다.Next, a fifth embodiment of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 12 to 15. In the fifth embodiment, the same components as those in the first embodiment are given the same reference numerals and their description is omitted.

도 12에 도시한 바와 같이, 제5 실시 형태의 초음파 검사 장치(1J)는 제1 실시 형태와 마찬가지로, 피검체(100)가 통과함으로써 피검체(100)의 내부 상태(내부의 결함)를 검사하는 검사 유닛(3)(검사부)과, 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 이동 궤적에 추종시키는 추종 기구(9J)를 구비한다. 검사 유닛(3)의 구성은 제1 실시 형태와 마찬가지이다. 또한, 검사 유닛(3)의 구성은, 예를 들어 제1 실시 형태의 구성과 마찬가지의 구성인 것으로 한정되지 않고, 도 11 등에서 예시한 구성과 마찬가지의 구성이어도 된다.As shown in FIG. 12, like the first embodiment, the ultrasonic inspection device 1J of the fifth embodiment inspects the internal state (internal defect) of the subject 100 as the subject 100 passes through it. It is provided with an inspection unit 3 (inspection section) and a tracking mechanism 9J that causes the inspection unit 3 to follow the movement trajectory of the subject 100. The configuration of the inspection unit 3 is the same as that of the first embodiment. In addition, the configuration of the inspection unit 3 is not limited to, for example, the same configuration as that of the first embodiment, and may be the same as the configuration illustrated in FIG. 11 and the like.

제5 실시 형태의 추종 기구(9J)는 제1 실시 형태와 마찬가지로, 검사 유닛(3)을 피검체(100) 중 검사 유닛(3)에 의해 검사되는 검사 대상 부위의 이동 궤적에 추종시키도록 구성되어 있다. 제5 실시 형태의 추종 기구(9J)는 검사 유닛(3)이 피검체(100)에 의해 눌림으로써 피검체(100)의 이동 궤적(위치 변화)에 대하여 수동적으로 추종하는 제1 내지 제4 실시 형태와 달리, 피검체(100)의 이동 궤적에 대하여 능동적으로 추종하도록 구성되어 있다.Like the first embodiment, the tracking mechanism 9J of the fifth embodiment is configured to cause the inspection unit 3 to follow the movement trajectory of the inspection target portion inspected by the inspection unit 3 among the objects 100. It is done. The following mechanism 9J of the fifth embodiment is the first to fourth embodiments in which the inspection unit 3 passively follows the movement trajectory (position change) of the subject 100 by being pressed by the subject 100. Unlike its shape, it is configured to actively follow the movement trajectory of the subject 100.

추종 기구(9J)는 피검체(100)가 통과하는 방향(예를 들어 Y축 정방향)에 직교하는 직교 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치 변화에 따라서, 검사 유닛(3)을 그 직교 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다. 여기서, 직교 방향이란, 예를 들어 X축 방향이나 Z축 방향이다. 본 실시 형태에 있어서, 추종 기구(9J)는 검사 유닛(3)을 X축 방향 및 Z축 방향의 양쪽으로 이동시킨다. Z축 정방향은, 검사 유닛(3)을 통과하는 피검체(100)가 연장되는 하나의 방향이다. 이 피검체(100)의 연장 방향(Z축 정방향)의 선단 부분인 에지부(103)가 본 실시 형태에 있어서의 피검체(100)의 검사 대상 부위이다. 추종 기구(9J)가 검사 유닛(3)을 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 검사 유닛(3)을 Z축 방향에 있어서의 피검체(100)의 에지부(103)(검사 대상 부위)의 위치 변화에 추종시킬 수 있다.The tracking mechanism 9J moves the inspection unit 3 in an orthogonal direction according to a change in the position of the object 100 in an orthogonal direction orthogonal to the direction through which the object 100 passes (for example, the Y-axis positive direction). It is configured to move in one direction. Here, the orthogonal direction is, for example, the X-axis direction or the Z-axis direction. In this embodiment, the tracking mechanism 9J moves the inspection unit 3 in both the X-axis direction and the Z-axis direction. The Z-axis forward direction is one direction in which the object 100 passing through the inspection unit 3 extends. The edge portion 103, which is the tip portion of the subject 100 in the extension direction (Z-axis positive direction), is the inspection target part of the subject 100 in this embodiment. The tracking mechanism 9J moves the inspection unit 3 in the Z-axis direction, thereby changing the position of the edge portion 103 (part to be inspected) of the subject 100 in the Z-axis direction. can be followed.

본 실시 형태의 추종 기구(9J)는 검사 유닛(3)을 직교 방향(X축 방향 및 Z축 방향)으로 구동하는 구동부(91J)를 구비한다. 구동부(91J)는 검사 유닛(3)을 직교 방향에 소정의 범위에서 왕복 이동시키는 구성이어도 된다. 본 실시 형태의 구동부(91J)는 볼 나사나 리니어 모터 등을 사용한 서보 시스템이다. 구동부(91J)가 서보 시스템임으로써, 검사 유닛(3)을 정확하게 이동시킬 수 있다.The tracking mechanism 9J of this embodiment is provided with a drive unit 91J that drives the inspection unit 3 in orthogonal directions (X-axis direction and Z-axis direction). The drive unit 91J may be configured to reciprocate the inspection unit 3 in a predetermined range in the orthogonal direction. The drive unit 91J of this embodiment is a servo system using a ball screw, linear motor, etc. Since the drive unit 91J is a servo system, the inspection unit 3 can be moved accurately.

도 13 내지 15에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 추종 기구(9J)는 직교 방향(X축 방향 및 Z축 방향)에 있어서의 피검체(100)의 위치를 검출하는 위치 검출 센서(92J)를 더 구비한다. 구체적으로, 위치 검출 센서(92J)는 피검체(100)의 에지부(103)(검사 대상 부위)의 위치를 검출한다.13 to 15, the tracking mechanism 9J of this embodiment includes a position detection sensor 92J that detects the position of the subject 100 in orthogonal directions (X-axis direction and Z-axis direction). It is further provided with Specifically, the position detection sensor 92J detects the position of the edge portion 103 (part to be inspected) of the subject 100.

위치 검출 센서(92J)는 피검체(100)가 검사 유닛(3)을 통과하는 주된 방향(Y축 정방향)을 전방측으로 하여, 검사 유닛(3)의 후방측(검사 유닛(3)에 대하여 피검체(100)가 근접해 오는 측)에 배치되어 있음으로써, 검사 유닛(3)에 도달하기 전의 피검체(100)의 위치를 검출한다. 위치 검출 센서(92J)에, X축 위치 검출 센서(92J1)와, Z축 위치 검출 센서(92J2)를 포함한다. X축 위치 검출 센서(92J1)는, X축 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치를 검출한다. Z축 위치 검출 센서(92J2)는, Z축 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치를 검출한다.The position detection sensor 92J sets the main direction (Y-axis positive direction) in which the subject 100 passes through the inspection unit 3 as the front side, and detects the position on the rear side of the inspection unit 3 (object to the inspection unit 3). By being placed on the side where the specimen 100 is approaching, the position of the specimen 100 before it reaches the inspection unit 3 is detected. The position detection sensor 92J includes an X-axis position detection sensor 92J1 and a Z-axis position detection sensor 92J2. The X-axis position detection sensor 92J1 detects the position of the subject 100 in the X-axis direction. The Z-axis position detection sensor 92J2 detects the position of the subject 100 in the Z-axis direction.

구동부(91J)는 위치 검출 센서(92J)에 의해 검출된 피검체(100)의 위치에 따라서 검사 유닛(3)을 X축 방향 및 Z축 방향으로 구동한다. 예를 들어, 피검체(100)가 X축 방향에 있어서의 기준 위치보다도 X축 정방향측에 위치하고 있는 것을, X축 위치 검출 센서(92J1)가 검출한 경우, 구동부(91J)는 검사 유닛(3)을 X축 정방향으로 구동하여, 기준 위치보다도 X축 정방향측의 소정 위치까지 이동시킨다. 마찬가지로, 예를 들어 피검체(100)가 Z축 방향에 있어서의 기준 위치보다도 Z축 정방향측에 위치하고 있는 것을, Z축 위치 검출 센서(92J2)가 검출한 경우, 구동부(91J)는 검사 유닛(3)을 Z축 정방향으로 구동하여, 기준 위치보다도 Z축 정방향측의 소정 위치까지 이동시킨다.The driving unit 91J drives the inspection unit 3 in the X-axis direction and the Z-axis direction according to the position of the object 100 detected by the position detection sensor 92J. For example, when the X-axis position detection sensor 92J1 detects that the subject 100 is located on the positive X-axis direction side compared to the reference position in the ) is driven in the positive direction of the X-axis and moved to a predetermined position on the positive direction of the X-axis rather than the reference position. Similarly, for example, when the Z-axis position detection sensor 92J2 detects that the subject 100 is located on the positive Z-axis direction side compared to the reference position in the Z-axis direction, the drive unit 91J operates the inspection unit ( 3) is driven in the positive direction of the Z-axis and moved to a predetermined position on the positive direction of the Z-axis rather than the reference position.

제5 실시 형태의 초음파 검사 장치(1J)는 도 13에 도시한 바와 같이, 로터리 반송 장치(200)에 의해 반송되는 피검체(100)를 검사한다. 로터리 반송 장치(200)는, 예를 들어 포장 용기인 피검체(100)를 반송하면서, 피검체(100) 내에 내용물을 충전하고, 피검체(100)의 에지부(103)를 접합하여 내용물을 밀봉하는 로터리 충전기이다. 로터리 반송 장치(200)는 Z축 방향으로 연장되는 회전축선 O1을 중심으로 회전하는 회전 반송대(201)를 갖는다. 회전 반송대(201)는 예를 들어 도 13에 도시한 화살표 D1의 방향으로 회전한다.As shown in FIG. 13, the ultrasonic inspection device 1J of the fifth embodiment inspects the subject 100 transported by the rotary transport device 200. The rotary transfer device 200 transports the subject 100, which is, for example, a packaging container, fills the subject 100 with contents, and joins the edge portion 103 of the subject 100 to transfer the contents. It is a sealed rotary charger. The rotary transport device 200 has a rotary transport table 201 that rotates around the rotation axis O1 extending in the Z-axis direction. The rotation carrier 201 rotates in the direction of arrow D1 shown in FIG. 13, for example.

로터리 반송 장치(200)에 의해 반송되는 피검체(100)의 에지부(103)(검사 대상 부위)는 Z축 방향에서 볼 때 직선형으로 연장되어 있다. 이 피검체(100)는 그 에지부(103)가 회전 반송대(201)에 있어서 회전축선 O1을 중심으로 하는 원형의 회전 궤도(202)의 접선 방향으로 연장되도록, 클램퍼(203)(도 14, 도 15) 참조) 등에 의해 회전 반송대(201)에 설치된다. 피검체(100)는 에지부(103)의 긴 쪽 방향의 중간 부분이 회전 궤도(202)에 접하도록 회전 반송대(201)에 설치되어도 된다. 본 실시 형태에 있어서, 피검체(100)는 에지부(103)의 긴 쪽 방향의 단부가 회전 궤도(202)에 접하도록 회전 반송대(201)에 설치된다.The edge portion 103 (part to be inspected) of the subject 100 transported by the rotary transport device 200 extends in a straight line when viewed in the Z-axis direction. This subject 100 is mounted on the clamper 203 (FIG. 14, (see FIG. 15)) is installed on the rotating conveyor 201. The subject 100 may be installed on the rotation carrier 201 so that the middle portion of the edge portion 103 in the longitudinal direction is in contact with the rotation orbit 202. In this embodiment, the subject 100 is installed on the rotation carrier 201 so that the longitudinal end of the edge portion 103 is in contact with the rotation orbit 202.

회전 반송대(201)에는, 하나의 피검체(100)만이 설치되어도 되지만, 본 실시 형태에서는 복수의 피검체(100)가 회전 반송대(201)의 둘레 방향으로 나란히 설치된다. 회전 반송대(201)에 대한 피검체(100)의 설치 방법은, 복수의 피검체(100) 사이에서 동일해도 되고, 다르게 되어 있어도 된다.Although only one test object 100 may be installed on the rotary transport table 201, in this embodiment, a plurality of test objects 100 are installed side by side in the circumferential direction of the rotary transport table 201. The method of attaching the test object 100 to the rotating conveyor 201 may be the same or different among the plurality of test objects 100.

도 13에 도시한 예에서는, 회전 반송대(201)의 둘레 방향으로 인접하는 2개의 피검체(100)의 에지부(103)가 회전 궤도(202)와의 접점으로부터 둘레 방향에 있어서 서로 역방향으로 연장되도록, 2개의 피검체(100)가 회전 반송대(201)에 설치되어 있다. 이 경우에는, 회전 반송대(201)에 대한 피검체(100)의 설치 방법이, 2개의 피검체(100) 사이에서 서로 다르다. 이 때문에, 검사 유닛(3)을 통과하는 피검체(100)의 에지부(103)의 이동 궤적이 2개의 피검체(100) 사이에서 다르다.In the example shown in FIG. 13, the edge portions 103 of the two objects 100 adjacent to each other in the circumferential direction of the rotation carrier 201 extend in opposite directions from each other in the circumferential direction from the point of contact with the rotation orbit 202. , two subjects 100 are installed on the rotating conveyor 201. In this case, the method of installing the object 100 to the rotary carrier 201 is different between the two objects 100. For this reason, the movement trajectory of the edge portion 103 of the object 100 passing through the inspection unit 3 is different between the two objects 100.

회전 반송대(201)의 둘레 방향으로 늘어선 복수의 피검체(100)의 에지부(103)가 회전 궤도(202)와의 접점으로부터 동일한 방향(예를 들어 화살표 D1의 방향)으로 연장되도록, 복수의 피검체(100)가 회전 반송대(201)에 설치되어도 된다. 이 경우에는, 회전 반송대(201)에 대한 피검체(100)의 설치 방법이, 복수의 피검체(100) 사이에서 동일해진다. 이 때문에, 검사 유닛(3)을 통과하는 피검체(100)의 에지부(103)의 이동 궤적이 복수의 피검체(100) 사이에서 동일해진다.The edge portions 103 of the plurality of objects 100 lined up in the circumferential direction of the rotation carrier 201 extend in the same direction (for example, the direction of arrow D1) from the contact point with the rotation orbit 202. The sample 100 may be installed on the rotating conveyor 201. In this case, the method of installing the object 100 to the rotary carrier 201 is the same among the plurality of objects 100. For this reason, the movement trace of the edge portion 103 of the object 100 passing through the inspection unit 3 becomes the same among the plurality of objects 100.

초음파 검사 장치(1J)는 로터리 반송 장치(200)에 의해 반송되는 피검체(100)의 에지부(103)(검사 대상 부위)를 검사한다. 검사 유닛(3)은 회전 반송대(201)의 둘레 방향으로 이동하는 피검체(100)의 에지부(103)가 통과하도록 배치된다. 도 13에 있어서의 Y축 방향(직선 방향)은 피검체(100)의 에지부(103)가 검사 유닛(3)을 통과할 때의 방향을 나타내고 있다. 또한, X축 방향은 회전 반송대(201)의 회전 궤도(202)의 직경 방향에 대응하고, Z축 방향은 회전 반송대(201)의 회전축선 O1이 연장되는 방향에 대응하고 있다.The ultrasonic inspection device 1J inspects the edge portion 103 (part to be inspected) of the subject 100 conveyed by the rotary conveyance device 200. The inspection unit 3 is arranged so that the edge portion 103 of the object 100 moving in the circumferential direction of the rotary carrier 201 passes. The Y-axis direction (straight line direction) in FIG. 13 represents the direction when the edge portion 103 of the object 100 passes through the inspection unit 3. In addition, the

상기한 상태에서, 피검체(100)를 로터리 반송 장치(200)에 의해 반송시키면, 피검체(100)의 단부가 검사 유닛(3)에 있어서 통과하는 위치가 직경 방향(X축 방향)으로 변화한다. 본 실시 형태의 초음파 검사 장치(1J)에서는, X축 위치 검출 센서(92J1)에 의해 피검체(100)의 에지부(103)의 X축 방향의 위치 변화를 검출한다. 그리고, 구동부(91J)가 X축 위치 검출 센서(92J1)에 의해 검출된 피검체(100)의 에지부(103)의 위치에 따라서 검사 유닛(3)을 X축 방향으로 이동시킴으로써, 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 에지부(103)의 이동 궤적에 추종시킨다. 이에 의해, 피검체(100)의 에지부(103)를 검사 유닛(3)에 대하여 올바르게 통과시켜, 검사 유닛(3)에 의해 올바르게 검사할 수 있다.In the above-described state, when the subject 100 is transported by the rotary transfer device 200, the position where the end of the subject 100 passes in the inspection unit 3 changes in the radial direction (X-axis direction). do. In the ultrasonic inspection device 1J of this embodiment, a change in the position of the edge portion 103 of the subject 100 in the X-axis direction is detected by the X-axis position detection sensor 92J1. Then, the drive unit 91J moves the inspection unit 3 in the X-axis direction according to the position of the edge portion 103 of the object 100 detected by the 3) is made to follow the movement trajectory of the edge portion 103 of the subject 100. As a result, the edge portion 103 of the object 100 can be correctly passed through the inspection unit 3 and inspected correctly by the inspection unit 3.

또한, 피검체(100)를 로터리 반송 장치(200)에 의해 반송시켜서 주로 Y축 방향으로 검사 유닛(3)에 통과시킬 때에, 예를 들어 도 14에 도시한 바와 같이 피검체(100)가 Z축 정방향으로도 이동하는 경우, 초음파 검사 장치(1J)에서는, Z축 위치 검출 센서(92J2)에 의해 피검체(100)의 에지부(103)의 Z축 방향의 위치 변화를 검출한다. 그리고, 구동부(91J)가 Z축 위치 검출 센서(92J2)에 의해 검출된 피검체(100)의 에지부(103)의 위치에 따라서 검사 유닛(3)을 Z축 정방향으로 이동시킴으로써, 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 에지부(103)의 이동 궤적에 추종시킨다. 이에 의해, 피검체(100)의 에지부(103)를 검사 유닛(3)에 대하여 올바르게 통과시켜, 검사 유닛(3)에 의해 올바르게 검사할 수 있다. 또한, 피검체(100)가 Z축 부방향으로도 이동하는 경우에도, 마찬가지로 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 에지부(103)의 이동 궤적에 추종시킬 수 있다.In addition, when the subject 100 is transported by the rotary transfer device 200 and passed through the inspection unit 3 mainly in the Y-axis direction, for example, as shown in FIG. 14, the subject 100 moves to Z When moving also in the positive axis direction, the ultrasonic inspection apparatus 1J detects a change in the position of the edge portion 103 of the subject 100 in the Z-axis direction using the Z-axis position detection sensor 92J2. Then, the drive unit 91J moves the inspection unit 3 in the positive Z-axis direction according to the position of the edge portion 103 of the object 100 detected by the Z-axis position detection sensor 92J2, so that the inspection unit ( 3) is made to follow the movement trajectory of the edge portion 103 of the subject 100. As a result, the edge portion 103 of the object 100 can be correctly passed through the inspection unit 3 and inspected correctly by the inspection unit 3. Additionally, even when the subject 100 moves in the negative Z-axis direction, the inspection unit 3 can similarly follow the movement trajectory of the edge portion 103 of the subject 100.

또한, 도 15에 예시한 바와 같이 피검체(100)의 자세가 올바르지 않은 상태에서, 피검체(100)를 로터리 반송 장치(200)에 의해 반송시켜서 주로 Y축 방향으로 검사 유닛(3)에 통과시킬 때에도, Z축 위치 검출 센서(92J2) 및 구동부(91J)에 의해, 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 에지부(103)의 이동 궤적에 추종시킬 수 있다. 도 15에 있어서는, 검사 대상 부위인 피검체(100)의 에지부(103)가 Y축 방향(로터리 반송 장치(200)에 의한 피검체(100)의 반송 방향)에 대하여 경사져 있다. 즉, 도 15에 있어서, 검사 유닛(3)은 피검체(100)가 Y축 정방향으로 검사 유닛(3)을 통과할 때에, 점차 Z축 정방향으로 이동함으로써 경사지는 에지부(103)의 이동 궤적을 추종한다.In addition, as illustrated in FIG. 15 , when the posture of the subject 100 is incorrect, the subject 100 is transported by the rotary transfer device 200 and passes through the inspection unit 3 mainly in the Y-axis direction. Even when doing so, the inspection unit 3 can be made to follow the movement trace of the edge portion 103 of the subject 100 by the Z-axis position detection sensor 92J2 and the drive unit 91J. In Fig. 15, the edge portion 103 of the subject 100, which is the inspection target area, is inclined with respect to the Y-axis direction (the direction in which the subject 100 is transported by the rotary transfer device 200). That is, in FIG. 15, when the test object 100 passes through the inspection unit 3 in the positive Y-axis direction, the inspection unit 3 gradually moves in the positive Z-axis direction, thereby showing the movement trajectory of the inclined edge portion 103. Follow .

제5 실시 형태의 초음파 검사 장치(1J)에 의하면, 제1 실시 형태와 마찬가지의 효과를 발휘한다.According to the ultrasonic inspection device 1J of the fifth embodiment, the same effect as that of the first embodiment is achieved.

즉, 검사 유닛(3)이 추종 기구(9J)에 의해 피검체(100)의 이동 궤적에 추종하기 때문에, 검사 유닛(3)에 대한 피검체(100)의 위치 변화를 억제할 수 있다. 따라서, 검사 유닛(3)에 의해 피검체(100)의 내부 상태를 올바르게 검사하는 것이 가능해진다. 또한, 추종 기구(9J)가 피검체(100)의 직교 방향(X축 방향, Z축 방향)으로의 위치 변화에 따라서 검사 유닛(3)을 직교 방향으로 이동시킴으로써, 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 이동 궤적에 추종시킬 수 있다.That is, since the inspection unit 3 follows the movement trajectory of the subject 100 under examination by the tracking mechanism 9J, a change in the position of the subject 100 with respect to the inspection unit 3 can be suppressed. Therefore, it becomes possible to correctly inspect the internal state of the subject 100 by the inspection unit 3. In addition, the tracking mechanism 9J moves the inspection unit 3 in the orthogonal direction according to the change in position of the subject 100 in the orthogonal direction (X-axis direction, Z-axis direction), thereby avoiding the inspection unit 3. The movement trajectory of the specimen 100 can be followed.

또한, 제5 실시 형태의 초음파 검사 장치(1J)에서는, 추종 기구(9J)가 검사 유닛(3)을 직교 방향으로 구동하는 구동부(91J)를 갖는다. 이에 의해, 검사 유닛(3)이 제1 내지 제4 실시 형태와 같이 피검체(100)에 접촉하지 않고도, 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 이동 궤적에 추종시킬 수 있다.Additionally, in the ultrasonic inspection device 1J of the fifth embodiment, the tracking mechanism 9J has a drive unit 91J that drives the inspection unit 3 in the orthogonal direction. As a result, the inspection unit 3 can be made to follow the movement trajectory of the subject 100 without the inspection unit 3 coming into contact with the subject 100 as in the first to fourth embodiments.

또한, 제5 실시 형태의 초음파 검사 장치(1J)에서는, 추종 기구(9J)가 직교 방향에 있어서의 피검체(100)의 위치를 검출하는 위치 검출 센서(92J)를 갖는다. 그리고, 구동부(91J)는 위치 검출 센서(92J)에 의해 검출된 피검체(100)의 위치에 따라서 검사 유닛(3)을 직교 방향으로 구동한다. 이에 의해, 피검체(100)의 이동 궤적에 재현성이 없더라도(피검체(100)의 이동 궤적이 복수의 피검체(100) 사이에 다른 경우라도), 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 이동 궤적에 추종시킬 수 있다.Additionally, in the ultrasonic inspection device 1J of the fifth embodiment, the tracking mechanism 9J has a position detection sensor 92J that detects the position of the subject 100 in the orthogonal direction. Then, the drive unit 91J drives the inspection unit 3 in the orthogonal direction according to the position of the object 100 detected by the position detection sensor 92J. As a result, even if there is no reproducibility in the movement trace of the subject 100 (even if the movement trajectory of the subject 100 is different between the plurality of subjects 100), the inspection unit 3 is operated on the subject 100. It can follow the movement trajectory of .

제5 실시 형태에 있어서, 피검체(100)의 이동 궤적에 재현성이 있는 경우, 추종 기구(9J)는 예를 들어 위치 검출 센서(92J)를 구비하지 않아도 된다. 「피검체(100)의 이동 궤적의 재현성이 있다」는 것은, 피검체(100)가 검사 유닛(3)을 통과하는 이동 궤적(위치 변화)이 복수의 피검체(100) 사이에서 동일하다는 것을 의미한다.In the fifth embodiment, when the movement trace of the subject 100 is reproducible, the tracking mechanism 9J does not need to be provided with the position detection sensor 92J, for example. “There is reproducibility of the movement trace of the subject 100” means that the movement trajectory (position change) of the subject 100 passing through the inspection unit 3 is the same among the plurality of subjects 100. it means.

또한, 피검체(100)의 이동 궤적에 재현성이 있는 경우에는, 추종 기구(9J)의 구동부(91J)로서 예를 들어 캠 기구나 링크 기구가 채용되어도 된다. 캠 기구나 링크 기구는, 서보 시스템과 비교해서 저렴하게 구성할 수 있다는 점에서 유리하다.In addition, when the movement trace of the subject 100 has reproducibility, for example, a cam mechanism or a link mechanism may be employed as the drive unit 91J of the tracking mechanism 9J. The cam mechanism and link mechanism are advantageous in that they can be constructed inexpensively compared to a servo system.

또한, 피검체(100)의 이동 궤적에 재현성이 있는 경우, 구동부(91J)는 예를 들어 피검체(100)를 반송하는 반송기(예를 들어 도 13에 도시한 로터리 반송 장치 (200))로부터 출력되는 피검체(100)의 이동 궤적의 정보(피검체(100)가 검사 유닛(3)을 통과하는 타이밍 등의 정보)에 기초하여, 검사 유닛(3)을 이동시켜도 된다.In addition, when the movement trace of the subject 100 is reproducible, the drive unit 91J may be, for example, a transfer machine that transfers the subject 100 (for example, the rotary transfer device 200 shown in FIG. 13). The inspection unit 3 may be moved based on information on the movement trajectory of the subject 100 (information such as the timing at which the subject 100 passes the inspection unit 3) output from .

제5 실시 형태에 있어서, 추종 기구(9J)는 예를 들어 검사 유닛(3)을 X축 방향 및 Z축 방향의 한쪽만으로 이동시켜도 된다.In the fifth embodiment, the tracking mechanism 9J may, for example, move the inspection unit 3 in only one of the X-axis direction and the Z-axis direction.

제5 실시 형태에 있어서는, 피검체(100)가 검사 유닛(3)에 대하여 Y축 정방향으로 이동함으로써 검사 유닛(3)을 통과하는 것으로 한정하지는 않는다. 예를 들어, 구동부(91J)가 검사 유닛(3)을 Y축 방향(즉 피검체(100)가 통과하는 방향)으로 이동시킴으로써, 피검체(100)가 검사 유닛(3)을 통과해도 된다. 구동부(91J)가 검사 유닛(3)을 Y축 방향으로 이동시키는 구성은, 예를 들어 제1 내지 제4 실시 형태에 적용되어도 된다.In the fifth embodiment, the subject 100 is not limited to passing the inspection unit 3 by moving in the positive Y-axis direction with respect to the inspection unit 3. For example, the drive unit 91J moves the inspection unit 3 in the Y-axis direction (i.e., the direction in which the subject 100 passes), so that the subject 100 may pass through the inspection unit 3. The configuration in which the drive unit 91J moves the inspection unit 3 in the Y-axis direction may be applied to the first to fourth embodiments, for example.

제5 실시 형태의 초음파 검사 장치(1J)는 예를 들어 로터리 반송 장치(200)에 한정되지 않고, 예를 들어 도 16, 도 17에 예시하는 컨베이어형의 반송기(300)나, 도 18에 예시하는 필로포장기(400)에 적용되어도 된다.The ultrasonic inspection device 1J of the fifth embodiment is not limited to the rotary conveying device 200, for example, the conveyor type conveying machine 300 illustrated in FIGS. 16 and 17, or the conveyor type conveying machine 300 illustrated in FIG. 18. It may be applied to the illustrative pillow packaging machine 400.

도 16, 도 17에 예시하는 컨베이어형의 반송기(300)에서는, 포장 용기 등의 피검체(100)를 벨트 컨베이어(301)에 실은 상태에서 직선 방향(Y축 정방향)으로 반송한다. 컨베이어형의 반송기(300)는 피검체(100)의 에지부(103)(검사 대상 부위)의 긴 쪽 방향이 피검체(100)의 반송 방향을 따르도록 피검체(100)를 반송한다.In the conveyor-type transport machine 300 illustrated in FIGS. 16 and 17, the subject 100, such as a packaging container, is transported in a straight line (positive Y-axis direction) while being placed on a belt conveyor 301. The conveyor-type transporter 300 transports the subject 100 so that the longitudinal direction of the edge portion 103 (part to be inspected) of the subject 100 follows the transport direction of the subject 100.

초음파 검사 장치(1J)는 이 컨베이어형의 반송기(300)의 벨트 컨베이어(301)의 폭 방향(Z축 방향)의 단부에 배치된다. 초음파 검사 장치(1J)는 컨베이어형의 반송기(300)에 의해 반송되는 피검체(100) 중, 벨트 컨베이어(301)의 폭 방향의 단부로부터 돌출된 피검체(100)의 에지부(103)(검사 대상 부위)의 내부 상태를 검사한다. 초음파 검사 장치(1J)에서는, 검사 유닛(3)을 피검체(100)의 반송 방향에 직교하는 상하 방향(X축 방향)이나 폭 방향(Z축 방향)으로 이동시킴으로써, 피검체(100)(특히 에지부(103))의 이동 궤적에 추종시킨다. 이에 의해, 컨베이어형의 반송기(300)로 피검체(100)를 반송하면서, 피검체(100)의 에지부(103)의 내부 상태를 올바르게 검사할 수 있다.The ultrasonic inspection device 1J is disposed at an end in the width direction (Z-axis direction) of the belt conveyor 301 of this conveyor-type conveyance machine 300. The ultrasonic inspection device 1J uses an edge portion 103 of the subject 100 that protrudes from the end in the width direction of the belt conveyor 301 among the subjects 100 transported by the conveyor-type transporter 300. Examine the internal condition of (the area to be inspected). In the ultrasonic inspection device 1J, the inspection unit 3 is moved in the vertical direction (X-axis direction) or the width direction (Z-axis direction) perpendicular to the transport direction of the object 100 ( In particular, the movement trajectory of the edge portion 103 is followed. As a result, the internal state of the edge portion 103 of the object 100 can be correctly inspected while the object 100 is transported by the conveyor-type transfer machine 300.

도 18에 예시하는 필로포장기(400)는 띠 형상 시트(105)에 의해 복수의 포장 용기가 되는 피검체(100)를 연속해서 제조한다. 필로포장기(400)에서는, 시일부(401)에 있어서 띠 형상 시트(105)의 폭 방향의 양단부를 연속적으로 접합한다. 이하의 설명에서는, 띠 형상 시트(105)의 폭 방향의 양단부가 접합된 것을 피검체(100)로 한다.The pillow packaging machine 400 illustrated in FIG. 18 continuously manufactures the test object 100, which becomes a plurality of packaging containers, using the strip-shaped sheet 105. In the pillow packaging machine 400, both ends of the strip-shaped sheet 105 in the width direction are continuously joined to the seal portion 401. In the following description, the test object 100 is defined as a piece in which both ends in the width direction of the strip-shaped sheet 105 are joined.

초음파 검사 장치(1J)는 띠 형상 시트(105)의 이송 방향(Y축 정방향)에 있어서 시일부(401)의 직후에 배치된다. 도 18, 도 19에 도시한 바와 같이, 초음파 검사 장치(1J)는 피검체(100) 중 시일부(401)에 의해 접합된 띠 형상 시트(105)의 접합 부분(107)(검사 대상 부위)의 내부 상태를 검사한다. 초음파 검사 장치(1J)에서는, 검사 유닛(3)을 피검체(100)(띠 형상 시트(105))의 이송 방향에 직교하는 폭 방향(X축 방향)이나 상하 방향(Z축 방향)으로 이동시킴으로써, 피검체(100)(특히 접합 부분(107))의 이동 궤적에 추종시킨다. 이에 의해, 필로포장기(400)로 피검체(100)를 이송(반송)하면서, 피검체(100)의 접합 부분(107)의 내부 상태를 올바르게 검사할 수 있다.The ultrasonic inspection device 1J is disposed immediately after the seal portion 401 in the transfer direction (positive Y-axis direction) of the strip-shaped sheet 105. As shown in FIGS. 18 and 19, the ultrasonic inspection device 1J is used at the joint portion 107 (inspection target portion) of the strip-shaped sheet 105 joined by the seal portion 401 of the object 100. Check the internal state of In the ultrasonic inspection device 1J, the inspection unit 3 is moved in the width direction (X-axis direction) or the vertical direction (Z-axis direction) perpendicular to the transport direction of the object 100 (belt-shaped sheet 105). By doing so, the movement trajectory of the subject 100 (particularly the joint portion 107) is followed. Accordingly, while transporting (transferring) the subject 100 to the pillow packaging machine 400, the internal state of the joint portion 107 of the subject 100 can be correctly inspected.

상기한 로터리 반송 장치(200), 컨베이어형의 반송기(300), 필로포장기(400)에는, 예를 들어 제1 내지 제4 실시 형태의 초음파 검사 장치가 적용되어도 된다.For example, the ultrasonic inspection devices of the first to fourth embodiments may be applied to the rotary conveyance device 200, the conveyor-type conveyance machine 300, and the pillow packaging machine 400.

제5 실시 형태에 있어서, 검사 유닛(3)(검사부)을 통과하는 반송체는, 피검체(100)에 한정되지 않고, 예를 들어 반송 장치에 의해 피검체(100)와 함께 반송되는 것이어도 된다. 피검체(100)와 함께 반송되는 것은, 예를 들어 피검체(100)를 보유 지지하는 기구, 피검체(100)를 반송하기 위한 기구 구성 부품 등이어도 된다.In the fifth embodiment, the conveyed object passing through the inspection unit 3 (inspection section) is not limited to the object 100, and may be transported together with the object 100 by a conveyance device, for example. do. What is transported together with the subject 100 may be, for example, a mechanism for holding and supporting the subject 100, a mechanism component for transporting the subject 100, etc.

이상, 본 개시에 대하여 상세히 설명하였지만, 본 개시는 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 본 개시의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다.Although the present disclosure has been described in detail above, the present disclosure is not limited to the above-mentioned embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit of the present disclosure.

본 개시는, 제1 내지 제5 실시 형태에 예시한 바와 같은 초음파 검사 장치에 한정되지 않고, 피검체(100)가 검사부를 통과함으로써 검사부에 의해 피검체의 외관이나 내부 상태를 검사하는 임의의 검사 장치에 적용 가능하다. 즉, 본 개시의 검사 장치에 있어서, 검사부는, 제1 내지 제5 실시 형태에 나타낸 바와 같이 초음파를 사용하여 피검체(100)를 검사하는 것으로 한정되지는 않는다.The present disclosure is not limited to the ultrasonic inspection apparatus as illustrated in the first to fifth embodiments, but any test in which the external appearance or internal state of the subject 100 is inspected by the inspection unit when the subject 100 passes through the inspection unit. Applicable to devices. That is, in the inspection device of the present disclosure, the inspection unit is not limited to inspecting the object 100 using ultrasonic waves as shown in the first to fifth embodiments.

본 개시의 검사 장치에 있어서, 검사부는, 예를 들어 X선을 사용하여 피검체(100)를 검사해도 된다. 이 경우, 검사부는, 예를 들어 피검체(100)에 있어서 반사 또는 투과한 X선을 취득함으로써 피검체(100)의 내부 상태를 검사할 수 있다.In the inspection device of the present disclosure, the inspection unit may inspect the subject 100 using, for example, X-rays. In this case, the inspection unit can inspect the internal state of the subject 100 by, for example, acquiring X-rays reflected or transmitted through the subject 100.

또한, 본 개시의 검사 장치에 있어서, 검사부는, 예를 들어 적외선이나 근적외선을 사용하여 피검체(100)를 검사해도 된다. 이 경우, 검사부는, 예를 들어 피검체(100)에 있어서 반사 또는 투과한 적외선 또는 근적외선을 취득함으로써 피검체(100)의 내부 상태를 검사할 수 있다.Additionally, in the inspection device of the present disclosure, the inspection unit may inspect the object 100 using, for example, infrared rays or near-infrared rays. In this case, the inspection unit can inspect the internal state of the subject 100 by, for example, acquiring infrared or near-infrared rays reflected or transmitted by the subject 100.

또한, 본 개시의 검사 장치에 있어서, 검사부는, 예를 들어 피검체(100)의 화상을 취득함으로써 피검체(100)를 검사해도 된다. 이 경우, 검사부는 예를 들어 취득한 화상에 각종 처리를 실시함으로써 피검체(100)를 검사해도 된다. 이와 같은 구성에서는, 검사부는 취득한 화상에 의해 피검체(100)의 외관을 검사할 수 있다.Additionally, in the inspection device of the present disclosure, the inspection unit may inspect the subject 100, for example, by acquiring an image of the subject 100. In this case, the inspection unit may inspect the subject 100 by, for example, performing various processes on the acquired image. In this configuration, the inspection unit can inspect the appearance of the subject 100 using the acquired image.

또한, 본 개시의 검사 장치에 있어서, 검사부는, 예를 들어 자기 공명을 사용하여 피검체(100)를 검사해도 된다. 구체적으로, 검사부는, 예를 들어 피검체(100)로부터 취득한 자기 공명 화상(MRI)을 분석함으로써 피검체(100)를 검사해도 된다. 이 경우, 검사부는 자기 공명을 사용하여 피검체(100)의 내부 상태를 검사할 수 있다.Additionally, in the inspection device of the present disclosure, the inspection unit may inspect the subject 100 using, for example, magnetic resonance. Specifically, the inspection unit may inspect the subject 100, for example, by analyzing a magnetic resonance image (MRI) acquired from the subject 100. In this case, the inspection unit may inspect the internal state of the subject 100 using magnetic resonance.

본 개시는, 초음파 검사 장치 및 검사 장치에 적용해도 된다.This disclosure may be applied to ultrasonic inspection devices and inspection devices.

1, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1J: 초음파 검사 장치
2: 베이스
3: 검사 유닛(검사부)
5: 가동 유닛
6D, 6E: 복귀부
7F, 7G: 보유 지지부
9J: 추종 기구
11: 송신부
12: 수신부
15: 접촉부
21, 22: 안내부
25, 26: 규제부
91J: 구동부
92J: 위치 검출 센서
100: 피검체(반송체)
103: 에지부(검사 대상 부위)
107: 접합 부분(검사 대상 부위)
RP, RP1: 기준 위치
W: 초음파1, 1D, 1E, 1F, 1G, 1H, 1J: Ultrasonic inspection device
2: base
3: Inspection unit (inspection department)
5: Operation unit
6D, 6E: Return section
7F, 7G: Holding support
9J: Follower mechanism
11: Transmitting unit
12: Receiving unit
15: contact part
21, 22: Information Department
25, 26: Regulatory Department
91J: Drive part
92J: Position detection sensor
100: Subject (carrier)
103: Edge portion (part to be inspected)
107: Joint part (area to be inspected)
RP, RP1: Reference position
W: Ultrasound

Claims (16)

베이스와,
초음파를 조사하는 송신부, 및 상기 송신부에 대하여 간격을 두고 위치하고, 상기 초음파를 수신하는 수신부를 갖는 검사 유닛과,
상기 베이스와 상기 검사 유닛 사이에 마련되고, 상기 검사 유닛을 상기 베이스에 대하여 상기 송신부 및 수신부의 배열 방향으로 이동 가능하게 하는 가동 유닛을, 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 송신부와 상기 수신부 사이를 통과하는 반송체에 접촉함으로써 상기 검사 유닛에 상기 배열 방향으로의 힘을 부여하는 접촉부를 더 갖는, 초음파 검사 장치.With the base,
an inspection unit having a transmitter that irradiates ultrasonic waves, and a receiver that is positioned at a distance from the transmitter and receives the ultrasonic waves;
A movable unit is provided between the base and the inspection unit and allows the inspection unit to move in an arrangement direction of the transmitting unit and the receiving unit with respect to the base,
The ultrasonic inspection device further includes a contact portion where the inspection unit applies a force in the array direction to the inspection unit by contacting a carrier passing between the transmitter and the receiver. 제1항에 있어서,
상기 접촉부는, 상기 반송체가 상기 송신부와 상기 수신부 사이에 위치하도록 상기 반송체를 안내하는 안내부를 갖는, 초음파 검사 장치.According to paragraph 1,
The contact unit is an ultrasonic inspection device having a guide unit that guides the carrier body so that the carrier body is positioned between the transmitter and the receiver. 제2항에 있어서,
상기 안내부는, 상기 반송체가 상기 송신부와 상기 수신부 사이를 통과할 때에, 상기 송신부로부터 송신된 초음파가 상기 반송체를 투과하지 않고 수신부에 도달하는 것을 방해하는, 초음파 검사 장치.According to paragraph 2,
The guide unit, when the carrier passes between the transmitter and the receiver, prevents ultrasonic waves transmitted from the transmitter from reaching the receiver without passing through the carrier. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사 유닛을 상기 배열 방향에 있어서의 기준 위치로 복귀시키는 복귀부를 더 구비하는, 초음파 검사 장치.According to any one of claims 1 to 3,
An ultrasonic inspection device further comprising a return portion that returns the inspection unit to a reference position in the arrangement direction. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사 유닛을 상기 배열 방향에 있어서의 기준 위치에 보유 지지하는 보유 지지부를 더 구비하는, 초음파 검사 장치.According to any one of claims 1 to 4,
An ultrasonic inspection device further comprising a holding portion that holds the inspection unit at a reference position in the arrangement direction. 피검체가 통과함으로써 상기 피검체의 외관 및 내부 상태 중 적어도 한쪽을 검사하는 검사부와,
상기 검사부를 상기 피검체의 이동 궤적에 추종시키는 추종 기구
를 구비하는, 검사 장치.an inspection unit that inspects at least one of the external appearance and internal condition of the subject as the subject passes through;
A tracking mechanism that causes the inspection unit to follow the movement trajectory of the subject.
An inspection device comprising: 제6항에 있어서,
상기 추종 기구는, 상기 검사부에 대하여 상기 피검체가 통과하는 방향에 직교하는 직교 방향에 있어서의 상기 피검체의 위치 변화에 따라서, 상기 검사부를 상기 직교 방향으로 이동시키는, 검사 장치.According to clause 6,
An inspection device wherein the tracking mechanism moves the inspection unit in the orthogonal direction in accordance with a change in the position of the subject in a direction orthogonal to the direction in which the subject passes with respect to the inspection unit. 제7항에 있어서,
상기 추종 기구는, 상기 검사부를 상기 직교 방향으로 구동하는 구동부를 갖는, 검사 장치.In clause 7,
An inspection device wherein the tracking mechanism has a driving section that drives the inspection section in the orthogonal direction. 제8항에 있어서,
상기 추종 기구는, 상기 직교 방향에 있어서의 상기 피검체의 위치를 검출하는 위치 검출 센서를 더 갖고,
상기 구동부는, 상기 위치 검출 센서에 의해 검출된 상기 피검체의 위치에 따라서 상기 검사부를 상기 직교 방향으로 구동하는, 검사 장치.According to clause 8,
The tracking mechanism further has a position detection sensor that detects the position of the subject in the orthogonal direction,
The inspection device wherein the drive unit drives the inspection unit in the orthogonal direction according to the position of the object detected by the position detection sensor. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 추종 기구는, 상기 검사부를 상기 피검체의 검사 대상 부위의 이동 궤적에 추종시키는, 검사 장치.According to any one of claims 6 to 9,
An inspection device wherein the tracking mechanism causes the inspection unit to follow a movement trajectory of a portion to be inspected of the subject. 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사부는, X선을 사용하여 상기 피검체를 검사하는, 검사 장치.According to any one of claims 6 to 10,
An inspection device wherein the inspection unit inspects the subject using X-rays. 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사부는, 초음파를 사용하여 상기 피검체를 검사하는, 검사 장치.According to any one of claims 6 to 10,
The inspection unit is an inspection device that inspects the subject using ultrasonic waves. 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사부는, 적외선을 사용하여 상기 피검체를 검사하는, 검사 장치.According to any one of claims 6 to 10,
An inspection device wherein the inspection unit inspects the subject using infrared rays. 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사부는, 근적외선을 사용하여 상기 피검체를 검사하는, 검사 장치.According to any one of claims 6 to 10,
An inspection device wherein the inspection unit inspects the subject using near-infrared rays. 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사부는, 상기 피검체의 화상을 취득함으로써 상기 피검체를 검사하는, 검사 장치.According to any one of claims 6 to 10,
An inspection device wherein the inspection unit inspects the subject by acquiring an image of the subject. 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사부는, 자기 공명을 사용하여 상기 피검체를 검사하는, 검사 장치.According to any one of claims 6 to 10,
An inspection device wherein the inspection unit inspects the subject using magnetic resonance.
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