KR101215049B1 - X-ray INSPECTION APPARATUS WITH SHIELDING MEANS AND FOR CNANGING X-ray RADIATION POSITION - Google Patents

X-ray INSPECTION APPARATUS WITH SHIELDING MEANS AND FOR CNANGING X-ray RADIATION POSITION Download PDF

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Abstract

본 발명은 검사물을 엑스레이 검사영역으로 이동시키기 위한 적어도 하나 이상의 컨베이어, 상기 컨베이어상에서 이송되는 검사물의 이송 경로를 변경하여 검사물을 검사영역으로 투입하기 위한 이송가이드, 상기 검사물에 엑스레이를 조사하는 엑스레이 조사부, 상기 엑스레이 조사부가 상기 검사물에 엑스레이를 조사하여 투영되는 이미지를 검출하는 디텍터, 상기 검사영역에서 검사물에 조사되어 난반사되는 방사선을 차폐하기 위하여 컨베이어상에서 검사물이 이송되는 제1 이송 경로상에 위치하는 제1차폐판 및 컨베이어상에서 상기 이송가이드에 의하여 변경된 제2 이송 경로상에 위치하는 제2차폐판을 포함하는 엑스레이 검사장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 검사물에 반사되는 방사선을 차폐시킬 수 있으므로 엑스레이 검사시 방사선의 피폭량을 감소시킬 수 있으며, 또한 엑스레이 조사부를 이동시켜 검사물의 형상 또는 검사하고자 하는 특정 부분에 따라 엑스레이 조사 각도를 변경시킬 수 있으므로 다수의 엑스레이 조사부가 필요없이 하나의 엑스레이 조사부를 가지고 다양한 형태를 갖는 검사물의 불량을 검출할 수 있는 장점이 있다.
According to the present invention, at least one conveyor for moving the inspection object to the X-ray inspection area, a transfer guide for injecting the inspection object into the inspection area by changing a conveying path of the inspection object transported on the conveyor, and irradiating the inspection object with X-rays X-ray irradiator, a detector for detecting the image projected by the X-ray irradiator irradiated with the X-ray, a first transport path for transporting the specimen on the conveyor to shield the radiation irradiated to the inspection object in the inspection area An x-ray inspection apparatus includes a first shielding plate positioned on the second shielding plate and a second shielding plate positioned on the second transport path changed by the transport guide on the conveyor.
According to the present invention, since the radiation reflected to the inspection object can be shielded, the radiation dose of the radiation can be reduced during the X-ray examination, and the X-ray irradiation part is moved to change the X-ray irradiation angle according to the shape of the inspection object or a specific part to be inspected. Since there is a need for a plurality of X-ray irradiator without having a number of X-ray irradiator there is an advantage that can detect the defect of the inspection object having a variety of forms.

Description

차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치{X-ray INSPECTION APPARATUS WITH SHIELDING MEANS AND FOR CNANGING X-ray RADIATION POSITION}X-ray inspection apparatus having shielding means and changing the X-ray irradiation position {X-ray INSPECTION APPARATUS WITH SHIELDING MEANS AND FOR CNANGING X-ray RADIATION POSITION}

본 발명은 엑스레이 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 컨베이어 상에서 이동중인 검사물에 엑스레이를 조사시 반사되는 방사선을 차폐시켜 엑스레이 검사장치 주변영역의 피폭량을 감소시킬 수 있으며, 검사물의 특정부분의 불량을 검출하기 위하여 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an X-ray inspection apparatus, and more particularly, it is possible to reduce the exposure of the surrounding area of the X-ray inspection apparatus by shielding the radiation reflected when the X-ray is irradiated to the inspection object moving on the conveyor, the defect of a specific portion of the inspection object It relates to an x-ray inspection apparatus having a shielding means for changing the x-ray irradiation position to detect the, and to change the x-ray irradiation position.

일반적으로 엑스레이 검사장치는 엑스레이 차폐를 위한 공간을 형성하도록 제작된 하우징 내부에서 검사영역에 투입되는 플라스틱 성형품, 농산품 등과 같은 검사물에 엑스레이를 조사하고, 상기 검사물을 통해 투영된 영상을 디텍터로 촬상한 다음, 상기 디텍터로부터 출력되는 영상정보(이미지)를 분석하여 검사물의 불량여부를 판정하는 장치이다.
In general, an X-ray inspection apparatus irradiates an X-ray to an inspection object such as a plastic molded product or agricultural product, which is put into an inspection area, inside a housing manufactured to form a space for X-ray shielding, and captures an image projected through the inspection object with a detector. Then, it is a device for determining whether the inspection object is defective by analyzing the image information (image) output from the detector.

종래 엑스레이 검사장치는 컨베이어를 이용하여 검사물을 투입하는 부분으로 방사선이 유출되어 엑스레이 검사장치 주위에 방사선 피폭정도가 심하다는 문제점이 있다. Conventional X-ray inspection apparatus has a problem that the radiation is leaked to the portion for inputting the inspection object using a conveyor, the radiation exposure degree is severe around the X-ray inspection apparatus.

또한 종래 엑스레이 검사장치는 엑스레이 조사부가 고정되어 이물질이 있는 위치나 크기 등에 따라 불량을 검출할 수 없는 경우가 발생하므로 검사물의 특정 부분의 이물질을 검사하기 위하여 다수의 엑스레이 조사부를 구비하여 여러 방향에서 조사하여 이물질을 검출하므로 비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.
In addition, the conventional X-ray inspection apparatus is fixed because the X-ray irradiation unit can not detect the defect depending on the location and size of the foreign matter, so that a plurality of X-ray irradiation unit to inspect the foreign matter of a specific part of the inspection object irradiated from various directions There is a problem that takes a lot of cost because it detects foreign matter.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 컨베이어 상에서 이동중인 검사물에 엑스레이를 조사시 반사되는 방사선을 차폐시켜 엑스레이 검사장치 주변영역의 피폭량을 감소시킬 수 있는 엑스레이 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to shield the radiation reflected when irradiating the X-ray to the inspection object moving on the conveyor X-ray inspection that can reduce the exposure of the area around the X-ray inspection apparatus It is for providing a device.

본 발명의 또 다른 목적은 검사물의 형상 또는 검사하고자 하는 특정 부분에 따라 엑스레이 조사각도를 변경시킬 수 있는 엑스레이 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
Still another object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of changing an X-ray irradiation angle according to a shape of a test object or a specific part to be inspected.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일실시예인 엑스레이 검사장치는 검사물을 엑스레이 검사영역으로 이동시키기 위한 적어도 하나 이상의 컨베이어, 상기 컨베이어상에서 이송되는 검사물의 이송 경로를 변경하여 검사물을 검사영역으로 투입하기 위한 이송가이드, 상기 검사물에 엑스레이를 조사하는 엑스레이 조사부, 상기 엑스레이 조사부가 상기 검사물에 엑스레이를 조사하여 투영되는 이미지를 검출하는 디텍터, 상기 검사영역에서 검사물에 조사되어 난반사되는 방사선을 차폐하기 위하여 컨베이어상에서 검사물이 이송되는 제1 이송 경로상에 위치하는 제1차폐판 및 컨베이어상에서 상기 이송가이드에 의하여 변경된 제2 이송 경로상에 위치하는 제2차폐판을 포함한다.

본 발명의 일실시예의 일태양에 의하면, 상기 제1차폐판 및 제2차폐판은 상기 컨베이어상에서 소정의 거리로 이격되어 차폐영역이 중첩되도록 위치하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일실시예의 일태양에 의하면, 상기 엑스레이 조사부는 제어명령을 입력받는 입력부, 입력받는 제어명령에 따라 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키기 위한 제어신호를 구동부로 출력하는 제어부 및 상기 제어신호에 따라 엑스레이 조사부를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지며, 검사물상의 특정 부분의 불량을 검출하기 위하여 X축, Y축 및 Z축으로 이동되어지는 것을 특징으로 한다.
In order to solve the above problems, the X-ray inspection apparatus of an embodiment of the present invention is to change the conveying path of the inspection object to be transported on the conveyor at least one or more conveyors for moving the inspection object to the X-ray inspection area to the inspection area Transfer guide for feeding, X-ray irradiation unit for irradiating the X-rays to the inspection object, Detector for detecting the projected image by irradiating the X-rays to the inspection object, the radiation irradiated by the irradiated object to the inspection object in the inspection area And a first shielding plate positioned on a first transport path on which a test piece is transported on the conveyor, and a second shielding plate located on a second transport path changed by the transport guide on the conveyor.

According to an aspect of an embodiment of the present invention, the first shielding plate and the second shielding plate may be spaced apart from each other by a predetermined distance on the conveyor such that the shielding area is overlapped.

According to an aspect of an embodiment of the present invention, the X-ray irradiation unit is an input unit for receiving a control command, a control unit for outputting a control signal for moving to the X-axis, Y-axis and Z-axis according to the input control command to the drive unit and the A driving unit for moving the X-ray irradiation unit to the X-axis, the Y-axis and the Z-axis according to the control signal, which is moved to the X-axis, the Y-axis and the Z-axis in order to detect a defect of a specific part on the inspection object. It features.

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상기와 같은 본 발명에 따르면, 검사물에 반사되어 엑스레이 검사장치 외부로 방출되는 방사선을 차폐시킬 수 있으므로 엑스레이 검사시 방사선의 피폭량을 감소시킬 수 있는 장점이 있다. According to the present invention as described above, it is possible to shield the radiation emitted to the outside of the X-ray inspection apparatus reflected by the inspection object has the advantage of reducing the amount of radiation during the X-ray inspection.

또한 엑스레이 조사부를 이동시켜 검사물의 형상 또는 검사하고자 하는 특정 부분에 따라 엑스레이 조사 각도를 변경시킬 수 있으므로 다수의 엑스레이 조사부가 필요없이 하나의 엑스레이 조사부를 가지고 다양한 형태를 갖는 검사물의 불량을 검출할 수 있는 장점이 있다.
In addition, since the X-ray irradiation angle can be changed by moving the X-ray irradiation unit according to the shape of the inspection object or a specific part to be inspected, it is possible to detect a defect of a test object having various shapes with a single X-ray irradiation unit without requiring multiple X-ray irradiation units. There is an advantage.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치의 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 이동수단 및 차폐수단을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 차폐수단을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 엑스레이 조사부의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 검사하고자 하는 특정 부분의 불량을 검출하는 과정을 나타내는 적용예이다.
1 is a plan view of an x-ray inspection apparatus having a shielding means according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of an x-ray inspection apparatus having a shielding means according to an embodiment of the present invention.
3A and 3B are plan views illustrating the moving means and the shielding means of the present invention.
Figure 4 is a side view for explaining the shielding means of the present invention.
5 is a cross-sectional view of the X-ray irradiation unit according to an embodiment of the present invention.
6 is an application example illustrating a process of detecting a defect of a specific part to be inspected according to an embodiment of the present invention.

이하의 상세한 설명은 예시에 지나지 않으며, 본 발명의 실시예를 도시한 것에 불과하다. 또한 본 발명의 원리와 개념은 가장 유용하고, 쉽게 설명할 목적으로 제공된다.The following detailed description is only illustrative, and merely illustrates embodiments of the present invention. In addition, the principles and concepts of the present invention are provided for the purpose of explanation and most useful.

따라서, 본 발명의 기본 이해를 위한 필요 이상의 자세한 구조를 제공하고자 하지 않았음은 물론 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 실체에서 실시될 수 있는 여러 가지의 형태들을 도면을 통해 예시한다.
Accordingly, various forms that can be implemented by those of ordinary skill in the art, as well as not intended to provide a detailed structure beyond the basic understanding of the present invention through the drawings.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치의 평면도이다.1 is a plan view of an x-ray inspection apparatus having a shielding means according to an embodiment of the present invention.

도 1에서 보는 바와 같이, 엑스레이 검사장치(1000)는 검사물(610)에 포함된 이물질 등을 검사하기 위한 장치로서 이송수단(100,110), 엑스레이 조사부(200), 디텍터(300) 및 차폐수단(310a,310b,320a,320b,330a,330b,340a,340b)을 포함한다.
As shown in FIG. 1, the X-ray inspection apparatus 1000 is a device for inspecting foreign matters included in the inspection object 610, and the transfer means 100 and 110, the X-ray irradiation unit 200, the detector 300, and the shielding means ( 310a, 310b, 320a, 320b, 330a, 330b, 340a, 340b.

상기 이송수단은 검사물(610)을 엑스레이가 조사되는 검사영역(500)으로 이송시키는 기능을 수행한다. 여기서 상기 이송 수단은 검사물 투입수단(미도시)과 연결되는 제1컨베이어(110)와 검사물(610)의 이동 경로를 변경하기 위하여 즉 이송폭을 넓히기 위한 공간을 확보하기 위하여 상기 제1컨베이어(110)와 수평적으로 연결되는 제2컨베이어(100)로 이루어질 수 있다. 이송수단에 대한 상세한 설명은 도 3에서 구체적으로 설명하기로 한다.
The transfer means performs a function of transferring the inspection object 610 to the inspection area 500 irradiated with X-rays. Here, the conveying means is the first conveyor 110 to be connected to the test object input means (not shown) to change the movement path of the test object 610, that is, to secure a space for widening the transport width of the first conveyor The second conveyor 100 may be horizontally connected to the 110. Detailed description of the transfer means will be described in detail with reference to FIG. 3.

상기 엑스레이 조사부(200)는 고전압 발생장치 및 상기 고전압 발생장치와 연결되어 엑스레이를 발생하는 엑스레이 튜브로 이루어질 수 있으며, 검사영역에 엑스레이를 조사하는 기능을 수행한다. 한편 상기 엑스레이 조사부(200)는 검사물상의 특정 부분의 불량을 검출하기 위하여 제어장치(도 5참조)에 의하여 X축, Y축 및 Z축으로 이동되어 검사물의 형태에 따라 특정 부분의 이물질을 검사할 수 있도록 조사 각도를 변경할 수 있다.
The X-ray radiator 200 may be formed of a high voltage generator and an X-ray tube connected to the high voltage generator to generate an X-ray, and irradiate an X-ray to an inspection area. On the other hand, the X-ray irradiation unit 200 is moved to the X-axis, Y-axis and Z-axis by the control device (see Figure 5) in order to detect the defect of the specific portion on the inspection object to inspect the foreign matter of the specific portion according to the shape of the inspection object. You can change the angle of irradiation so that you can.

상기 디텍터(300)는 엑스레이 조사부(200)가 검사물(610)에 엑스레이를 조사할 때 투영되는 영상을 촬상하여 영상신호로 출력하는 기능을 수행한다. 따라서 디텍터(300)에 촬상되는 영상을 분석하여 검사물(610)에 이물질이 포함되어 있는지를 판단하여 불량 검출을 할 수 있다. 한편 디텍터(300)는 검사물을 투영하는 최적의 이미지를 촬상하기 위하여 상기 엑스레이 조사부(200)의 이동에 따라 이동될 수 있다.
The detector 300 performs a function of capturing an image projected when the X-ray radiator 200 irradiates the inspection object 610 with the X-ray and outputting the image signal. Therefore, by analyzing the image captured by the detector 300 to determine whether the foreign matter is included in the inspection object 610 can detect the defect. Meanwhile, the detector 300 may be moved according to the movement of the X-ray radiator 200 in order to capture an optimal image projecting the inspection object.

상기 차폐수단은 검사물(610)에 엑스레이를 조사하는 경우, 난반사되어 검사물이 투입되는 검사물 투입구(700)로 유출되는 방사선을 차폐시키는 기능을 수행한다. 종래 검사영역은 검사물을 이송시키는 컨베이어상의 검사물 투입구와 일직선상(또는 방사선이 투입구로 유출되는 경로상)에 위치함에 따라 방사선이 외부로 유출되므로 엑스레이 검사장치 주변은 방사선 피폭량이 높게 측정되었다.When the shielding means irradiates the X-rays to the inspection object 610, the shielding means performs the function of shielding the radiation leaked to the inspection object inlet 700 into which the inspection object is injected. In the conventional inspection area, since the radiation flows out as it is located in a line (or on a path through which the radiation flows into the inlet) on the conveyor for transporting the inspection object, the radiation exposure is measured around the X-ray inspection apparatus.

따라서 본 발명의 엑스레이 검사장치(1000)는 검사물(610)을 이송시키는 컨베이어상(100,110)에서 검사물 이동 경로를 변경하여 검사영역(500)이 컨베이어상의 검사물 투입구(700)와 일직선상으로 위치되어 외부로 개방되는 것을 방지할 수 있다. 이와 동시에 검사물 이동 경로 변경에 따라 컨베이어 상에 설치되는 차폐수단을 구비하여 방사선이 엑스레이 검사장치(1000) 외부로 방사되는 것을 방지할 수 있다. 여기서 컨베이어상에서 검사물의 이동 경로를 변경하는 이동 수단 및 이동 경로 변경에 따른 차폐수단의 설치에 대한 사항은 후술하는 도2, 도 3a 및 도 3b에서 상세히 설명한다.
Therefore, the X-ray inspection apparatus 1000 of the present invention changes the inspection object movement path on the conveyor (100, 110) for conveying the inspection object 610, so that the inspection area 500 is in line with the inspection object inlet 700 on the conveyor. Can be located and prevented from being opened to the outside. At the same time, the shielding means installed on the conveyor according to the inspection object movement path change may prevent radiation from being emitted to the outside of the X-ray inspection apparatus 1000. Here, the matters on the installation of the moving means for changing the moving path of the inspection object on the conveyor and the shielding means according to the moving path will be described in detail with reference to FIGS. 2, 3A and 3B.

본 발명의 차폐수단은 일실시예로서 도 1을 참조하여 설명하면, 검사물의 이동 경로 변경에 따라 검사물 이동 경로 변경전 컨베이어상에 설치되는 제1차폐판(310a) 및 이동 경로 변경후 컨베이어상에 설치되는 제2차폐판(320a)을 포함한다. 또한 검사물이 검사영역(500)을 지나 엑스레이 검사장치(1000) 외부로 배출되는 컨베이어상에 상기 제1차폐판(310a) 및 제2차폐판(320a)과 대응되도록 순차적으로 제2차폐판(320b) 및 제1차폐판(310b)이 위치할 수 있다.
The shielding means of the present invention will be described with reference to FIG. 1 as an embodiment. The first shielding plate 310a installed on the conveyor before the inspection object moving path is changed and the conveyor path after the moving path is changed according to the movement path of the inspection object. It includes a second shielding plate 320a installed in. In addition, a second shielding plate (sequentially) corresponds to the first shielding plate 310a and the second shielding plate 320a on a conveyor through which the test object is discharged to the outside of the X-ray inspection apparatus 1000 through the inspection area 500. 320b) and the first shielding plate 310b may be located.

한편 상기 차폐수단은 검사영역상에서 방사선의 방출을 차폐하기 위하여 컨베이어상에서 대응되도록 설치되는 제3차폐판(330a, 330b) 및 엑스레이 조사부(200)에서 검사영역까지 조사되는 경로에서 방사선의 방출을 차폐하기 위하여 컨베이어상에서 대응되도록 설치되는 제4차폐판(340a, 340b)를 더 포함할 수 있다. 이하에서 설명하는 차폐수단은 검사물이 검사영역으로 투입되는 컨베이어상에 설치되는 차폐판에 대하여 설명하며, 검사물이 검사영역에서 배출되는 컨베이어상에 설치되는 차폐판에 대하여는 검사물이 투입되는 컨베이어상에 설치되는 차폐판과 대응되므로 생략한다.
On the other hand, the shielding means for shielding the emission of the radiation in the path irradiated from the X-ray irradiation unit 200 and the third shielding plate (330a, 330b) and the X-ray irradiation unit 200 to be installed on the conveyor to shield the emission of the radiation on the inspection area In order to correspond on the conveyor may further include a fourth shielding plate (340a, 340b). The shielding means described below describes a shielding plate installed on a conveyor into which an inspection object is introduced into an inspection area, and a conveyor into which an inspection object is introduced into a shielding plate installed on a conveyor from which the inspection object is discharged from an inspection area. Since it corresponds to the shield plate installed on the image, it is omitted.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치의 사시도이다. 2 is a perspective view of an x-ray inspection apparatus having a shielding means according to an embodiment of the present invention.

도 2에서 보는 바와 같이, 컨베이어(100,110)상에 설치되는 이송가이드(410)에 의하여 검사물 이동 경로가 변경되므로, 검사영역(500)은 검사물 투입구(700)와 일직선상에 위치하지 않게 된다. 여기서 방사선은 직진성을 가지고 방사되므로 상기 검사영역(500)에서 방출되는 방사선이 검사물 투입구(700)로 유출되는 것을 차폐하기 위하여 컨베이어상에 제3차폐판(330a, 330b)이 설치될 수 있다. 또한 엑스레이 조사부(200)에서 검사영역까지 조사되는 경로에서 방사선의 방출을 차폐하기 위하여 컨베이어상에 제4차폐판(340a, 340b)이 설치될 수 있다. 여기서 상기 제3차폐판(330a, 330b) 및 제4차폐판(340a, 340b)은 컨베이어상에서 중첩되도록 설치됨으로써 엑스레이 검사장치의 측면에서 바라볼 경우 검사영역에서 난반사되는 방사선이 직선적으로 검사물 투입구(700)로 방출되는 경로를 차폐할 수 있다.
As shown in FIG. 2, since the inspection object movement path is changed by the transfer guides 410 installed on the conveyors 100 and 110, the inspection area 500 is not positioned in line with the inspection object inlet 700. . In this case, since the radiation is emitted in a straight line, third shielding plates 330a and 330b may be installed on the conveyor to shield the radiation emitted from the inspection region 500 from leaking to the inspection object inlet 700. In addition, fourth shielding plates 340a and 340b may be installed on the conveyor to shield the emission of radiation in the path irradiated from the X-ray radiator 200 to the inspection area. Wherein the third shielding plate (330a, 330b) and the fourth shielding plate (340a, 340b) is installed so as to overlap on the conveyor when viewed from the side of the X-ray inspection apparatus radiation is diffusely reflected in the inspection area linearly the inspection object inlet ( 700 to shield the path to the discharge.

도 3a 및 도 3b 본 발명의 이동수단 및 차폐수단을 설명하기 위한 평면도이다.3A and 3B are plan views illustrating the moving means and the shielding means of the present invention.

도 3a에서 보는 바와 같이, 이동수단은 이송가이드(410)를 이용하여 검사물의 이동 경로를 변경할 수 있도록 소정의 이송폭을 갖는 하나의 컨베이어(400)로 이루어질 수 있다. 상기 컨베이어(400)상에서 검사물의 이동 경로는 검사물(610)이 투입되는 제1 이송 경로부터 상기 이송가이드(410)에 의하여 굴곡되어져 검사영역(500)으로 투입되는 제2 이송 경로로 이루어진다. 즉 이송수단에 의하여 검사영역(500)과 검사물이 투입되는 검사물 투입구(700)는 서로 다른 일직선상에 위치함과 동시에 이송 경로가 변경된 부분에 차폐수단이 설치됨으로써 검사영역(500)에서 난반사되는 방사선이 상기 검사물 투입구(700)로 방출되는 것을 방지할 수 있다.
As shown in Figure 3a, the moving means may be made of one conveyor 400 having a predetermined transport width to change the moving path of the inspection object using the transport guide 410. The moving path of the test piece on the conveyor 400 is a second transfer path that is bent by the transfer guide 410 from the first transfer path into which the test piece 610 is inserted and introduced into the test area 500. That is, the inspection area 500 and the inspection material inlet 700 into which the inspection object is injected by the transport means are positioned on different straight lines, and at the same time, the shielding means is installed at the portion where the transport path is changed, thereby causing diffuse reflection in the inspection area 500. It is possible to prevent the radiation to be emitted to the inspection object inlet 700.

여기서 상기 차폐수단은 일실시예로서 컨베이어(400)상에서 투입되는 검사물의 이송 경로를 변경하기 위한 이송가이드(410)의 굴곡이 시작되는 부분(제1 이송 경로)에 설치되는 제1차폐판(310a) 및 이송가이드(410)의 굴곡이 끝나는 부분(제2 이송 경로)에 설치되는 제2차폐판(320a)이 설치될 수 있다. 여기서 상기 제1차폐판(310a) 및 제2차폐판(320a)은 컨베이어의 이송폭내에서 서로 중첩되는 영역을 갖도록 형성되어 엑스레이 검사장치 외부로 방사선이 방출되는 것을 방지할 수 있다. Here, the shielding means is a first shielding plate 310a installed at a portion (first transfer path) at which the bending of the transfer guide 410 for changing the transfer path of the test object introduced on the conveyor 400 is started. ) And a second shielding plate 320a may be installed at a portion where the bending of the transfer guide 410 ends (second transfer path). Here, the first shielding plate 310a and the second shielding plate 320a may be formed to have regions overlapping each other in the conveying width of the conveyor to prevent radiation from being emitted to the outside of the X-ray inspection apparatus.

여기서 상기 차폐수단에 대하여 이송가이드의 굴곡이 시작되는 부분과 굴곡이 끝나는 부분으로 설명하였으나 이에 한정하지 않고, 검사영역에서 방출되는 방사선의 경로가 검사물 투입구와 일직선이 되지 않는 범위내에서 상기 컨베이어상의 어느 위치에도 설치될 수 있다.
Although the shielding means has been described as a portion where the bending of the transfer guide starts and a portion where the bending ends, the present invention is not limited thereto, and the path of the radiation emitted from the inspection area is not in line with the inspection object inlet. It can be installed at any position.

도 3b에서 보는 바와 같이, 검사물(610)을 검사영역으로 이송하기 위한 이송수단은 두 개의 컨베이어(100,110)를 이용하여 이루어질 수 있다. 검사물(610)은 제1 컨베이어(110)를 통하여 투입되고, 이후 제1 컨베이어상의 검사물(610)은 굴곡된 이송가이드(410)를 통하여 제2 컨베이어(100)상으로 이동한다. 즉 검사영역(500)과 검사물 투입구(700)를 서로 다른 일직선상에 위치하도록 이송 경로를 변경하기 위한 컨베이어 이송폭을 확보하기 위하여 적어도 하나 이상의 컨베이어가 서로 수평적으로 연결될 수 있다. 차폐수단에 대하여는 상기 도3a에서 설명하였으므로 여기서는 생략한다.
As shown in Figure 3b, the conveying means for transferring the inspection object 610 to the inspection area may be made using two conveyors (100, 110). The inspection object 610 is introduced through the first conveyor 110, and then the inspection object 610 on the first conveyor moves on the second conveyor 100 through the bent transfer guide 410. That is, at least one conveyor may be horizontally connected to each other in order to secure a conveyor conveying width for changing a conveying path so that the inspection region 500 and the inspection object inlet 700 are located on different straight lines. Since the shielding means has been described with reference to FIG. 3A, the description will be omitted here.

도 4는 본 발명의 차폐수단을 설명하기 위한 측면도이다.Figure 4 is a side view for explaining the shielding means of the present invention.

도 4에서 보는 바와 같이, 컨베이어상에 설치되는 차폐수단은 검사영역에서 방출되는 방사선의 유출 경로가 검사물 투입구와 일직선이 되지 않도록 제1차폐판(310a)과 제2차폐판(320a)이 중첩되어 형성될 수 있다. 여기서 상기 제1차폐판(310a)과 제2차폐판(320a)의 일실시예로 컨베이어(400)상에서 검사물이 통과하는 영역을 제외한 다른 부분은 차폐물질로 이루어져 검사물 투입구(700)로 방출되는 방사선의 피폭량을 최소화할 수 있다.
As shown in FIG. 4, the shielding means installed on the conveyor overlaps the first shielding plate 310a and the second shielding plate 320a so that the outflow path of the radiation emitted from the inspection area is not aligned with the inspection object inlet. Can be formed. In this embodiment, the first shielding plate 310a and the second shielding plate 320a may be formed of a shielding material, except for a region through which the specimen passes, on the conveyor 400. The exposure dose of radiation to be minimized can be minimized.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 엑스레이 조사부의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of the X-ray irradiation unit according to an embodiment of the present invention.

도 5에서 보는 바와 같이, 엑스레이 조사부는 제어명령을 입력받는 입력부(251), 입력받는 제어명령에 따라 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키기 위한 제어신호를 구동부로 출력하는 제어부(252) 및 상기 제어신호에 따라 엑스레이 조사부를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키는 구동부(253)를 포함할 수 있다. 검사물내 이물질이 포함될 수 있는 특정부분을 조사하기 위하여 엑스레이 조사부는 상기 구동부(253)의 제어명령에 따라 X축 구동모터(220), Y축 구동모터(210) 및 Z축 구동모터(230)를 구동하여 X축 가이드 레일, Y축 가이드 레일 및 Z축 가이드 레일(231)을 따라 X축, Y축 및 Z축으로 이동될 수 있다. 여기서 구동 수단으로 모터를 예로 들어 설명하였으나, 구동 수단으로써 구동부(253)의 제어명령에 따라 유압 실린더 또는 공기압 실린더를 이용하여 구현될 수 있다.
As shown in FIG. 5, the X-ray radiator includes an input unit 251 for receiving a control command, a controller 252 for outputting a control signal for moving to the X, Y, and Z axes according to the received control command to the driver. According to the control signal may include a driving unit 253 for moving the X-ray irradiation unit to the X-axis, Y-axis and Z-axis. In order to examine a specific part that may contain foreign matter in the inspection object, the X-ray irradiation unit may operate the X-axis driving motor 220, the Y-axis driving motor 210, and the Z-axis driving motor 230 according to a control command of the driving unit 253. By driving, the X-axis guide rail, the Y-axis guide rail and the Z-axis guide rail 231 can be moved in the X-axis, Y-axis and Z-axis. Although a motor has been described as an example of the driving means, the driving means may be implemented using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder according to a control command of the driving unit 253.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 검사하고자 하는 특정 부분의 불량을 검출하는 과정을 나타내는 적용예이다.6 is an application example illustrating a process of detecting a defect of a specific part to be inspected according to an embodiment of the present invention.

엑스레이 조사부(200)는 조사 각도에 따라 검사물(610)의 특정 위치에 이물질(620)이 있는 경우 이물질을 검출할 수 없는 상황이 발생할 수 있다. 즉 종래의 경우 엑스레이 조사부가 고정되어 있기 때문에 검사물에서 이물질이 있는 위치나 크기 등에 따라 검사물의 불량여부를 검출할 수 없다. The X-ray radiator 200 may generate a situation in which the foreign substance may not be detected when the foreign substance 620 is located at a specific position of the inspection object 610 according to the irradiation angle. That is, in the conventional case, because the X-ray irradiation unit is fixed, it is impossible to detect whether the test object is defective according to the position or size of the foreign matter in the test object.

예를 들어 도 6a에서 보는 바와 같이, 이물질(620)이 검사물(610, 여기서는 병)의 밑부분의 볼록한 부분에 위치하고 엑스레이 조사부(200)가 고정되어 있는 경우 엑스레이가 병(610) 밑 볼록한 부분을 통과한 다음 이물질(620)을 통과하기 때문에 밀도가 낮은 이물질이나 크기가 작은 이물질 같은 경우는 디텍터(300)에 투영되는 이미지(301)만으로는 이물질의 유무를 분석할 수 없다.
For example, as shown in FIG. 6A, when the foreign material 620 is located at the convex portion of the bottom of the test object 610 (here, the bottle) and the X-ray irradiation unit 200 is fixed, the X-ray is convex under the bottle 610. Since after passing through the foreign matter 620, foreign matter having a low density or a foreign matter having a small size, the presence or absence of the foreign matter cannot be analyzed only by the image 301 projected onto the detector 300.

따라서 본 발명에서는 도 6b에서 보는 바와 같이, 특정 위치에 있는 이물질(620)을 검사하기 위하여 엑스레이 조사부를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시킨 후 검사물(610, 여기서는 병)의 밑 부분에 위치한 이물질(620)에 대하여 대각선으로 엑스레이를 조사함으로써 디텍터(300)에 촬상되는 투영 이미지(301) 및 불량 이미지(302)를 분석하여 이물질을 간편하게 검출할 수 있다.
Therefore, in the present invention, as shown in Figure 6b, in order to inspect the foreign matter 620 at a specific position, the X-ray irradiation unit is moved to the X-axis, Y-axis and Z-axis and then to the bottom of the inspection object 610 (here, the bottle) By irradiating the X-rays diagonally with respect to the foreign material 620 positioned, the foreign material may be easily detected by analyzing the projection image 301 and the bad image 302 captured by the detector 300.

또한 도 6b에서 보는 바와 같이, 검사물의 주입량을 검사할 경우에도 엑스레이 조사부를 이동시켜 측정하고자 하는 위치에 위치시킴으로써 주입량 측정 시 예상할 수 있는 오류률을 상당부분 감소시킬 수 있다.In addition, as shown in Figure 6b, even when the injection amount of the test object is inspected by moving the x-ray irradiator to be positioned in the position to be measured can significantly reduce the error rate that can be expected when measuring the injection amount.

엑스레이 영상을 촬상하는 디텍터가 고정되어 있는 경우, 엑스레이 조사부와 촬상하고자 하는 검사물이 가까울수록 영상이 크게 확대되는 특성이 있다. 디텍터에 촬상되는 영상의 배율은 FID / FOD 로 정의된다. 여기서 FID는 엑스레이 조사부와 디텍터까지의 거리, FOD는 엑스레이 조사부와 촬상하고자 하는 검사물까지의 거리를 나타낸다. 본 발명에서와 같이 엑스레이 조사부를 X축, Y축 또는 Z축으로 이동시켜 엑스레이 조사부를 촬상하고자 하는 검사물 쪽으로 가까이 붙여, 이물질이 있을거라고 예상하는 특정 부위만 크게 확대하여 영상을 획득할 수가 있다. 따라서 엑스레이 조사부가 고정되어 있을 때는 획득할 수 없었던 작은 이물질까지 디텍터에서 영상을 획득하여 검출할 수 있음으로 검사한 검사물의 신뢰성 향상에 크게 도움이 될 수 있다.
When the detector for capturing the X-ray image is fixed, the closer the X-ray radiator and the inspection object to be imaged are, the larger the image is. The magnification of the image captured by the detector is defined as FID / FOD. The FID represents the distance between the X-ray radiator and the detector, and the FOD represents the distance between the X-ray radiator and the inspection object to be imaged. As in the present invention, by moving the x-ray irradiator to the X-axis, Y-axis or Z-axis and close to the inspection object to be imaged by the x-ray irradiator, it is possible to obtain an image by enlarging only a specific area that is expected to have foreign matter. Therefore, since the X-ray irradiator is able to detect and detect images of small foreign matters that could not be obtained when the X-ray irradiation unit is fixed, it can greatly help to improve the reliability of the inspected test object.

따라서 본 발명의 검사물의 이동 경로 변경을 위한 이동수단 및 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치를 이용하여 검사물의 불량 여부를 검사함에 있어서 엑스레이 검사장치 외부로 방출되는 방사선의 피폭량을 감소시킬 수 있다. Therefore, the exposure amount of the radiation emitted to the outside of the X-ray inspection apparatus can be reduced in inspecting whether the inspection object is defective by using the X-ray inspection apparatus having a moving means and a shielding means for changing the movement path of the inspection object of the present invention.

또한 검사물의 형태(형상)에 따라 엑스레이 조사부를 이동시켜 엑스레이 조사 각도를 변경함으로써 복수의 엑스레이 조사부가 필요없이 하나의 엑스레이 조사부를 가지고 특정 부분의 이물질이 있는지 검사할 수 있다.
In addition, by changing the X-ray irradiation angle by moving the X-ray irradiation unit according to the shape (shape) of the test object, it is possible to inspect whether there is a foreign matter of a specific part with one X-ray irradiation unit without the need for a plurality of X-ray irradiation units.

이상에서는 대표적인 실시 예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시 예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다.The present invention has been described in detail with reference to exemplary embodiments, but those skilled in the art to which the present invention pertains can make various modifications without departing from the scope of the present invention. Will understand.

그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be determined by equivalents to the appended claims, as well as the appended claims.

10 : 하우징 100,110,400 : 컨베이어
200 : 엑스레이 조사부
300 : 디텍터 310a,310b : 제1차폐판
320a,320b : 제2차폐판 410 : 이송가이드
500 : 검사영역 700 : 검사물 투입구
1000 : 엑스레이 검사장치
10: housing 100,110,400: conveyor
200: X-ray irradiation unit
300: detector 310a, 310b: first shield plate
320a, 320b: second shield plate 410: transfer guide
500: inspection area 700: inspection object inlet
1000: X-ray inspection device

Claims (5)

검사물을 엑스레이 검사영역으로 이동시키기 위한 적어도 하나 이상의 컨베이어,
상기 컨베이어상에서 이송되는 검사물의 이송 경로를 변경하여 검사물을 검사영역으로 투입하기 위한 이송가이드,
상기 검사물에 엑스레이를 조사하는 엑스레이 조사부,
상기 엑스레이 조사부가 상기 검사물에 엑스레이를 조사하여 투영되는 이미지를 검출하는 디텍터,
상기 검사영역에서 검사물에 조사되어 난반사되는 방사선을 차폐하기 위하여 컨베이어상에서 검사물이 이송되는 제1 이송 경로상에 위치하는 제1차폐판 및
컨베이어상에서 상기 이송가이드에 의하여 변경된 제2 이송 경로상에 위치하는 제2차폐판을 포함하는 엑스레이 검사장치.
At least one conveyor for moving the inspection object to the X-ray inspection area,
Transfer guide for inputting the inspection object to the inspection area by changing the conveying path of the inspection object conveyed on the conveyor,
X-ray irradiation unit for irradiating the X-rays on the inspection object,
A detector for detecting an image projected by the X-ray radiator irradiating X-rays to the inspection object;
A first shielding plate positioned on a first transport path through which the test object is transported on the conveyor to shield radiation that is irradiated onto the test object from the test area;
And a second shielding plate positioned on a second conveying path changed by the conveying guide on a conveyor.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제1차폐판 및 제2차폐판은
상기 컨베이어상에서 소정의 거리로 이격되어 차폐영역이 중첩되도록 위치하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
The method of claim 1,
The first shielding plate and the second shielding plate
X-ray inspection apparatus, characterized in that located on the conveyor spaced apart by a predetermined distance so as to overlap the shielding area.
제 1 항에 있어서,
상기 엑스레이 조사부는
제어명령을 입력받는 입력부;
입력받는 제어명령에 따라 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키기 위한 제어신호를 구동부로 출력하는 제어부; 및
상기 제어신호에 따라 엑스레이 조사부를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지며,
검사물상의 특정 부분의 불량을 검출하기 위하여 X축, Y축 및 Z축으로 이동되어지는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
The method of claim 1,
The x-ray irradiation unit
An input unit for receiving a control command;
A control unit for outputting a control signal for moving to the X-axis, Y-axis, and Z-axis to the driver according to the received control command; And
It comprises a; drive unit for moving the X-ray irradiation unit in the X-axis, Y-axis and Z-axis in accordance with the control signal,
X-ray inspection apparatus, characterized in that moved to the X-axis, Y-axis and Z-axis to detect the defect of a specific part on the inspection object.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101362367B1 (en) * 2012-10-23 2014-02-13 (주)자비스 Conveyor using flexible pissibi x-ray inspection method
KR102336421B1 (en) * 2015-01-19 2021-12-08 주식회사 바텍 X-ray collimator and x-ray imaging apparatus comprising the same
KR101703832B1 (en) * 2016-03-21 2017-02-23 테크밸리 주식회사 Portable xrf apparatus
KR102011638B1 (en) * 2016-08-30 2019-08-19 (주)자비스 X-Ray Apparatus for Detecting a Flaw of Small Sized Article Continuously
KR102142036B1 (en) 2017-06-12 2020-08-06 (주)자비스 Method for Investigating Article in Multi and Continuous Mode and Apparatus for the Same
KR101975562B1 (en) * 2017-07-31 2019-05-07 (주)자비스 An X-ray Inspecting Apparatus Capable of Investigating a Inner Defect and a Welding Part
CN109911521A (en) * 2017-12-12 2019-06-21 楚天科技股份有限公司 Radiation protection transportation system
KR20190089137A (en) 2019-07-22 2019-07-30 (주)자비스 X-ray Tube Module Having Improved Shielding Capability and Method Using the Same
WO2021095940A1 (en) * 2019-11-15 2021-05-20 (주)자비스 X-ray inspection apparatus for inspecting inside of article

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100973689B1 (en) * 2010-05-26 2010-08-03 (주)자비스 X-ray ct inspection facility for chip
KR100983244B1 (en) * 2010-06-10 2010-09-24 (주)자비스 Pcb x-ray inspection apparatus with multifunctions

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100973689B1 (en) * 2010-05-26 2010-08-03 (주)자비스 X-ray ct inspection facility for chip
KR100983244B1 (en) * 2010-06-10 2010-09-24 (주)자비스 Pcb x-ray inspection apparatus with multifunctions

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